Курсовой проект

На тему: «Виброизолирующая система установки

Ионной имплантации »

Москва, 2010 г.

Содержание

Реферат

к курсовому проекту

Виброизолирующая система установки

ионной имплантации.

Записка содержит 38 стр., 25 рис., 1 табл.

Графические работы выполнены на ПК с помощью программ: КОМПАС-3D V12 записка выполнена в Microsoft Word 2007.

Целью данного курсового проекта является овладение навыками, методами и средствами комплексных разработок механических и электронных компонентов оборудования САУ.

Задачи проекта:

• распределить функции машины между различными компонентами и обосновании этих функций;
• постановить четкое техническое задание перед разработчиками отдельных компонентов;
• выполнить техническую документацию на электронные компоненты.

Курсовой проект выполнен в объеме 4 листов формата А1 и расчетно-пояснительной записки. На первом листе приведены алгоритм работы, таблица процессов. На втором и третьем листах - комплексная принципиальная схема виброизолирующей системы магнитореологического привода (МР-привода): механика, энергообеспечение, системы автоматического и ручного управления. На четвертом листе - принципиальная электрическая схема блока усилителей токовых. В приложении приведена документация на все элементы платы блока усилителей. В расчетно-пояснительной записке приведены необходимые пояснения и расчеты, отражены принципы построения САУ МР-приводом, даны описания листов проекта. В приложении приведены описания всех элементов, используемых в САУ.

Введение

Описание виброизолирующей системы установки ионной имплантации

Сверхвысоковакуумный имплантационный модуль фокусированных ионных пучков ( СВВ модуль ФИП Имп) относится к группе модулей нанолокальных технологий. Эти модули

предназначены для проведения процессов последовательной локальной модификации поверхности с использованием фокусированных ионных пучков и острийных зондов, включая процессы роста, травления, распыления, имплантации и др.

СВВ модуль ФИП Имп- высокотехнологичная установка, совмещающая достоинства технологии ФИП с методом ионной имплантации, что позволяет существенно оптимизировать процесс создания наноструктур с заданными свойствами размером порядка десятков нанометров. Модуль ФИП Имп предназначен для модификации поверхности подложек диаметром до 100 мм.

Рис.1. Принципиальная схема установки.

Установка состоит из насосной станции, виброизолирующей системы и вакуумной системы. Виброизолирующая система состоит из 4 МР приводов. Каждый привод имеет 5 гидроцилиндров, в каждом из которых имеются 2 МР дросселя. МР привод работает по принципу МР эффекта (изменения характеристик МР жидкости под действием магнитного поля). МР жидкость подается приводам с помощью насосной станции.