Расчётно-пояснительная записка к курсовому проекту

по курсу: "САУ вакуумного технологического оборудования".

Москва 2002 г.

Оглавление

Кафедра "Электронное Машиностроение". 1

Оглавление. 2

Введение. 3

Анализ целевых процессов. 5

Процессы, реализуемые в системе. 7

Описание КПС механики. 10

Шестикоординатный электрореологический привод. 11

Лазерный интерферометр. 11

Электрореологический распределитель. 12

Электронно-оптическая система. 12

КПС САУ и энергообеспечения УЭЛ.. 13

Электрическая стойка. 13

Промышленная рабочая станция PRS. 14

Информационные источники. 19

Введение.

Литография занимает особое место в производстве интегральных микросхем и может повторяться несколько десятков раз. Литографическая операция включает в себя нанесение резиста на подложку, совмещение подложки и шаблона, экспонирование пластины, проявление, травление и снятие резиста.

Наиболее ответственной в процессе литографии является операция совмещения изображений на пластине и шаблоне, которая во многом определяет точность воспроизведения изображения и, в конечном итоге качество получаемой структуры.

В работе рассматривается установка электронной литографии, в которой для осуществления операций совмещения подложки и шаблона используется привод на основе электрореологических направляющих и гидроприводом с электрореологическим управлением. Такой привод, в отличие от традиционных приводов, применяемых в общем машиностроении, должен удовлетворять следующим специфическим требованиям:

иметь суммарную погрешность позиционирования координатного стола (КС) относительно шаблона не более ±0,1 мкм;

иметь постоянную времени порядка 100мс;

быть полностью герметичным, не выделять паров масла в рабочую камеру или в другую чистую технологическую среду литографических установок;

по возможности не иметь пар трения в вакууме или в другой чистой технологической среде литографических установок.

Для получения структур с размерами 0,1-0,2 мкм, необходимо разработать систему совмещения, обеспечивающую точность 0,01-0,002мкм.