Anizotropnoe_travlenie (Готовые ДЗ по анизотропному травлению)
Описание файла
Файл "Anizotropnoe_travlenie" внутри архива находится в папке "Готовые ДЗ по анизотропному травлению". Excel-файл из архива "Готовые ДЗ по анизотропному травлению", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 6 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр Excel-файла онлайн
Текст из табличного файла "Anizotropnoe_travlenie"
0.081597 0.108702 0.039209 -0.232793 -0.015488 0.133584 0.04993 0.050241 0.287055 -0.114444 0.141214 -0.286859 0.208129 -0.12443 -0.129599 0.132917 -0.400358 0.232264 0.02719 -0.07933 0.096579 0.146171 -0.115351 -0.08102 -0.096913 0.061872 0.168949 0.279273 -0.182161 -0.186826 -0.13213 0.49199 -0.208024 0.111449 -0.148827 0.099441 -0.137388 0.396028 0.134313 0.011407 -0.058588 0.638155 -0.289879 0.219852 0.146424 -0.096283 0.338544 0.149886 0.163353 0.131204 -0.226954 0.031588 -0.234776 0.271969 0.251352 0.000867 0.070838 0.022278 -0.007735 -0.039466 -0.161826 0.011913 -0.121518 -0.074963 0.042943 -0.076373 -0.403753 0.04296 0.248847 0.425063 0.330679 -0.279386 -0.058169 0.167618 -0.074375 -0.097061 0.32541 -0.28033 0.246721 0.069015 0.573359 -0.350053 0.054726 0.018779 -0.093365 0.120911 0.34381 0.075873 0.02563 0.214672 -0.062748 0.001708 -0.150183 -0.45118 -0.082156 0.265266 0.123601 -0.060036 -0.285213 0.043869 Способ №1 погрешность до 10% первые 9 погрешностей Темп.
С Темп. К 1/T R (30) 20 293.15 0.0034112229 30 303.15 0.003298697 40 313.15 0.0031933578 50 323.15 0.0030945381 60 333.15 0.0030016509 70 343.15 0.0029141775 80 353.15 0.0028316579 90 363.15 0.0027536831 100 373.15 0.0026798874 Случайные погрешнR 0.142166118166642 -0.2421345016046 0.383346196031198 0.001034959495883 -0.16779799807409 -0.08878091648512 0.080858399087447 0.131465367303463 -0.24194991965487 1.44 3.1 6.5 12.8 24.4 45 79 135 225 1.58 2.86 6.88 12.80 24.23 44.91 79.08 135.13 224.76 Стороим график зависимости ln(R )=f(1/T) 6 5.41502449064285 f(x) = − 6865.78995950432 x + 23.808449517641 5 4.90624812212132 R² = 0.999166295300945 4.37047085306252 4 3.80468763176607 3.18768240985418 3 2.5495260238675 2 1.92910489941 1.05007501695708 1 0.458794868995032 0 0.0025 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 Значения параметров линии тренда a Ea b -6865.79 9.47479E-20 Ea= -a*kв A 23.808 2.19E+10 A = exp(b) Способ №2 Строим график зависимости ln(R)=f(1/T) lnR 6 0.0033 0.0034 0.0035 lnR 6 9; 5.41502449064285 5 8; 4.90624812212132 7; 4.37047085306252 4 6; 3.80468763176607 lnR Linear (lnR) 5; 3.18768240985418 3 4; 2.5495260238675 2 3; 1.92910489941 2; 1.05007501695708 1 1; 0.458794868995032 0 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 0.0034 Расчёт проведём для следующих двух точек 1/T1 ln(R1) 1/T2 0.003411223 0.458794869 ln(R2) 0.002679887 5.415024491 Расчитываем Ea и A Ea A 9.352195E-20 1.73E+10 вторые 9 погрешностей Способ №1 Темп.
С Темп. К 1/T R (30) 20 293.15 0.0034112229 30 303.15 0.003298697 40 313.15 0.0031933578 50 323.15 0.0030945381 60 333.15 0.0030016509 70 343.15 0.0029141775 80 353.15 0.0028316579 90 363.15 0.0027536831 100 373.15 0.0026798874 1.44 3.1 6.5 12.8 24.4 45 79 135 225 Стороим график зависимости ln(R )=f(1/T) Случайные погрешнR 0.075266416388331 -0.08030065146158 0.187769364856649 -0.11378951967345 0.137859206006397 0.212166196433827 -0.11110457762698 -0.16459657672385 0.541768531547859 1.52 3.02 6.69 12.69 24.54 45.21 78.89 134.84 225.54 0.0035 6 f(x) = − 6882.39040227273 x + 23.8577045859806 R² = 0.999804372016854 5 4 3 2 1 0 0.0025 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 0.0034 0.0035 Значения параметров линии тренда a Ea b -6882 9.49716E-20 A 23.85 2.28E+10 Способ №2 Строим график зависимости ln(R)=f(1/T) lnR 6 9; 5.41850536809444 5 8; 4.90405480066642 7; 4.36804047551795 4 6; 3.81136621425807 lnR Linear (lnR) 5; 3.20021719855835 3 4; 2.54051561461802 2 3; 1.90028039026802 2; 1.1051572729669 1 1; 0.41559127590265 0 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 0.0034 0.0035 Расчёт проведём для следующих двух точек 1/T1 ln(R1) 1/T2 0.003411223 0.415591276 ln(R2) 0.002679887 5.418505368 Расчитываем Ea и A Ea A 9.440287E-20 2.07E+10 следующие 9 погрешностей Способ №1 Темп.
С Темп. К 1/T R (30) 20 293.15 0.0034112229 30 303.15 0.003298697 40 313.15 0.0031933578 50 323.15 0.0030945381 60 333.15 0.0030016509 70 343.15 0.0029141775 80 353.15 0.0028316579 90 363.15 0.0027536831 100 373.15 0.0026798874 Случайные погрешнR 0.352826646121684 -0.08912782050174 0.24932619453466 -0.20707843759738 0.381441350327805 0.400709905079566 -0.36111132430961 -0.05970450729365 -0.09763634807314 1.44 3.1 6.5 12.8 24.4 45 79 135 225 1.79 3.01 6.75 12.59 24.78 45.40 78.64 134.94 224.90 Стороим график зависимости ln(R )=f(1/T) 6 f(x) = − 6748.80857048485 x + 23.4738442040395 R² = 0.9985203315029 5 4 3 2 1 0 0.0025 0.0026 0.0027 0.0028 Значения параметров линии тренда 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 0.0034 0.0035 a Ea b -6748 9.31224E-20 A 23.47 1.56E+10 Способ №2 Строим график зависимости ln(R)=f(1/T) lnR 6 9; 5.41566636870074 5 8; 4.90483242500499 7; 4.36486634394468 4 6; 3.81552774160081 lnR Linear (lnR) 5; 3.21009504038222 3 4; 2.5331348753378 2 3; 1.90944267686989 2; 1.10222979741893 1 1; 0.583793506246474 0 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 Расчёт проведём для следующих двух точек 1/T1 ln(R1) 1/T2 0.003193358 1.909442677 ln(R2) 0.002679887 Расчитываем Ea и A Ea A 9.423295E-20 1.99E+10 Средние значения параметров для погрешности 10 % способ №1 Eа А 9.43E-20 способ №2 Еа 2.01E+10 А 9.41E-20 1.93E+10 5.415666369 0.0034 0.0035 In( R) R расч.
0.45879487 1.47 1.05007502 3.19 1.9291049 6.57 2.54952602 12.96 3.18768241 24.52 3.80468763 44.70 4.37047085 78.76 4.90624812 134.53 5.41502449 223.29 08 94868995032 0.0033 0.0034 0.0035 исходная таблица T, C KOH, % 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 20 30 40 1.49 1.56 1.57 1.53 1.44 1.32 1.17 1.01 0.84 0.55 0.5 3.2 3.4 3.4 3.3 3.1 2.9 2.5 2.2 1.8 1.4 1.1 6.7 7 7.1 6.9 6.5 5.9 5.2 4.6 3.8 3 2.2 100 погрешностей 0.1421661182 -0.2421345016 0.383346196 0.0010349595 -0.1677979981 -0.0887809165 0.0808583991 0.1314653673 -0.2419499197 0.0752664164 -0.0803006515 0.1877693649 -0.1137895197 0.137859206 0.2121661964 -0.1111045776 -0.1645965767 0.5417685315 0.3528266461 -0.0891278205 0.2493261945 -0.2070784376 0.3814413503 0.4007099051 -0.3611113243 -0.0597045073 -0.0976363481 0.2486874109 lnR Linear (lnR) 95032 0.0034 0.0035 In( R) 0.41559128 1.10515727 1.90028039 2.54051561 3.2002172 3.81136621 4.36804048 4.9040548 5.41850537 0.4442412319 0.0622228754 0.2507388217 -0.4283761882 0.5937436072 0.0389357865 0.0368688688 -0.0561674369 -0.4837307642 0.0547428044 0.1545256055 -0.0326767577 0.1102069291 -0.2003349437 -0.3030625521 -0.016584363 0.2863081136 0.1199525059 0.2318524366 0.0714764838 0.000732075 -0.1211257768 -0.1801774943 0.0275632374 0.3116363587 -0.3010326509 0.1837075615 -0.044367448 0.0895482572 0.4831665137 -0.1039921699 0.0278176003 -0.2422890702 -0.2466259957 0.0587971044 -0.2229794973 -0.4698205885 -0.2669450168 0.0847423735 -0.0156226861 -0.0169220129 -0.120304162 -0.1400781912 0.2559316272 -0.0378933237 -0.2374404175 0.1074869715 -0.2074721124 0.0033 0.0034 lnR Linear (lnR) 590265 3 0.0035 0.0034 0.0035 -0.0570893462 0.5549103662 0.3620857569 0.0975993316 0.1579036052 -0.2278726697 -0.1795897333 -0.1376748742 -0.1413792688 0.1087973033 0.2735294402 -0.2604896508 0.0028527666 0.3577868483 0.3357670721 -0.242876331 -0.1816641543 -0.4008869837 0.210457938 0.2575943654 -0.3929204468 -0.1137319941 0.2175620921 -0.3065340934 In( R) 0.58379351 1.1022298 1.90944268 2.53313488 3.21009504 3.81552774 4.36486634 4.90483243 5.41566637 0.0033 0.0034 0.0035 lnR Linear (lnR) 46474 0.0034 0.0035 50 60 70 80 90 100 13.3 14 14 13.6 12.8 11.8 10.5 9 7.5 5.9 4.4 25.5 26.5 26.7 25.9 24.4 22.3 19.9 17.1 14.2 11.2 8.4 46 49 49 47 45 41 36 31 26 21 15 82 86 86 84 79 72 64 55 46 36 27 140 147 148 144 135 124 110 95 79 62 47 233 245 246 239 225 206 184 158 131 104 78 Способ №1 погрешность до 15% первые 9 погрешностей Темп.
С Темп. К 1/T R (30) 20 293.15 0.00341122 30 303.15 0.0032987 40 313.15 0.00319336 50 323.15 0.00309454 60 333.15 0.00300165 70 343.15 0.00291418 80 353.15 0.00283166 90 363.15 0.00275368 100 373.15 0.00267989 Случайные числа R -0.1964139528354 0.22725489543518 0.30388116556424 -0.4457609065867 -0.0365656092072 0.11198984566363 -0.0753612084736 -0.2569290700194 0.16331000551873 1.44 3.1 6.5 12.8 24.4 45 79 135 225 1.24 3.33 6.80 12.35 24.36 45.11 78.92 134.74 225.16 Стороим график зависимости ln(R )=f(1/T) 6 f(x) = − 6978.89175408971 x + 24.1356633947057 R² = 0.998935222668422 5 4 3 2 1 0 0.0025 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 Значения параметров линии тренда a Ea b -6978 9.6296E-20 Ea= -a*kв Способ №2 Строим график зависимости ln(R)=f(1/T) A 24.13 3.02E+10 A = exp(b) 0.0032 0.0033 0.0034 lnR 6 9; 5.41502449064285 5 8; 4.90624812212132 7; 4.37047085306252 4 6; 3.80468763176607 lnR Line 5; 3.18768240985418 3 4; 2.5495260238675 2 3; 1.92910489941 2; 1.05007501695708 1 1; 0.458794868995032 0 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 0.0034 0.0035 Расчёт проведём для следующих двух точек 1/T1 ln(R1) 1/T2 0.00319336 1.9291049 ln(R2) 0.002679887 5.415024491 Расчитываем Ea и A Ea A 9.3687E-20 1.79E+10 вторые 9 погрешностей Способ №1 Темп.
С Темп. К 1/T R (30) 20 293.15 0.00341122 30 303.15 0.0032987 40 313.15 0.00319336 50 323.15 0.00309454 60 333.15 0.00300165 70 343.15 0.00291418 80 353.15 0.00283166 90 363.15 0.00275368 100 373.15 0.00267989 1.44 3.1 6.5 12.8 24.4 45 79 135 225 Случайные погреш R 0.35305799883645 -0.2415172275505 -0.7404707503156 0.23796740151738 -0.1576840077178 -0.0215615727939 -0.1282289304072 0.30442140541709 -0.2902153482864 1.79 2.86 5.76 13.04 24.24 44.98 78.87 135.30 224.71 Стороим график зависимости ln(R )=f(1/T) 6 f(x) = − 6826.70579644206 x + 23.6866162265735 R² = 0.997108119513364 5 4 3 2 1 0 0.0025 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 0.0034 0.0035 Значения параметров линии тренда a Ea b -6826 9.4199E-20 A 23.68 1.92E+10 Способ №2 Строим график зависимости ln(R)=f(1/T) lnR 6 9; 5.41480972364469 5 8; 4.90752721317509 7; 4.3678233827124 4 6; 3.80618322888108 lnR Line 5; 3.18809970087312 3 4; 2.56786567023211 2 3; 1.75085574388258 2; 1.05029098492377 1 1; 0.583922541470967 0 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 0.0034 0.0035 2; 1.05029098492377 1 1; 0.583922541470967 0 0.0026 0.0027 0.0028 0.0029 0.003 0.0031 0.0032 0.0033 0.0034 0.0035 Расчёт проведём для следующих двух точек 1/T1 ln(R1) 1/T2 0.00309454 2.56786567 ln(R2) 0.002679887 5.414809724 Расчитываем Ea и A Ea A 9.4749E-20 2.20E+10 следующие 9 погрешностей Способ №1 Темп.
