отзыв на автореф от Криштопа (Перенос заряда в электрохимическом акселерометре при изменении концентрации активного компонента на электродах)

отзыв на автореферат кандидатской диссертации Егорова Егора Владимировича «Перенос заряда в электрохимичсском акселерометре при изменении концентрации активного компонента на электродах», представленной на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.01 — приборы и методы экспериментальной физики. Появление в последние годы микроэлектронных твердотельно-жидкостных электрохимических акселерометров планарного типа существенно расширяет потенциальную область применения устройств па основе молекулярно-электронного переноса. Дальнейшее развитис этой технологии приведет к появлению гибридных микросхем, сочетающих в себе элементы твердотельной электроники и электрохимических преобразователей, характеризующихся чрезвычайно высокой чувствительностью.

При этом, миниатюризация преобразующего элемента молекулярноэлсктронных преобразователей открывает целый ряд направлений для проведения исследований фундаментального характера, необходимых для дальнейшего развития технологии молекулярно-электронного переноса.

Диссертация Егорова Е.В, посвящена исследованию процессов конвективной диффузии в современных электрохимических микроакселерометрах, причем необходимо заметить, что при дальнейшей миниатюризации чувствительного элемента эффекты, изученные в работе, будут оказывать все более существенное влияние на характеристики приборов.

Затронутые в диссертации вопросы являются актуальными для дальнейшего развития данного направления как с чисто научной, так и с прикладной точек зрения. В диссертации Егорова Е.В. проведены теоретические и экспериментальные исследования электродных токов молекулярно-электронного преобразователя при различных типах внешних воздействий. Автором разработана теоретическая модель, одновременно учитывающая процессы переноса заряда в межэлектродном пространстве и на границе электрод-электролит и влияние фонового электролита на выходные характеристики ячейки, и проведены экспериментальные исследования шумовых и динамических характеристик микродатчиков, в целом убедительно подтверждающие полученные автором теоретические результаты, Среди результатов, представляющих набольший научный интерес. следует отметить оригинальные «модифицированные» граничные условия для концентрации на электродах, которые позволили относительно просто дать качественное обьяснение вообще говоря неожиданного факта расхождения анодного и катодного сигнальных токов с ростом частоты.

В тоже время наиболее важными мне кажутся исследования в рамках модели с учетом конечной скорости реакции на электродах, Автором получены зависимости электродных токов в рамках этой модели для стационарного протекания жидкости через преобразующий элемент. К недостаткам работы можно отнести явно неудачный термин «конечность электропроводности электролита», затрудняющий понимание полученных результатов.

Следует особо отметить тот факт, что предложенная в работе конструкция молекулярно-электронного преобразователя, способного измерять постоянное линейное ускорение, строго говоря не является «молекулярно-электронным преобразователем» в классическом смысле, т.к. в такой конструкции неизбежно имеется постоянный поток электролита через преобразующую электродную систему. Фактически в работе разработан новый способ преобразования параметров движения на базе конвективного и диффузионного переноса, и разработан датчик нового типа, для которого я бы предложил отдельное название, например, «конвективный элсктрохимический преобразователь».

Кроме того, иго это выгодно выделяет данную работу из всех прочих, разработка имеет существенное практическое значение, т,к. возможность измерять постоянное линейное К.ф.-м. н., научный сотрудник Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук---- Крнштоп В.Г. Подпись Криштопа В.Г. удостоверяю. Ученый секретарь Института проблем технологии мнкроэлек и особочистых материалов Российской ак А,Н. Редькин ускорение до сих пор считалась одним из существенных преимуществ МЭМС- акселерометров перед электрохимическими системами.

Диссертационная работа Егорова Е.В. соответствует требованиям, предъявляемым к диссертациям на соискание ученой степени кандидата наук. Считаю, что данная диссертационная работа выполнена на высоком научном уровне с использованием современных теоретических методов и технических средств, а Егоров Е.В. безусловно заслуживает присвоения ему ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.01 — Приборы и методы экспериментальной физики.

.