Отзыв ведущей организации (Электрические, фотоэлектрические и оптические свойства двухфазных пленок гидрогенизированного кремния)
Описание файла
Файл "Отзыв ведущей организации" внутри архива находится в следующих папках: Электрические, фотоэлектрические и оптические свойства двухфазных пленок гидрогенизированного кремния, Документы. PDF-файл из архива "Электрические, фотоэлектрические и оптические свойства двухфазных пленок гидрогенизированного кремния", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "физико-математические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве МГУ им. Ломоносова. Не смотря на прямую связь этого архива с МГУ им. Ломоносова, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
~ I O , I J K ~ T H O p~pOe > K A e H H R H a y K H@ ~ ~ J $ K o - T ~ x H I I Y ~ c KIIHCTHTYT~IIM.--&A H c c ~ ~ T ~ I ~ IXI R~ H K H HM.B.~IIOCBHIIJeHa~ B J % @ ~ ~ H IIJIeHOK~ I XrIIApOreHH3HPOBZiHHO~OrIInpOreHH3HpOBaHHOrO(a-Si:H)KpeMHHRA U C C ~ ~ T ~ ~ U O Hp aH6 O0 T~b ~l OIIpeneJIReTCRTOHKOIIJIeHOYHbIX OIIT03JIeKTPOHHbIX3 K C I I e p H M e H T a J l b H O M y HCCJIeAOBaHIIIOKPeMHIIR,HCOCTOHIIJHXHaHOKpHCTaJlJIOBIIIIIPOKIIMnp116opax, BA.
@. Mo@@eaH3MaTPIIqbI~MO~@HO~OAICT~~J~HOCTKpeMHIIR.IIpHMeHeHIIeMCBO~~CTBI I O ~ O ~ H ~ IMXa T e p H a J l O BBYaCTHOCTII, B COJIHeYHbIX 3JIeMeHTaX. C O J I H ~ Y H ~ I ~3JIeMeHTbI H a OCHOBe TOHKHX KpeMHHeBbIX IIJIeHOK IIOSBOJLSIIOT A O ~ I I T ~ C HR H ~ K OCTONMOCTH~ ~BaTTa~ b l p a 6 0 T Z i H ~ 0 f iMOIIJHOCTII,60nb11111x IIJIoIIJwefi3JIeMeHTOBHaaTeXHOJIOrIIR IIX IIpOII3BOnCTBa COBMeCTHMa C O C a X n e H H e MII T O J I e p a H T H a IIO OTHOIIIeHHIo KOCHOBea-Si:H@ o T o I I H ~ ~ ~ H ~ o B ~ HAerpaAi3UkiI.iHo~~OAHIIMH 3OTHOCIITeJIbHOIIapaMeTpOBIIOAXOAOB, IIO3BOJIRIOUIIX3 a M e H a CJIORa-Si:HnneHoKH~CMOTPRHaHH30K,a-Si:HBIIOnJIOXeK.YaCTHOCTH,KmO~HZNOH3-3a3@@e~TaIIOA A ~ ~ ~ c T B AJIHTeJIbHOrOII~MOCBeUeHHH.YJIYYIIIHTb C T ~ ~ I I J I ~ H OOIINCaHHbIXCT~3JIeMeHTOB, HBJIReTCRH a IIJIeHKII, C O C T O 5 I ~ I I e113 a M o p @ ~ o f iK ~ ~ M H M ~MBa TOP I I~U~b I C BKJIIOYeHHeM~ W I 0 f AOJIHiKpeMHIIeBbIX HaHOKpHCTaJlJIOB.nonyseHm~b160pyM a T e p I I a J l O Bnp1160po~a-Si:H, n e x mB OCHOBe IIOJIyYeHHR3TOrO MaTepIIWIa, TaKMeTon n n m M o x m m e c K o r o~ @ @ ~ K T H B H O C TA~ a H H O r Oo c a m e H mA B J % @ Z ~ H OM~aOTepHaJlaAJIR113Xe KaK HIIpIIra3o~oiiOIITO3JIeKTpOHHbIXI I p ~ n o X e H H f i , O C O ~ ~ H H O C T Her03JIeKTpHYeCKHX,@OTO~~~KT~H~~HC KOI n?TXHreCKHXCBO~~CTB,CBR32LHHbIe C HaTIHYHeM HaHOKPHCTaTIJIOB KPeMHHR B a h l o p @ H o f i K ~ ~ M H H ~MBa TOp H~s e~, OcTCiIOTcRK O H s a HeRCHbIMH H ~ p e 6 y I OnaJIbHefiUIer0~ABa THIIanono6ab1x IIJIeHOK:B pa60~eX ~ H K HM.B.H~H3yYeHHR.PaCCMaTpHBCiIOTCR~ ~ o T o K ~ H c T ~ J I J I H ~K~ cP K~ HM ~H~H(PC-Si:H),~~B KOTOPOM HaHOKPHCTaTIJIbI@OPMHP~WTCII H a n o B e p x H o c T HH n o n H ~ o p @ a b ~ fKi P ~ M H H (pm-Si:H),~~npHpac~yuefin n e H K H ,ra30~0fi@a3e,HO C m e H H H KOTOpOrO HaHOKPHCTaTIJIbI @OPMHPYIOTCH BpacnpenenRmTcRnoKaK CJIenCTBHe, O n H O p O n H Ono T o n u m e pac~yuefinneam.O ~ H H M H3IIepCneKTHBHbIX~ H ~ ~ O ~ ~ H H ~ H ~K pOe MBH~mH RHB nOR eIT -c xo~ B Y X @ ~ ~ H ~ InJIeHOKX@OPMHPOB~HHHMeTOnOBna3epHma-Si:H.
h ~ n oK ~ H C T ~ J I J I H ~ ~ n~nHe HRoKn O K a 3 a H O , 9 T O I I p H J I a 3 e p H O M O T X H r e n p O H C X O n H T H e TOJIbKO YaCTHgHSLII KPHCTaTIJIH3aLIHR M a T e p H a J I a ,HOTaKXeH3MeHeHHeysenmeHumM O ~ @ O J I O ~ H EnOBepXHOCTH~nwamueronornoueHuRHaH ~ ~ J I I O ~ ~H~HTT eCp eRC K HCnOJIb30BaHHIOnJIR KpHCTaJIJIH3asHHTOIIJIeHOK.nosepxHocTbIIpHBOnHTnneHoKKPHCTaTIJIH3aUHIOBa-Si:H, n p H B o n R u e eOnHOPOAHOnpaKTHreCKHHeBTOXeH3JIyYeHHeM, I I p O B e A e H H b I eHTeKCTa,K H M.B.H~BpeMRa-SkH,COCTOHTMeTOnHKHTOJIuHHeTOnJIeHOK,MaTepHaTIa.H e TOJIbKO n 0 3 B O J M e THOBTaKXeIIPHBOnHTK~ O J I ~ L I I H H C T B pa60~,~H3yYaeTCRCTpyKTypa@ H ~ H Y ~ C K HC ~B O ~ ~ C T BM~a T e p H a J I aOCTCiIOTCRH C C J I ~ ~ O B ~ H3JIeKTpHreCKHXH~~HM O ~ H @ H U H P O B ~ H H ~ I@X ~ M T O C ~ K Y H ~ H J~I Ia 3Me p H b I MBKJIIOYmH3BBeneHHR,3KCnePHMeHTa,no pa6o~e.BbIBOnOBMaLUHHOIIHCHOrOHMnyJIbCOBX ~ H K H HM.B.,~ I M RBJIRIOTCR HOBbIMU AJIR A a H H O r O M a T e p H a J I a .~ H C C ~ ~ T ~ UX H~ HHOIIHCaHHeBcefi~ O ~ T O M Ype3yJIbTaTbIHCCJIenOBaHHbIMH.@ O T O ~ J I ~ K T ~ H Y ~ C KCHBXO ~ ~ C T BnJIeHOKJIHTepaTypbI,ronbIK BOSHHKHOB~HHIOB n o n y n p o B o n H H K e0 6 p a 6 0 ~ ~ nJIeHOKea-Si:H,@ ~ M T O C ~ K Y H ~ HJIa3epHofiO~~M O ~ H @ H U U P O B ~ H H ~ I IIneHOK.Xpe3ynbTaTOBnoM O ~ H @ H K ~ U H HCTPYKTyPbIMeXaHH3MOBIIOCBRmeHHbIXnocnenHueC B ~ P X ~ ~ I C( T@P~M~ TI oXc ~ K Y H ~ H ~ IJXI a)3 e p H b I Xs p e 3 B b I Y a f i ~ o H e p a B H O B e C H O r O COCTORHHR ~ J I ~ K T ~ o H HnOnCHCTeMb1.o~~H3MeHeHHIOBcseTa.CyLIJeCTBeHHOMJ'a-Si:H.
n p H @ ~ M T O C ~ K Y H ~JIa3epHofiHO~~06pa60~~BO3MOXHOeMHO~O@OTOHHO~~ e n ~ ~ e fo in T~moe ceK o e nornomemenPOBOnHTbK1IIRTHPaCCMOTpeHHemaB,COnepXamHXOCHOBHbIX~ H C C ~ ~ T ~ ~ H O H H pa60~aSLIICOnepXHTT ~ ~ J I H ~ 81Y , PHCYHOKHCnHCOK0630~IIOJIyYeHHbIX159JIHTepaTypbICTPaHHsH3178H~HM~HOB~HH~~.BOBBeneHHH@ o p ~ y J I E i p y e ~ c RnOCTaHOBKaaKTYaTIbH0CTI.I.nep~asl r J I a B aPaCCMOTpeHbIHMeIOmHeCR3JIeKTpHYeCKHX,KpeMHHR.H H C C e p T a u H H HOCHTJIHTepaTypHbIeHnonpo6soe0630p~b1fi X a p a K T e p ,AaHHbIe$OTO~JI~KT~H~~CKH H OnTHYeCKHXXB ~ o p mr J I a B a lTOCBRUJeHa3warH0cnoco6axO ~ O C H O B ~ H Hee~B K O T O P O ~ ~110np06~0IIOnyreHHR,CTpyKType,C B O ~ ~ C T B ~IIJIeHOKXrHnpOreHH3HpOBaHHOrOOlTHCaHHIO HCIIOJIb3OBaHHbIX MeTOnHK HCCJIenOBaHHR CTPJXTyPbIH C B O ~ ~ C T BA B Y X @ X ~ H ~ I XnJIeHOKB~ H A P O ~ e H H 3 H P O B a H H O I WKPeMHHII.T p e T b e f i r J I a B e OrIHCaHbIHCCJIenOBaHHbIe B ~ N C C ~ P T ~ ~ H O Hpa6o~eH O ~ ~C B O ~ ~ C TnBn e~ H 0 K l T p O T O K p H C T ~ J I H r e C K O r 0KpeMHHX,CBX3aHHbIeCIIpHCyTCTBkIeMHaHOKpHCTWIJIHreCKHXO C O ~ ~ H H O C T I I MC T P y K T y P b I Hs n H a H m o H a HHXY ~ T B ~ Pr J ITa B~a@ O T O ~ J I ~ K T P I ? ~ ~ C KCHBXO ~ ~ C T BnJIeHOKy c n o ~ ~ nf io n p e a mnOCBXUeHa~TOJIHMOP@HO~OKpeMHHIIB n a ~ o i i rnaseMaTepHana.p a 3 J I H r H b I X CTPYKTYPHbIX M O ~ I ? @ ~ I K ~ ~ nJIeHOK~IIIXo 6 p a 6 o ~ ~ ea, TaK xe 06BKJIIOreHEifi.npencTasneHb1 naHHbreHoa-Si:H, I I O A B e P r H y T b I X @ ~ M T O C ~ K Y H A HJIX3epHofiO~~O n T H r e c K H x , 3 n e K T p H r e c K H x ki @ O T O ~ J I ~ K T P H S ~ C K ~ XapaKTepHCTHKaXIXn o n y r e H H b I x MaTepHanoB.C p e n ~OCHOBH~IX nonoxeawii,B ~ I H O C H M ~ I XH a ~ ~ U H T Y c, n e A y e T B b I n e n H T b c n e A y I o w H e HoabIeHayYHble pe3yJbTaTb1, l T O J I y r e H H b I e1) BM.B.
X ~ H K I I H ~ I M :r ~ n p o r e ~ ~ 3 ~ p o s Kap~e M~HoH ar o0 6 ~ a p y x e3~@ @ e ~ ~nneHKax npoToKpwmimHrecKoroTeMnepaTypHororarueam @ o ~ o n p o ~ o nn ~p H~ko~ cxo ~c s ~e u e H m ~ s n y r e c~s ~ eep ~r~eiiKBaHTa, M e H b I J I e f i UIHPHHbI meJIH IIOABHXHOCTH~ T M O C @ ~ B~ 0~3 AI y X aHaa-Si:H.
O T M ~ ~O C~O H~ ~ H~H IO C T BJIHIIHHIIHPC-Si:H. O ~ H ~ ~ Y X ~C B O ~ ~ C T BnJIeHOK~3JIeKTpHreCKHeY M e H b I I I e H H e IIOrJIOmeHHX, H 3 M e p e H H O r O MeTOAOM nOCT05IHHOrO @OTOTOK~, B n J I e H K a X PC-Si:HBo 6 n a c ~3~H e p r H f iM O H O X P O M a T H ~ e C K H MCBeTOM.MaKCHMYMOMOKOJIO1,2KBaHTOBBHJIeHKaX1,5 3B nocne-Ha6JIIOnaeMb1e@ o T o J I I O M H H ~ C ~ ~ H ~C~IEI3@@eKTb1 C H W I H r H e Ma-Si:H.HaHOKpHCTWInHreCKkIX BKJIIOreHHfi B M a T P H u eycnosk~iir ~ n p o r e ~ ~ 3 ~ p o ~Kap e~M~H Hoa1H-a0HXOCBemeHHX MeX30HHbIMPC-Si:H 0 6 H a p y ~ e Hn H K1,52 3B. A B T O CBII3bIBaeT~2) I I p o a ~ a n ~ 3 ~ p o ~ san~H aoH H eHXnonyremaCTPYKTYPY,C B O ~ ~ C T B ~YCT~HOBJI~HO,.9 T O YMeHbUIeHHenon~~op@aoronneHoK3neKTpHrecKHe H @ o ~ o s n e ~ ~ p ~ r e c ~ knaBJIeHkI5ITX3OBBP ~ ~ K ~ H O H HK aOM~e p~ eIIPHBOAHT K YBeJIHreHkIIO A O n H HaHOKpHCTWIJIHreCKHX B K J I I O ~ e H H f i .
n0~~3aH0,r T 0 POCTAOJIkIHaHOKPHCTWIJIHreCKkIXrHApOreHH3HpOBaHHOrOB K J I I O ~ ~ H H B~ ~ aMOp@HOfiKpeMHHXBbI3bIBaeTYBeJIHseHHeH 3 M e p e H H O r O MeTOAOM nOCTO5IHHOrO @OTOTOK~, B0 6 ~ a p y x e ~YMeHbLLIeHkIeoIIOJIHMO~@HO~OK O ~ @ @ H ~ H ~ lHI OTm~O m e H H I I ,0 6 n a c ~3 H~e p ~ k I f iKBaHTOB 1,2-1,5 3B.3 @ @ e K T a @ O T O H H ~ J J I J H ~ O B ~ H H O ~H3MeHeHHRO3JIeKTPH9eCKHX H@OTO~JI~KT~H~~CKn aHp aXM e T p O BnonnoxKH,MaTpHue~ c n o n b s y e ~ o fnpaiHJIeHOKHXpm-Si:HnonpeHm.lTpHYBeJIHreHHHI I o ~ m a ~ oYTO,TeMnepaTypbI3neKTpHrecKHeH@ o ~ o s n e ~ ~ p c~~r oei ci c~~~nsnaee H o K pm-Si:H cna6o s a s ~ c OTa ~HX T o n m H H b I .3)~ o K X ~ ~ H 9OT O,o 6 n p e ~ ~nJIeHOKea-Si:H@ ~ M T O C ~ K Y H ~ H ~ IJIX3ePHbIMHMHHMlTyJIbCaMHn03BOJIHeT KOHTPOJIHPYeMbIM 0 6 p X 3 0 ~lTPOBOnHTb HX KPHCTUIJIH3auHIO.
Y C T ~ H O B J I ~ H Or, T 0o 6 a e ~ ~ anonax~ p ~ c ~ a n n k ~ s e c ~ o f ni o n p e H H o r o M a - r e p u a n a Hee pacnpeneneme noBOAOpOAaH3CTPYKTYPbIMaTepHaJIa,~ ~ K O M ~ W H ~ U H O Hq eHH ~q o~ B~.nneHoKYTOIIPHBOAHTnpennoxe~aKYBeJIHqeHHIOnpoqenypanoc~-r~~pore~~3aqa-Si:H non n e i i c ~ ~na3ep~ofi~ e ~ 06pa60~O~~G.~ a p y x e ~ or T, o~ ~ ~ I C T E I ~ ~3HasEiMOCTbC K ~ R1.IIOnTBepXneHHRIIpOTOKpHCTUJIHYeCKOrOA H C C ~ P T ~ ~ W O H H pa60~b1O~~COCTOHTHUHYHRKpeMHHR,HaHOKpHCTaJIJIOBXeJIaTeJIbHO6b1noKOHqeHTpmHHBKPeMHHR6b1HC~OJI~~OB~HH~BO3MOXHOCTHBlTpeACTaBHTbIIJIeHKaXCHHMKHl T p 0 c ~ e Y ~ ~ ~ r r~ IJ eI ~f Ki T P O H H MHKPOCKOIIHH.O~~2.k I 3 ~ e ~ e ~C TH ~e~ H J I ~ H O C TIIJIeHOKHIIOJIWMOP@HOTO THAPOTeHH3HPOBaHHOrO KPeMHkISl,IIOJIyYeHHbIX I I p H Pa3JIHYHbIX T e M I I e p a T y p a X OCaXAeHHR, a B T O p CBR3bIBaeT C H 3 M e H e H H e MKOHUeHTPaUHH BOAOPOAa B M a T e p H U e .
~ O ~ T O MX eYJ I a T e J I b H O6b1no 6b1 IIpOBeCTH H 3 M e p e H H RK O H q e H T P a U H H B O n O P O A a B AaHHbIX nJIeHKaX.3. B pa3nene pa60~b1,n o c s R u e H H o MnneHKaMn o n w ~ o p @ ~ o~r oH~ ~ O ~ ~ H H ~ H ~ O B ~KpeMHHR, IIOJIyYeHHbIM I I p H p a 3 J I O X e H H H CMeCH CHJIaHa, B O n O p O n a H @ T O P H ~KPeMHEIFI,~OTMeYaeTCR,YTOBBeAeHHe@ T O P H ~ ~KpeMHHRMOXeTIIpHBeCTHKyMeHbIIIeHHIOK O H s e H T P a s H H H ~ K O H T ~ O J I H ~ npkIMeCH~ ~ M O ~ KHCJIOpOAa~B IIJIeHKaX.B T O X e BpeMR,B pa60TeH e IIPOBOAHTCR a H m H 3 @ ~ K T H ~ ~ C KCOO A~ eOp X a H H R KHCJIOpOAa B HCCJIeAOBaHHbIX B A m H O Mpa3~enen n e s K a x .n p e ~ c ~ a ~ n e s~ a~~ be ~r ae ~k Hi e~A H C C ~ P T ~ ~ H O H Hpa6o~b1O~~BUeJIOMB ~ I ~ O J I H ~ HXH~OH~K~H H ~ IM.B.Mpa60~b1.H, @ i c c e p ~ wX~ ~~ H K H M.H ~ B.3HaYHMOCTb,BnmIoTHeHaCHHXWTB n0JIH0fi06uy10Hayz1~0fi HnonoxsTenbHymoseHKyl l p a ~ ~ k i s e ~3HaZIHMOCTH~ ~ f iM e p e OTpaXaeT aKTymbHOCTb,IIpaKTHseCKyIoHaYgHYIO HOBH3HY H OCHOBHbIe p e 3 y J I b T a T b I P ~ ~ O T Mno.TeMe AHCCepTa~HOHHOrOHCCJIeAOBaHHRaBTOPOMI I ~ o B ~ AO~~HL U H P H ~ KI ~P~H T H ~ ~ C K Ha .~H~U H 3JIHTepaTypHbIXAaHHbIX.~ ~ ~ A c T ~ B J I ~p eH3 yHJ I~b TI a~T b I A H C C e p T a ~ H H H e I I p O T H B O p e r a T H3BeCTHbIM n y 6 J I H K a q H R M A p Y r H XaBTOPOB.O C H O B HPe3YJIbTaTbI~I~15 -P ~ ~ O ToM~ ~ ~ J I H K o B aBTOPOM~ H ~ IBB H3AaHHXX, BXOARWHX Bn e p e ~ e ~BAK.banpo6aqsro H a H a Y r H b I X C e M H H a p a X ,38 n e r a T H b I X p a 6 0 T a x ,H 3 KOTOPbIXP e 3 y J I b T a T b l IIpOBeAeHHbIX H c c J I ~ A o B Z ~ H H ~IIpOLUJIH~HaqHOHaTIbHbIX H M e m Y H a P O A H b I X K O H @ ~ ~ ~ H ~ HBI ITOMX , gHCJIe3a py6eX0~.ABTope@epa~Hn y 6 n ~ ~ aaB sT O~p a~ noT e M e AHCCepTaIJHHIIOJIHOCTbIoOTpaXWTeecoAepxmHe.T~KHMo6pa30~,AHCCepTaqHOHHlMpa60TaX ~ H K HM.B.H~O T B e r a e T BCeM T ~ ~ ~ o B ~ H H R M ,IlpeAaRBJIReMbIM K KaHAHAaTCKHM AHCCePTaqHRM, YCTaHOBJIeHHbIM II.lTpHCyXAeHHR YYeHbIX ~ T e n e H e f i ) ) OT24C ~ H T I I ~ P I2013I9( ( ~ o J I o X ~ H H R0 IIOpRAKer.
N2 842, a X ~ H K H map^HBWHMOBH~3 a C J I y X H B a e T I I p H C y X A e H H R e M y H C K O M O ~y ~r e H 0 f i C T e n e H H K a H A H A a T a @ H ~ H K O - M ~ T ~ M ~ T H Y ~ HC aKy~KI Xno CnesHaJlbHOCTkI 0 1.04.10- ( ( @ H ~ H KllOJIYIIPOBOAHHKOB)).~P e 3 y J I b T a T b 1 A H C C ~ ~ T ~ ~ H O pHa 6H0 TOb ~1 ~Xono6pe~b1H aCeMHHape~ H K HMHa~p ~ aB ~ . @ ~ M o ~E,IJIHB H ~ PaCCMOTpeHbI~Hn a 6 0 p a ~ o p@~H~~ H K O - X H M H ~ ~ C K ~CIBXO ~ ~ C T BIIOJIYIIPOBOAHHKOB @ E y H@TI4 HM. A.
@. Ho@@ePAH ( n p o ~ o ~ Nocn31 1 1 OT 20 HORGPR 2015 r o ~ a ) .Eo6b1nb A.A.Tpane3HHK0BaH.H..