Реферат: Химическое осаждение покрытий

Тонкие пленки широко применяются в качестве различных функциональных покрытий для повышения прочности, коррозионной стойкости, улучшения магнитных и электрических свойств материалов, используемых в авиационной и космической технике, машиностроении, медицине, энергетике, цифровой микроэлектронике.

Развитие науки и технологии тонких пленок имеет ключевое значение для высокотехнологичных отраслей промышленности. Так, наблюдаемый сегодня небывалый прогресс информационно-коммуникационной сферы во многом обусловлен разработкой новых технологий создания тонкопленочных материалов и структур для полупроводниковой микро и оптоэлектроники в предшествующие десятилетия.

В тонких пленках возможны эффекты, отсутствующие у массивных материалов. Очевидно, что переход от трехмерных к квазидвумерным системам должен сопровождаться значительными изменениями физических и химических свойств материала, таких как электропроводность, химическая активность, значения термодинамических параметров. Микроструктура пленки может существенно отличаться от структуры объемного материала такого же состава. Структурные дефекты в массивных материалах, не оказывающие существенного влияния на свойства, в тонких пленках могут кардинально влиять на их поведение.

Шероховатость поверхности практически не влияет на характеристики массивных материалов, в то время как для пленочных материалов она может являться фактором, определяющим многие параметры. Поэтому при исследовании тонкопленочных материалов возможно открытие новых явлений и закономерностей, которые могут стать основой создания принципиально новых технологий и устройств.