Anizotropnoe_travlenie (Готовые ДЗ по анизотропному травлению), страница 2
Описание файла
Файл "Anizotropnoe_travlenie" внутри архива находится в папке "Готовые ДЗ по анизотропному травлению". Excel-файл из архива "Готовые ДЗ по анизотропному травлению", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 6 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр Excel-файла онлайн
Текст 2 страницы из табличного файла "Anizotropnoe_travlenie"
С Темп. К 1/T R (30) 20 293.15 0.00341122 30 303.15 0.0032987 40 313.15 0.00319336 50 323.15 0.00309454 60 333.15 0.00300165 70 343.15 0.00291418 80 353.15 0.00283166 90 363.15 0.00275368 100 373.15 0.00267989 Случайные погреш R 0.57675706557348 0.01751502622938 0.09757219459061 0.24350110834348 -0.3247419272157 -0.0697232053426 0.39246924643521 0.1972888412638 -0.2806741122185 1.44 3.1 6.5 12.8 24.4 45 79 135 225 2.02 3.12 6.60 13.04 24.08 44.93 79.39 135.20 224.72 Стороим график зависимости ln(R )=f(1/T) 6 f(x) = − 6640.70047580955 x + 23.1625065620608 R² = 0.997109241605683 5 4 3 2 1 0 0.0025 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 0.0034 0.0035 Значения параметров линии тренда a Ea b -6640 9.1632E-20 A 23.16 1.14E+10 Способ №2 Строим график зависимости ln(R)=f(1/T) lnR 6 9; 5.41485218300412 5 8; 4.90673511045857 7; 4.37440351799217 4 6; 3.8051118836386 lnR Line 5; 3.18118467716087 3 4; 2.56829001036518 2 3; 1.88670173205478 2; 1.13703621852175 1; 0.701490808274192 1 0 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 Расчёт проведём для следующих двух точек 1/T1 ln(R1) 1/T2 0.00309454 2.56829001 ln(R2) 0.002679887 Расчитываем Ea и A Ea A 9.4736E-20 2.20E+10 Средние значения параметров для погрешности 15 % способ №1 Eа А 9.404E-20 способ №2 Еа А 2.03E+10 5.414852183 0.0033 0.0034 0.0035 9.439E-20 2.06E+10 In( R) R расч.
0.2179992 1.39 1.2021476 3.04 1.9174932 6.34 2.5139993 12.63 3.1930834 24.15 3.8091481 44.47 4.3684935 79.10 4.9033698 136.29 5.416826 228.09 0.0033 0.0034 0.0035 исходная таблица T, C KOH, % 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 20 30 40 1.49 1.56 1.57 1.53 1.44 1.32 1.17 1.01 0.84 0.55 0.5 3.2 3.4 3.4 3.3 3.1 2.9 2.5 2.2 1.8 1.4 1.1 6.7 7 7.1 6.9 6.5 5.9 5.2 4.6 3.8 3 2.2 100 погрешностей -0.196413952835428 0.22725489543518 0.303881165564235 -0.445760906586656 -0.036565609207173 0.111989845663629 -0.075361208473623 -0.256929070019396 0.163310005518724 -0.352566530636977 -0.822425135993399 0.243766726271133 0.337138180839247 0.193738264897547 0.139025473799848 0.91391775640659 -0.049500226850796 0.00455677309219 -0.05315397402228 0.323596168527729 0.340688757205498 -0.175289449089178 0.09110319751926 0.35733864933718 0.068665235630761 -0.094780205017742 -0.120666697966954 lnR Linear (lnR) 032 0.0034 0.0035 In( R) 0.5839225 1.050291 1.7508557 2.5678657 3.1880997 3.8061832 4.3678234 4.9075272 5.4148097 0.444569377577864 0.004708340384241 0.003673255832837 -0.782699498813599 0.531351406607428 -0.06315403879853 0.167374184911751 0.044221633288544 -0.368523114957498 0.499483257954125 -0.100001398095628 0.052080247314734 0.180309552888502 0.554811322217574 -0.067427185967972 -0.307876689475961 0.135035577386589 0.30188077744242 -0.085843362285232 -0.172389036379172 0.201318130166328 -0.092388518169173 0.743952296033967 0.173489775079361 0.276922446573735 -0.669297151034698 0.097018823908002 -0.415596014136099 -0.317206331601483 0.353057998836448 -0.241517227550503 -0.740470750315581 0.23796740151738 -0.157684007717762 -0.021561572793871 -0.128228930407204 0.304421405417088 -0.290215348286438 0.733741762815043 0.092021230102546 -0.550908089280711 -0.210674033951364 -0.280674112218549 0.150925382058631 0.298824670608155 0.343149849868496 -0.160349190991838 0.50633680075407 0033 0.0034 lnR Linear (lnR) 967 0.0034 0.0035 0.0035 -0.060892909914401 -0.300732017421979 0.31925549137668 0.399312284571351 0.485791179016815 0.770237966207788 -0.12964593452125 0.333416528519592 0.080006896041596 -0.192330639947613 0.443259295934695 0.576757065573474 0.017515026229376 0.097572194590612 0.24350110834348 -0.324741927215655 -0.069723205342598 0.392469246435212 0.197288841263799 -0.280674112218549 -0.404132424591808 0.418682884628652 0.436083860222425 -0.066654342845141 0.275239449365472 967 0.0034 0033 0.0035 In( R) 0.7014908 1.1370362 1.8867017 2.56829 3.1811847 3.8051119 4.3744035 4.9067351 5.4148522 0.0034 0.0035 lnR Linear (lnR) 192 0.0034 0.0035 50 60 70 80 90 100 13.3 14 14 13.6 12.8 11.8 10.5 9 7.5 5.9 4.4 25.5 26.5 26.7 25.9 24.4 22.3 19.9 17.1 14.2 11.2 8.4 46 49 49 47 45 41 36 31 26 21 15 82 86 86 84 79 72 64 55 46 36 27 140 147 148 144 135 124 110 95 79 62 47 233 245 246 239 225 206 184 158 131 104 78 Способ №1 погрешность до 20% первые 9 погрешностей Темп.
С Темп. К 20 30 40 50 60 70 80 90 100 293.15 303.15 313.15 323.15 333.15 343.15 353.15 363.15 373.15 1/T R (30) 0.003411222923 1.44 0.003298697015 3.1 0.003193357816 6.5 0.00309453814 12.8 0.003001650908 24.4 0.002914177473 45 0.002831657936 79 0.002753683051 135 0.002679887445 225 Случайные числR -0.3705725248 0.457303031 0.06681716513 0.54851952882 0.18154910322 -0.5634781701 0.71056747402 -0.2925949047 -0.2906660484 1.07 3.56 6.57 13.35 24.58 44.44 79.71 134.71 224.71 In( R) 0.067 1.269 1.882 2.591 3.202 3.794 4.378 4.903 5.415 0.0033 0.0034 Стороим график зависимости ln(R )=f(1/T) 6.000 f(x) = − 7059.80746181067 x + 24.3755046630447 R² = 0.996255496331712 5.000 4.000 3.000 2.000 1.000 0.000 0.0025 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 Значения параметров линии тренда a Ea -7059 Ea= -a*kв Способ №2 b 9.74E-20 A 24.37 3.83E+10 A = exp(b) 0.0032 0.0035 Строим график зависимости ln(R)=f(1/T) lnR 6 9; 5.41502449064285 5 8; 4.90624812212132 7; 4.37047085306252 4 6; 3.80468763176607 lnR Linear (lnR) 5; 3.18768240985418 3 4; 2.5495260238675 2 3; 1.92910489941 2; 1.05007501695708 1 1; 0.458794868995032 0 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 0.0034 0.0035 Расчёт проведём для следующих двух точек 1/T1 ln(R1) 1/T2 ln(R2) 0.003411223 0.458794869 0.002679887 5.415024491 Расчитываем Ea и A Ea A 9.352E-20 1.73E+10 вторые 9 погрешностей Способ №1 Темп.
С Темп. К 20 30 40 50 60 70 80 90 1/T R (30) 293.15 0.003411222923 1.44 303.15 0.003298697015 3.1 313.15 0.003193357816 6.5 323.15 0.00309453814 12.8 333.15 0.003001650908 24.4 343.15 0.002914177473 45 353.15 0.002831657936 79 363.15 0.002753683051 135 Случайные погрR -0.1059480383 -0.1085832082 0.07305543477 -0.1039051313 1.03862112155 -0.513123814 0.83132908912 0.02564588613 In( R) 1.33 0.288221 2.99 1.095747 6.57 1.882979 12.70 2.541294 25.44 3.236269 44.49 3.795194 79.83 4.379916 135.03 4.905465 100 373.15 0.002679887445 225 0.10799344636 225.11 5.41658 Стороим график зависимости ln(R )=f(1/T) 6 f(x) = − 6995.03663428812 x + 24.1843194771282 R² = 0.999760330724779 5 4 3 2 1 0 0.0025 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 0.0034 0.0035 Значения параметров линии тренда a Ea -6995 b A 9.65E-20 24.18 3.17E+10 Способ №2 Строим график зависимости ln(R)=f(1/T) lnR 6 9; 5.41658025792797 5 8; 4.90546472992336 7; 4.37991602251227 4 6; 3.79519422850666 lnR Linear (lnR) 5; 3.23626853580612 3 4; 2.54129445552964 2 3; 1.88297878295473 2; 1.09574711858475 1 0 0.0026 1; 0.288220898568637 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 0.0034 0.0035 2 3; 1.88297878295473 2; 1.09574711858475 1 0 0.0026 1; 0.288220898568637 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 0.0034 0.0035 Расчёт проведём для следующих двух точек 1/T1 ln(R1) 1/T2 ln(R2) 0.003411223 0.288220899 0.002679887 5.416580258 Расчитываем Ea и A Ea A 9.68E-20 3.26E+10 следующие 9 погрешностей Способ №1 Темп.
С Темп. К 20 30 40 50 60 70 80 90 100 293.15 303.15 313.15 323.15 333.15 343.15 353.15 363.15 373.15 1/T R (30) 0.003411222923 1.44 0.003298697015 3.1 0.003193357816 6.5 0.00309453814 12.8 0.003001650908 24.4 0.002914177473 45 0.002831657936 79 0.002753683051 135 0.002679887445 225 Случайные погрR 0.25564349926 0.28308918445 0.18754026314 -0.0988238753 0.18577247829 0.32719276533 -0.1812194569 1.08992389869 -0.1747901024 1.70 3.38 6.69 12.70 24.59 45.33 78.82 136.09 224.83 In( R) 0.528062 1.218789 1.900246 2.541695 3.202168 3.813907 4.367151 4.913316 5.415323 Стороим график зависимости ln(R )=f(1/T) 6 f(x) = − 6733.85324306038 x + 23.4354664333782 R² = 0.999575126935572 5 4 3 2 1 0 0.0025 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 0.0034 0.0035 1 0 0.0025 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 0.0034 0.0035 Значения параметров линии тренда a Ea -6733 b A 9.29E-20 23.43 1.50E+10 Способ №2 Строим график зависимости ln(R)=f(1/T) lnR 6 9; 5.41532325540454 5 8; 4.91331587237367 7; 4.36715130023303 4 6; 3.81390713418721 lnR Linear (lnR) 5; 3.20216792108574 3 4; 2.54169459742035 2 3; 1.90024613286064 2; 1.21878925198423 1 1; 0.528062314365465 0 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 Расчёт проведём для следующих двух точек 1/T1 ln(R1) 1/T2 ln(R2) 0.003298697 1.218789252 0.002679887 5.415323255 Расчитываем Ea и A Ea A 9.36E-20 1.76E+10 Средние значения параметров для погрешности 20 % 0.0034 0.0035 способ №1 Eа способ №2 Еа А 9.56E-20 2.83E+10 А 9.46E-20 2.25E+10 ИТОГО Погрешности Еа (способ №1) Еа (способ №2) А (способ №1) А (способ №2) 10% 9.43E-20 9.41E-20 2.01E+10 1.93E+10 15% 9.404E-20 9.439E-20 2.03E+10 2.06E+10 20% 9.56E-20 9.46E-20 2.83E+10 2.25E+10 3 исходная таблица T, C KOH, % 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 0.0034 0.0035 20 30 40 50 1.49 1.56 1.57 1.53 1.44 1.32 1.17 1.01 0.84 0.55 0.5 3.2 3.4 3.4 3.3 3.1 2.9 2.5 2.2 1.8 1.4 1.1 6.7 7 7.1 6.9 6.5 5.9 5.2 4.6 3.8 3 2.2 13.3 14 14 13.6 12.8 11.8 10.5 9 7.5 5.9 4.4 100 погрешностей -0.370572524843738 0.457303030998446 0.066817165134125 0.548519528820179 0.181549103217549 -0.563478170079179 0.710567474015988 -0.292594904749421 -0.290666048385901 0.128268948174082 0.074317995313322 0.271145381702809 -0.214064039028017 -0.078726452557021 0.281517986877589 0.120177355711348 0.369277950085234 0.2989657332364 -0.730106148694176 1.0098323400598 -0.236748110182816 0.140683960125898 -0.008533288564649 -1.01124096545391 0.027871374186361 1.02595950011164 lnR Linear (lnR) 0.0035 -0.093273911261349 0.158803504746174 -0.665555489831604 -0.411491691920674 -0.435948550148169 -0.145261492434656 -0.11226534297748 -0.163987806445221 0.401537272409769 0.077085223892937 0.886425550561398 -1.38480681926012 -1.0380768799223 0.352225379174342 -0.072373131843051 0.46848299461999 -0.642789382254705 0.355387783201877 0.130096259454149 -0.034215190680698 0.112160796561511 0.103420416053268 0.094547976914328 0.386607644031756 0.234844264923595 -0.232015509027406 -0.300663987218286 -0.945995998336002 0.592091873841127 -1.26539380289614 0.31694071367383 0.332587660523131 -0.490736874780851 0.048313950173906 -0.1059480382537 -0.108583208202617 0.073055434768321 -0.103905131254578 1.03862112155184 -0.513123814016581 0.831329089123756 0.025645886125858 0.107993446363253 0.105047638498945 -0.360919739250676 -0.254568021773593 0.178182608578936 -0.334920696332119 -0.059437388699735 0.010384610504843 -0.481380720884772 0034 0.0035 lnR Linear (lnR) 0.0035 -0.277851358987391 0.84860876086168 0.256121711572632 0.632402770861518 -0.267410723608918 0.750621256884187 -0.117524177767336 -0.560660919290967 0.619349975750083 -0.507125150761567 0.104493392427685 -0.307029813484405 0.25564349925844 0.283089184449636 0.187540263141273 -0.098823875305243 0.185772478289437 0.32719276532589 -0.181219456862891 1.08992389868945 -0.174790102391853 0.21005675989727 1.22819328680635 0.0035 0034 0.0035 0034 0.0035 lnR Linear (lnR) 0.0035 60 70 80 90 100 25.5 26.5 26.7 25.9 24.4 22.3 19.9 17.1 14.2 11.2 8.4 46 49 49 47 45 41 36 31 26 21 15 82 86 86 84 79 72 64 55 46 36 27 140 147 148 144 135 124 110 95 79 62 47 233 245 246 239 225 206 184 158 131 104 78 .
