Главная » Все файлы » Просмотр файлов из архивов » PDF-файлы » Плазменно и термически стимулированное осаждение алмазных пленок многомерные модели химических реакторов

Плазменно и термически стимулированное осаждение алмазных пленок многомерные модели химических реакторов, страница 75

PDF-файл Плазменно и термически стимулированное осаждение алмазных пленок многомерные модели химических реакторов, страница 75 Физико-математические науки (29479): Диссертация - Аспирантура и докторантураПлазменно и термически стимулированное осаждение алмазных пленок многомерные модели химических реакторов: Физико-математические науки - PDF, страница2019-03-13СтудИзба

Описание файла

PDF-файл из архива "Плазменно и термически стимулированное осаждение алмазных пленок многомерные модели химических реакторов", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "физико-математические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве МГУ им. Ломоносова. Не смотря на прямую связь этого архива с МГУ им. Ломоносова, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой докторскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени доктора физико-математических наук.

Просмотр PDF-файла онлайн

Текст 75 страницы из PDF

v.6. p.1051-1056.A7. Mankelevich Yu.A., Rakhimov A.T., Suetin N.V. Three-dimensional reactive flow simulations offilament-assisted diamond deposition // Proc. of the Fifth Internat. Sympos. On Diamond Materials,Editors: J.L. Davidson, W.D. Brown, A. Gicquel, B.V. Spitsyn, J.C. Angus. The ElectrochemicalSociety, Paris, France.

1997. v. 97-32. p.161-170.A8. Kostiuk S.V., Mankelevich Yu.A., Rakhimov A.T., Suetin N.V. Two-dimensional simulation ofdiamond deposition processes in microwave discharge reactors // Proc. 5th Int. Symp. on DiamondMaterials, Eds. J.L. Davidson, W.D. Brown, A. Gicquel, B.V. Spitsyn, J.C. Angus. The Electrochem.Soc., Paris, France. 1997. v.

97-32. p.152-160.A9. Mankelevich Y.A., Rakhimov A.T., Suetin N.V., Коstyuk S.V. Diamond deposition in plasmaactivated CVD reactors. Two-dimensional modeling. // in book “Diamond&Diamond-Like FilmApplications” Proceedings of Third Internat. Symp. On Diamond Films, S.-Petersburg, 1996, edit. P.J. Gielisse, V.I.

Ivanov-Omskii, G. Popovichi, M. Prelas, Technomic Publishing Corp. 1998. p.210218.A10. Mankelevich Yu.A., Suetin N.V. Three-dimensional distributions of methyl density in a hotfilament CVD reactor. Comparison with cavity ring-down spectroscopy measurements // Proceedingsof SPIE, Lasers in Synthesis, Characterization, and Processing of Diamond, Editor(s): Konov V.I.,Ralchenko V.G. 1998. v.3484. p.43-49.A11.

Mankelevich Yu.A., Rakhimov A.T., Suetin N.V. Three-dimensional simulation of a HFCVDreactor // Diamond Relat. Mater. 1998. v.7. p.1133-1137.A12. Mankelevich Yu.A., Rakhimov A.T., Suetin N.V., Aparin Y.J. 2D model DC discharge reactorfor diamond deposition // Ceramics International. 1998. v.24. p.255-257.313A13. Коstiuk S.V., Mankelevich Y.A., Rakhimov A.T., Suetin N.V. Reactive mixture activation by dcand mw discharges.

Two-dimensional simulation // Proc. of Physics and Technology Institute. 2000.v.16. p.38-47.A14. Манкелевич Ю.А., Суетин Н.В. Получение углеродных пленок // Энциклопедиянизкотемпературной плазмы, под ред. В.Е. Фортова, М: Наука. 2000. т. IV, с.404- 414.A15. Ashfold M.N.R., May P.W., Petherbridge J.R., Rosser K.N., Smith J.A., Mankelevich Yu.A.,Suetin N.V.

Unraveling aspects of the gas phase chemistry involved in diamond chemical vapourdeposition // Phys. Chem. Chem. Phys. 2001. v.3. p.3471-3485.A16. Mankelevich Yu.A., Suetin N.V., Ashfold M.N.R., Smith J.A., Cameron E. Experimental dataversus 3-D model calculations of HFCVD processes: correlations and discrepancies // Diamond andRelated Materials. 2001. v.10.

p.364-369.A17. Smith J.A., Cameron E., Ashfold M.N.R., Mankelevich Yu.A., Suetin N.V. On the mechanism ofCH3 radical formation in hot filament activated CH4/H2 and C2H2/H2 gas mixtures // Diamond andRelated Materials. 2001. v.10. p.358-363.A18. Mankelevich Yu.A., Suetin N.V., Smith J.A., Ashfold M.N.R.

Investigations of the gas phasechemistry in a hot filament CVD reactor operating with CH4/N2/H2 and CH4/NH3/H2 gas mixtures //Diamond and Related Materials. 2002. v.11. p.567-572.A19. Smith J.A., Wills J.B., Moores H.S., Orr-Ewing A.J., Ashfold M.N.R., Mankelevich Yu.A.,Suetin N.V. Effects of NH3 and N2 additions to hot filament activated CH4/H2 gas mixtures // J. Appl.Phys. 2002. v.92.

p.672-681.A20. Filippov A.V., Mankelevich Yu.A., Pal A.F., Rakhimov A.T., Serov A.O., Suetin N.V..Spectroscopy, actinometry and simulation of a DC discharge in CO/H2 gas mixtures // Proc. of SPIE,Select. Res. Papers on Spectroscopy of Nonequilibrium Plasma at Elevated Pressures, Ed. V.N.Ochkin. 2002. v.4460. p.285-295.A21.

Wills J.B., Ashfold M.N.R., Orr-Ewing A.J., Mankelevich Yu.A., Suetin N.V. Number densitiesand temperatures of acetylene in hot filament and arc-jet activated CH4/H2 gas mixtures measuredusing diode laser cavity ring-down spectroscopy // Diamond and Related Materials. 2003. v.12.p.1346-1356.A22. Mankelevich Yu.A., Suetin N.V., Ashfold M.N.R., Boxford W.E., Orr-Ewing A.J., Smith J.A.,Wills J.B.. Chemical kinetics in carbon depositing dc-arc jet CVD reactors // Diamond and RelatedMaterials. 2003.

v.12. p.383-390.A23. Rennick C.J., Smith A.G., Smith J.A., Wills J.B., Orr-Ewing A.J., Ashfold M.N.R., MankelevichYu.A., Suetin N.V. Improved characterisation of C2 and CH radical number density distributions in aDC arc jet used for diamond chemical vapour deposition // Diamond and Related Materials. 2004.v.13. p.561-568.A24. Rennick C.J., Engeln R., Smith J.A., Orr-Ewing A.J., Ashfold M.N.R., Mankelevich Yu.A.Measurement and modeling of a diamond deposition reactor: Hydrogen atom and electron numberdensities in an Ar/H2 arc jet discharge // J.

Appl. Phys. 2005. v.97. p. 113306-113320.A25. Rennick C.J., Ma J., Ashfold M.N.R., Orr-Ewing A.J., Mankelevich Yu.A. Spatial profiling ofH(n=2) atom number densities in a DC arc jet reactor // Plasma Sources Sci. Technology. 2006. v.15.p.432-440.A26. Comerford D.W., Cheesman A., Carpenter T.P.F., Davies D.M.E., Fox N.A., Sage R.S., SmithJ.A., Ashfold M.N.R., Mankelevich Yu.A. Experimental and Modeling Studies of B Atom NumberDensity Distributions in Hot Filament Activated B2H6/H2 and B2H6/CH4/H2 Gas Mixtures // J. Phys.Chem.

A. 2006. v.110. p.2868-2875.A27. May P.W., Smith J.A., Mankelevich Yu.A. Deposition of NCD films using hot filament CVDand Ar/CH4/H2 gas mixtures // Diamond and Related Mater. 2006. v.15. p.345-352.A28. May P.W., Mankelevich Yu.A. Experiment and modeling of the deposition ofultrananocrystalline diamond films using hot filament chemical vapor deposition and Ar/CH4/H2 gasmixtures: a generalized mechanism for ultrananocrystalline diamond growth // J. Appl. Phys. 2006.v.100. 024301.314A29.

May P.W., Mankelevich Y.A., Harvey J.N., Smith J.A. Re-evaluation of the mechanism forUNCD deposition from Ar/CH4/H2 gas mixtures // J. Appl. Phys. 2006. v.99. 104907.A30. Mankelevich Yu.A., Ashfold M.N.R., Orr-Ewing A.J. Measurement and modelling of Ar/H2/CH4arc jet discharge CVD reactors II: modelling of the spatial dependence of expanded plasma parametersand species number densities // J. Appl. Phys.

2007. v.102. 063310.A31. Rennick C.J., Ma J., Henney J.J., Wills J.B., Ashfold M.N.R., Orr-Ewing A.J., MankelevichYu.A. Measurement and modelling of Ar/H2/CH4 arc jet discharge CVD reactors I: inter-comparisonof derived spatial variations of H atom, C2 and CH radical densities // J. Appl.

Phys. 2007. v.102.063309.A32. May P.W., Ashfold M.N.R., Mankelevich Yu.A. Microcrystalline, nanocrystalline, andultrananocrystalline diamond chemical vapor deposition: Experiment and modelling of the factorscontrolling growth rate, nucleation, and crystal size // J.

Appl. Phys. 2007. v.101. 053115.A33. Comerford D.W., D'Haenens-Johansson U.F.S., Smith J.A., Ashfold M.N.R., Mankelevich Yu.A.Filament seasoning and its effect on the chemistry prevailing in hot filament activated gas mixturesused in diamond chemical vapour deposition // Thin Solid Films, 2008. v.516.

p.521–525.A34. May P.W, Mankelevich Yu.A. From Ultrananocrystalline Diamond to Single Crystal DiamondGrowth in Hot Filament and Microwave Plasma-Enhanced CVD Reactors: a Unified Model forGrowth Rates and Grain Sizes // J. Phys. Chem. C, 2008. v.112. p.12432–12441.A35. Mankelevich Yu.A., May P.W. New insights into the mechanism of CVD diamond growth.Single crystal diamond in MW PECVD reactors // Diamond and Related Materials.

2008. v.17.p.1021–1028.A36. Mankelevich Yu.A., Ashfold M.N.R., Ma J., Plasma-chemical processes in microwave plasmaenhanced chemical vapor deposition reactors operating with C/H/Ar gas mixtures // J. Appl. Phys.2008. v.104. 113304.A37. Ma J., Richley J.C., Ashfold M.N.R, Mankelevich Yu.A.

Probing the plasma chemistry in amicrowave reactor used for diamond chemical vapor deposition by cavity ring down spectroscopy // J.Appl. Phys., 2008. v.104. 103305.A38. Ma J., Ashfold M.N.R., Mankelevich Yu.A. Validating optical emission spectroscopy as adiagnostic of microwave activated CH4/Ar/H2 plasmas used for diamond chemical vapor deposition //J. Appl. Phys. 2009. v.105. 043302.A39. Ma J., Cheesman A., Ashfold M.N.R., Hay K.G., Wright S., Langford N., Duxbury G.,Mankelevich Yu.A. Quantum cascade laser investigations of CH4 and C2H2 interconversion inhydrocarbon/H2 gas mixtures during microwave plasma enhanced chemical vapor deposition ofdiamond // J.

Appl. Phys. 2009. v.106. 033305.A40. Butler J.E., Mankelevich Yu.A., Cheesman A., Ma J., Ashfold M.N.R. Understanding thechemical vapor deposition of diamond: recent progress // J. Phys.: Condens. Matter. 2009. v.21.364201.A41. Comerford D.W., Smith J.A., Ashfold M.N.R., Mankelevich Yu.A. On the mechanism of H atomproduction in hot filament activated H2 and CH4/H2 gas mixtures // J. Chem.

Phys. 2009. v.131.044326.A42. Fox O.J.L., Ma J., May P.W., Ashfold M.N.R., Mankelevich Yu.A. The role of inert gas in MWenhanced plasmas for the deposition of nanocrystalline diamond thin films // Diamond Relat. Mater.2009. v.18. p.750-758.A43. May P.W., Allan N.L., Ashfold M.N.R., Richley J.C., Mankelevich Yu.A. Simplified MonteCarlo simulations of chemical vapour deposition diamond growth // J. Phys.: Condens. Matter.

2009.v.21. 364203.A44. May P.W., Harvey J.N., Allan N.L., Richley J.C., Mankelevich Yu.A. Simulations of CVDDiamond Film Growth Using a Kinetic Monte Carlo Model and 2D Models of Microwave plasma andHot Filament CVD reactors // J. Appl. Phys. 2010. v.108. 114909.A45. Ma J., Richley J.C., Davies D.R., Cheesman A., Ashfold M.N.R., Mankelevich Yu.A.Spectroscopic and Modeling Investigations of the Gas-Phase Chemistry and Composition in MWPlasma Activated B2H6/Ar/H2 Mixtures // J. Phys. Chem. A.

2010. v.114. p.2447–2463.315A46. Ma J., Richley J.C., Davies D.R.W., Ashfold M.N.R., Mankelevich Yu.A. Spectroscopic andModeling Investigations of the Gas Phase Chemistry and Composition in Microwave Plasma ActivatedB2H6/CH4/Ar/H2 Mixtures // J. Phys. Chem. A, 2010. v.114. 10076–10089.A47. May P.W., Allan N.L., Ashfold M.N.R., J.C. Richley, Mankelevich Yu.A. Simulations ofpolycrystalline CVD diamond film growth using a simplified Monte Carlo model // Diamond andRelated Materials. 2010. v.19. p.389–396.A48. May P.W., Harvey J.N., Allan N.L., J.

C. Richley, Mankelevich Yu.A. Simulations of chemicalvapor deposition diamond film growth using a kinetic Monte Carlo model // J. Appl. Phys. 2010.v.108. 014905.A49. Richley J.C., Fox O.J.L., Ashfold M.N.R., Mankelevich Yu.A. Combined experimental andmodeling studies of mw activated CH4/H2/Ar plasmas for microcrystalline, nanocrystalline, andultrananocrystalline diamond deposition // J. Appl. Phys.

2011. v.109. 063307.A50. Umemoto H., Funae T., Mankelevich Yu.A. Activation and Decomposition of N2 on HeatedTungsten Filament Surfaces // J. Phys. Chem. C. 2011. v.115. p.6748–6756A51. Mankelevich Yu.A., Ashfold M.N.R., D.W. Comerford, J.Ma, Richley J.C. Boron doping:B/H/C/O gas phase chemistry; H atom density dependences on pressure and wire temperature; puzzlesregarding the gas-surface mechanism // Thin Solid Films.

Свежие статьи
Популярно сейчас
А знаете ли Вы, что из года в год задания практически не меняются? Математика, преподаваемая в учебных заведениях, никак не менялась минимум 30 лет. Найдите нужный учебный материал на СтудИзбе!
Ответы на популярные вопросы
Да! Наши авторы собирают и выкладывают те работы, которые сдаются в Вашем учебном заведении ежегодно и уже проверены преподавателями.
Да! У нас любой человек может выложить любую учебную работу и зарабатывать на её продажах! Но каждый учебный материал публикуется только после тщательной проверки администрацией.
Вернём деньги! А если быть более точными, то автору даётся немного времени на исправление, а если не исправит или выйдет время, то вернём деньги в полном объёме!
Да! На равне с готовыми студенческими работами у нас продаются услуги. Цены на услуги видны сразу, то есть Вам нужно только указать параметры и сразу можно оплачивать.
Отзывы студентов
Ставлю 10/10
Все нравится, очень удобный сайт, помогает в учебе. Кроме этого, можно заработать самому, выставляя готовые учебные материалы на продажу здесь. Рейтинги и отзывы на преподавателей очень помогают сориентироваться в начале нового семестра. Спасибо за такую функцию. Ставлю максимальную оценку.
Лучшая платформа для успешной сдачи сессии
Познакомился со СтудИзбой благодаря своему другу, очень нравится интерфейс, количество доступных файлов, цена, в общем, все прекрасно. Даже сам продаю какие-то свои работы.
Студизба ван лав ❤
Очень офигенный сайт для студентов. Много полезных учебных материалов. Пользуюсь студизбой с октября 2021 года. Серьёзных нареканий нет. Хотелось бы, что бы ввели подписочную модель и сделали материалы дешевле 300 рублей в рамках подписки бесплатными.
Отличный сайт
Лично меня всё устраивает - и покупка, и продажа; и цены, и возможность предпросмотра куска файла, и обилие бесплатных файлов (в подборках по авторам, читай, ВУЗам и факультетам). Есть определённые баги, но всё решаемо, да и администраторы реагируют в течение суток.
Маленький отзыв о большом помощнике!
Студизба спасает в те моменты, когда сроки горят, а работ накопилось достаточно. Довольно удобный сайт с простой навигацией и огромным количеством материалов.
Студ. Изба как крупнейший сборник работ для студентов
Тут дофига бывает всего полезного. Печально, что бывают предметы по которым даже одного бесплатного решения нет, но это скорее вопрос к студентам. В остальном всё здорово.
Спасательный островок
Если уже не успеваешь разобраться или застрял на каком-то задание поможет тебе быстро и недорого решить твою проблему.
Всё и так отлично
Всё очень удобно. Особенно круто, что есть система бонусов и можно выводить остатки денег. Очень много качественных бесплатных файлов.
Отзыв о системе "Студизба"
Отличная платформа для распространения работ, востребованных студентами. Хорошо налаженная и качественная работа сайта, огромная база заданий и аудитория.
Отличный помощник
Отличный сайт с кучей полезных файлов, позволяющий найти много методичек / учебников / отзывов о вузах и преподователях.
Отлично помогает студентам в любой момент для решения трудных и незамедлительных задач
Хотелось бы больше конкретной информации о преподавателях. А так в принципе хороший сайт, всегда им пользуюсь и ни разу не было желания прекратить. Хороший сайт для помощи студентам, удобный и приятный интерфейс. Из недостатков можно выделить только отсутствия небольшого количества файлов.
Спасибо за шикарный сайт
Великолепный сайт на котором студент за не большие деньги может найти помощь с дз, проектами курсовыми, лабораторными, а также узнать отзывы на преподавателей и бесплатно скачать пособия.
Популярные преподаватели
Добавляйте материалы
и зарабатывайте!
Продажи идут автоматически
5288
Авторов
на СтудИзбе
417
Средний доход
с одного платного файла
Обучение Подробнее