Курсовая работа: САУ установки плазмохимического травления в условиях электронно-циклотронного резонанса
Описание
Расчетно-пояснительная записка
по курсовому проекту на тему
«Система автоматизированного управления установки плазмохимического травления в условиях электронно - циклотронного резонанса»
Москва 2005г.
1. Введение
Автоматизация различного вида оборудования применяется широкомасштабно, причем, не только для процессов с очень хорошо отработанной технологией, но и для таких в которых нельзя говорить о четко сформированных закономерностях. Более того оборудование с хорошо проработанной системой автоматизированного управления (САУ) позволяет более гибко и плодотворно отрабатывать технологию новых процессов и, например, проводить опыты по новому применению старых технологий, т.е. позволяет вмешиваться в технологический процесс на любой его стадии.
При проектировании САУ необходимо внимательно изучить и продумать все возможные варианты применения САУ в данной конструкции с целью выбора оптимального из них по нескольким критериям: степень автоматизации, сложность изготовления и эксплуатации, цена. Также при проектировании следует использовать элементы и модули, которые впоследствии можно будет без особых проблем заменить и доработать. Это несколько удорожает систему в целом на первоначальном этапе, но вполне окупается в процессе эксплуатации, поскольку через несколько лет не придётся полностью заменять систему по причине её полного морального или физического старения.
Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ.
В задачи проекта входят:
- распределение функций машины между различными компонентами и обоснование этих функций;
- постановка четких технических заданий перед разработчиками отдельных компонентов;
Как было сказано раньше, автоматизация облегчает изучение и использование сложных и малоизученных процессов. ЭЦР метод безусловно относится к таким, ведь достижение ЭЦР условий достаточно сложная задача и требует от оборудования не только хорошей и слаженной работы, но и высокой стабильности, поэтому при проектировании данной установки изначально одним из главных требований было максимальная разумная автоматизация процессов.
Характеристики курсовой работы
Список файлов
- САУ установки плазмохимического травления в условиях электронно-циклотронного резонанса
- sau_1-5.dwg 1,57 Mb
- Прочти меня.txt 141 b
- РПЗ.doc 1,44 Mb
Начать зарабатывать