Дз травление Р МТ11-61 (Готовые ДЗ по анизотропному травлению)
Описание файла
Файл "Дз травление Р МТ11-61" внутри архива находится в папке "Готовые ДЗ по анизотропному травлению". Excel-файл из архива "Готовые ДЗ по анизотропному травлению", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 6 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр Excel-файла онлайн
Текст из табличного файла "Дз травление Р МТ11-61"
Таблица для получения экспериментальных значtний KOH 25 % Rэксп Т, ° С 20 30 Т, К 293.15 303.15 1/T 0.003411 0.003299 R 1.52 3.32 40 313.15 0.003193 6.91 7.00 50 323.15 0.003095 13.65 13.53 60 333.15 0.003002 25.96 26.03 70 343.15 0.002914 47.11 47.08 80 353.15 0.002832 84.02 84.03 90 363.15 0.002754 144.21 144.15 100 373.15 0.002680 238.92 238.98 Т, ° С Т, К 1/T R Rэксп 20 293.15 0.003411 1.53 1.59 30 303.15 0.003299 3.30 3.31 40 313.15 0.003193 6.90 7.00 50 323.15 0.003095 13.60 13.60 60 333.15 0.003002 25.90 25.77 70 343.15 0.002914 47.00 47.05 80 353.15 0.002832 84.00 84.07 90 363.15 0.002754 144.00 143.89 100 373.15 0.002680 239.00 238.99 1.54 3.41 1ый способ Зафиксированные значения 6.00 Экспериментальные значения f(x) = − 6873.69834121438 x + 23.8906654036565 5.00 4.00 f(x) = − 6873.69834121438 x + 23.8906654036565 5.00 4.00 3.00 2.00 1.00 0.00 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.0030 a=-6873,7 Ea=a*kБ=-6873,7*1,38E-23= b=23,891 A = exp(b) = exp(23,89) = a/kБ= 0.0031 0.0032 0.003 -9.49E-20 2.37E+10 -6.874E+03 2ой способ 2 точки: T1=30, R1=3,31 T2=90, R2=143,89 (ln R2 ln R1 ) 1,38 10 23 (ln(143,89) ln(3,31)) 1,3 Ea 1 / T1 1 / T2 0, 003299 0, 00275 1 / T1 0, 0 19 A exp ln R1 Ea exp ln(3,31) 0,95 *10 * kB 1,38 Проверка: Для 3ей точки: EA 1 1 0, 95 10 19 R40 (40 C ) R30 (30 C ) exp( ( )) 3, 31 exp( k B T40 T30 1, 38 10 23 0 0 ln(Rэксп) 0.431509 1.226366 1.946229 2.605240 3.259410 3.851891 4.431139 4.970863 5.476388 ln(Rэксп) Rрасч Для графика(в обратном порядке) 1/T ln(Rэксп) 0.47 1.556 0.002680 5.48 1.20 3.373 0.002754 4.97 1.95 6.957 0.002832 4.43 2.61 13.723 0.002914 3.85 3.25 25.986 0.003002 3.25 3.85 47.409 0.003095 2.61 4.43 83.599 0.003193 1.95 4.97 142.881 0.003299 1.20 5.48 237.284 0.003411 0.47 льные значения Экспериментальные значения Linear (Экспериментальные значения) 31 0.0032 0.0033 0.0034 0.0035 .=0,95E-19 ln(3,31)) 1,38 10 23 3299 0, 002754 95 *10 19 * 0, 003411 1,38 *10 23 = 9.552554054E-20 2.73E+10 0, 95 10 19 1 1 exp( ( )) 23 1, 38 10 303,15 313,15 6.8588457144609 .