Планарная МРС (Раздаточный материал)
Описание файла
Файл "Планарная МРС" внутри архива находится в следующих папках: Раздаточный материал, Магнетрон. PDF-файл из архива "Раздаточный материал", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "основы технологии изделий наноинженерии" из 9 семестр (1 семестр магистратуры), которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "основы технологии изделий наноинженерии" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
5 1 2 7 Рис. 2.25. Планарный магнетрон с прямоугольной мишенью и сбаланснровавной магнигвой системой 1а — общий вид, б — поперечное сечение, в — фрагмент изображения 'б"). Конфигурация электрического ноля соответствует случаю. когда еще огсутствует плазма над катодолн мишенью. ! — катод-мишень мшнетрона, 2 — постоянные магниты. 3— силовые линии магнитного поля, 4 — снловгле линии элекзрического поля„ 5 — анод, 6 — зона эрозии мишени в результате ионного распыления ед поверхноспп 7 — нижний магнитопровод, 8 — область скрещенных полей 1область магнитной ловушки для катодных электронов); кривая 1ЕВ1 со стрелкой показывает направление дрейфа электронов в скрещенных полях .