Расчётно-пояснительная записка к курсовому проекту

по курсу: "Системы автоматического управления оборудования электронных технологий ".

на тему:

“Установка пневмо-абразивной резки полупроводниковых пластин на кристаллы”

Москва, 2000 г.
ЗАДАНИЕ

на курсовой проект по системам автоматического управления оборудования электронных технологий.

Тема проекта: Установка Пневмоабразивной резки полупроводниковых дисков на кристаллы.

1. Проработать описание работы установки для резки , полупроводниковых дисков на кристалл, выбрать и обосновать состав его основных целевых функций, сервисных функций, функций коррекции цели.

2. Разработать комплексную принципиальную схему, как совокупность системы целевых механизмов, системы их энергообеспечения и системы управления, связанных материальными, энергетическими и информационными потоками.

3. Описать механический, энергетический и информационный интерфейс компонентов установки. Составить технические задания на проработку отдельных компонентов.

4. На уровне эскизного и рабочего проекта проработать предложенный компонент САУ.

Содержание графической части.

• Процессная модель становки ................................................1 л.
• Комплексная принципиальная схема....................................2 л.
• Схема…………………………...............................................1 л.

Содержание расчетно-пояснительной записки.

• Введение.
• Описание процессной модели. Выбор и обоснование целевых, сервисных функций, и функций коррекции цели.
• Описание комплексной принципиальной схемы.
• Технические задания на элементы и узлы машины.
• Расчет и описание схемы.
• Заключение.

Содержание.

1. Введение

2. Описание процессной модели.

2.1 Деление технологии на процессы.

2.2 Выбор сервисных функций.

2.3 Выбор функций коррекции цели.

1. Описание состояний установки.
   1. Штатные состояния.
   2. Аварийные состояния.

4. Описание процессной модели.

5. Описание комплексной принципиальной схемы.

6. Технические задания на элементы и узлы машины.

1. Расчет электропитания.

8. Перечень деталей принципиальной электрической схемы.

9. Описание Принципиальной Электрической Схемы.

Заключение.

Список использованной литературы.

1. Введение.

Установка пневмо-абразивной резки предназначена для разделения кремниевых пластин на цилиндрические кристаллы. Кристаллы используются в производстве выпрямительных низкочастотных диодов.

Исходной заготовкой является кремниевая пластина, наклеенная на стеклянную пластину с нанесённым на неё маскирующим покрытием.

Механические свойства кремния ( высокая твёрдость и хрупкость), а также чрезвычайно высокая стоимость пластин из монокристаллического кремния накладывают ряд ограничений на технологию резки.

Исходными заготовками являются пластмассовые кассеты с закреплёнными в них пластинами по ( 5 шт в кассете ). Технический рисунок готового изделия приведён на рис 1.

1. Описание процессной модели

2.1 Деление технологии на процессы.

• Включение электропитания.
• Подача сжатого воздуха.
• Аэрация днища.
• Продув пневмовибратора циклона.
• Пневмовибрация циклона.
• Электровибрация днища.
• Нагрев абразива.