заключение совета (Влияние внешних условий на физические процессы и параметры плазмы индуктивного ВЧ разряда)

ЗАКЛЮЧЕНИЕ ДИССЕРТАЦИОННОГО СОВЕТА Д 501.001.66 НА БАЗЕФГБОУ ВПО «МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТИМЕНИ М.В. ЛОМОНОСОВА» ПО ДИССЕРТАЦИИ НА СОИСКАНИЕУЧЕНОЙ СТЕПЕНИ КАНДИДАТА НАУКаттестационное дело № ______________________решение диссертационного совета от 5 июня 2014 г., № 4О присуждении Неклюдовой Полине Алексеевне, гражданке РФ, ученойстепени кандидата физико-математических наук.Диссертация «Влияние внешних условий на физические процессы ипараметры плазмы индуктивного ВЧ разряда» по специальности 01.04.08 –физика плазмы принята к защите 19 декабря 2013 г., протокол № 12,диссертационным советом Д 501.001.66 на базе Московского государственногоуниверситета имени М.В.Ломоносова (119991, Москва, Ленинские горы, д.1),созданным 19.10.2007, приказ № 2048-1287.Соискатель Неклюдова Полина Алексеевна, 1986 года рождения, в 2010годуокончилафизическийфакультетМосковскогогосударственногоуниверситета имени М.В.Ломоносова, в 2013 году окончила аспирантуруфизического факультета Московского государственного университета имениМ.В.Ломоносова,физическойработаетмладшимэлектроникигосударственногонаучнымфизическогобюджетногосотрудникомфакультетаобразовательногонакафедреФедеральногоучреждениявысшегопрофессионального образования «Московский государственный университетимени М.В.Ломоносова».Диссертация выполнена на кафедре физической электроники физическогофакультетаФедеральногогосударственногоучреждениявысшегопрофессиональногобюджетногообразованияобразовательного«Московскийгосударственный университет имени М.В.Ломоносова».Научный руководитель – доктор физико-математических наук КралькинаЕлена Александровна, ведущий научный сотрудник кафедры физической2электроникифизическогофакультетабюджетногообразовательногообразования«МосковскийФедеральногоучреждениявысшегогосударственныйгосударственногопрофессиональногоуниверситетимениМ.В.Ломоносова».Официальные оппоненты:Руденко Константин Васильевич, доктор физико-математических наук, ведущийнаучный сотрудник Федерального государственного бюджетного учреждениянауки Физико-технологический институт РАН,АрсенинАлексейВладимирович,кандидатфизико-математическихнаук,ведущий научный сотрудник Федерального государственного автономногообразовательногоучреждениявысшегопрофессиональногообразования«Московский физико-технический институт (государственный университет)»дали положительные отзывы на диссертацию.ВедущаяорганизацияФедеральноегосударственноебюджетноеучреждение науки Институт общей физики им.

А.М. Прохорова РАН (Москва) всвоем положительном заключении, подписанном заведующим теоретическимотделом, доктором физико-математических наук, профессором Гусейн-заде Н.Г. иутвержденном директором, доктором физико-математических наук, академикомРАН Щербаковым И.А., указала, что «Диссертация представляет собойзаконченную работу, выполненную на высоком научном уровне. Представленныев работе результаты достоверны, выводы и рекомендации обоснованы.Диссертация отвечает требованиям Положения ВАК о порядке присужденияученых степеней, а ее автор Неклюдова Полина Алексеевна заслуживаетприсуждения ученой степени кандидата физико-математических наук поспециальности 01.04.08 – физика плазмы.»Соискатель имеет 20 опубликованных работ, в том числе по темедиссертации 20 работ, опубликованных в рецензируемых научных изданиях 8.Публикации содержат новые оригинальные результаты по физике ВЧ разряда.Вклад соискателя в подготовку публикаций является определяющим. Наиболеезначимые работы по теме диссертации:31.

Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., ПавловВ.Б. Исследование параметров плазмы индуктивного ВЧ источника плазмыдиаметром 46 см. Часть I. Параметры плазмы в области скин-слоя //Прикладная физика. — 2013. — № 5. — C. 34–37.2. Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., ПавловВ.Б., Тараканов В.П. Математическое моделирование индуктивного ВЧразряда низкого давления с помощью программы KARAT // Прикладнаяфизика. — 2013. — № 5.

— C. 38 –41.3. Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Вавилин К.В., ТаракановВ.П. Радиальная неоднородность параметров плазмы в индуктивном ВЧразряденизкогодавления//Вестник МГУ.Серия3.ФИЗИКА.АСТРОНОМИЯ. — 2014. — №1. — C.79–83.4. Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Вавилин К.В. ВлияниеэффектаРамзауэраначастотуупругихстолкновенийвплазмеиндуктивного ВЧ разряда в инертных газах // Вестник МГУ. Серия 3.ФИЗИКА.

АСТРОНОМИЯ. — 2014. — №1. — C. 84–87.5. Александров А.Ф., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., ПавловВ.Б. Исследование параметров плазмы индуктивного ВЧ источника плазмыдиаметром 46 см. Часть II. Математическое моделирование параметровплазмы индуктивного и гибридного ВЧ-разрядов // Прикладная физика. —2014. — № 1.

— С. 9–11.На диссертацию и автореферат поступили 3 отзыва. Отзывы положительные.В отзыве д.т.н. Киреева В.Ю., начальника отдела системных исследований ООО«Перспективные плазменные технологии», в частности указывается:«1. На стр. 11 в подписи к рис. 4(а) указано, что «зависимость эквивалентногосопротивления плазмы для всех рассмотренных инертных газов от концентрацииэлектронов приведена при фиксированной частоте упругих столкновенийэлектронов с атомами 3∙106 с-1».

Тогда как в последнем абзаце текста на стр. 11указывается: «Рис. 4(а) убедительно демонстрирует, что частота столкновенийэлектронов с атомами в диапазоне 3∙106 - 3∙107 с-1 однозначно определяет4эквивалентное сопротивление плазмы». Таким образом, непонятно есть лидиапазон частот на рис. 4(а)? Аналогичная ситуация с рис. 4(б).2. На ряде рисунков, например рис 1(а) и 1(б), не указаны и не показаныпогрешности приведенных экспериментальных результатов.3. В связи с большим объемом комплексных и систематических исследованийзависимости параметров плазмы от внешних факторов, проведенных в работе, дляповышения ее значимости для практических применений целесообразнооформить и привести полученные результаты в виде номограмм, указывающихмаксимальной диаметр зон 95% равномерности параметров плазмы и наборвнешних факторов его обеспечивающий.Однако указанные недостатки не снижают ценности работы, которая содержитрешение актуальной научно-технической задачи по исследованию влияниявнешних параметров (рода инертного газа, давления, частоты, мощности,величины магнитного поля) на механизмы физических процессов и параметрыплазмы индуктивного ВЧ разряда, а также по оптимизации их распределения поплощади технологической обработки диаметром до 300 мм.»В отзыве к.т.н.

Рябого В.А., с.н.с. Лаборатории ВЧИД НИИ ПМЭ МАИ, вчастности указывается:«В качестве замечания отмечу, что в автореферате по экспериментальной работехотелось бы видеть хотя бы краткую характеристику средств диагностики иоценку погрешностей получаемых с их помощью результатов.Сделанное замечание не носит принципиального характера в виду высокойрепутации научной группы, в которой выполнялось данное исследование, однакоего желательно учесть в докладе на диссертационном совете.»В отзыве д.т.н., проф. Абдуллина И.Ш., проректора по научной работе Казанскогонационального исследовательского технологического университета и д.ф.-м.н.,доц.

Желтухина В.С., г.н.с. Казанского национального исследовательскоготехнологического университета, в частности указывается:«По автореферату есть замечания.1) На стр.8 говорится следующее: «Для уменьшения времени счета масса ионоввзята равной 2000 массам электронов». Не вполне понятно, каким образом5отношение масс ионов и электронов может повлиять на время расчета, так какпоследний фактор, на наш взгляд, зависит от количества частиц в ячейках, но неот отношения их масс. Кроме того, отношение масс ионов и электронов – этоконкретная физическая величина, зависящая от рода газа.

Произвольное ееустановление может поставить под сомнение адекватность модели.2) В автореферате часто употребляется термин «частота столкновений электроновс атомами», в том числе в выводах по работе, без уточнения, о какихстолкновениях идет речь – упругих или неупругих. В принципе, понятно, чтоимеются в виду упругие столкновения, поскольку на странице 11 упоминаютсяименно они.

Тем не менее, на наш взгляд, было бы корректнее употребить болееточную терминологию.»Выбор официальных оппонентов и ведущей организации обосновываетсятем, что оппоненты являются специалистами в области физики плазмы в целом ифизики ВЧ газового разряда и его технологических приложений в частности,имеют публикации по указанной тематике, а ведущая организация широкоизвестна своими достижениями в области физики плазмы и плазменныхтехнологий.Диссертационный совет отмечает, что на основании выполненныхсоискателем исследований:1. Исследованы основные физические процессы в плазме ВЧ разряда,возбуждаемого в цилиндрической трубке радиусом 23 см с индуктивнымподводом электромагнитной энергии в широком диапазоне изменения давлениярабочего газа (0.001–1 Тор), рода газа (гелий, неон, аргон, криптон), частоты ВЧгенератора (2, 4, 13.56 МГц) и индукции внешнего магнитного поля (0–50 Гс).Показано, что в рассмотренном плазменном реакторе реализуются все возможныемеханизмы поддержания разряда и нагрева электронной компоненты: собственноиндуктивный, паразитный емкостной и резонансный, связанный с раскачкой вмагнитоактивной плазме геликонов и косых ленгмюровских волн.2.