Особенности энерговклада в пространственно ограниченные ВЧ индуктивные источники плазмы низкого давления, страница 10
Описание файла
PDF-файл из архива "Особенности энерговклада в пространственно ограниченные ВЧ индуктивные источники плазмы низкого давления", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "физико-математические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве МГУ им. Ломоносова. Не смотря на прямую связь этого архива с МГУ им. Ломоносова, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой докторскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени доктора физико-математических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст 10 страницы из PDF
Бугров, К.В. Вавилин И.К. Керимова, С.Г. Кондранин,37.Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. Comparative Analysis of DifferentSurface Modifications Methods. IV International Conference Plasma Physics and PlasmaTechnology Minsk, Belarus, September 15-19, 2003. Contributed papers 4.24.38.А.Ф. Александров, Г.Э.
Бугров, К.В. Вавилин И.К. Керимова, С.Г. Кондранин,Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. The efficiency of RF power lead inlow pressure discharge. Russian conference of Physical Electronics Mahachkala, Russia,September 23-26, 2003. Contributed papers, 95-98.G.E. Bugrov, S.G. Kondranin, E.A.Kralkina, V.B. Pavlov, D.V. Savinov, K.V.Vavilin,39.Heon-Ju Lee. Optimisation of cold cathode ion source model. Current Applied Physics, 3(2003),485-489.A.F. Aleksandrov, G.E. Bugrov, I.F.
Kerimova, S.G. Kondranin, V.B. Pavlov,40.V.Yu. Plaksin, A.A.Rukhadze, K.V.Vavilin. Self-consistent model of RF inductive plasma/ionsource located in the external magnetic field. Journal of Russian Laser Research, 2003, v.24, No4, pp. 301-321.41. А.Ф.Александров, Г.Э.Бугров, К.В.Вавилин И.К.Керимова, С.Г.Кондранин, Е.А.Кралькина, В.Б.Павлов, В.Ю.Плаксин, А.А.Рухадзе. Самосогласованная модель ВЧиндуктивного источника плазмы, помещенного во внешнее магнитное поле.
Физикаплазмы, 2004, том 30, №5, стр 434-449.42. Г.Э. Бугров, С.Г. Кондранин,Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов. Плазменный источник ионовс ленточным пучком (варианты). Патент РФ 2151438.43. А.Ф.Александров, Г.Э.Бугров, К.В. Вавилин, С.Г. Кондранин, Е.А. Кралькина,В.Ю.Плаксин, В.Ю. Сергиенко, И.Б. Тимофеев, Б.И. Тимофеев.
Способ плазменной обработкиматериалов, способ генерации плазмы и устройство для плазменной обработкиматериалов. Патент РФ 2196394.44. К.В.Ваваилин, Е.А.Кралькина, А.А.Рухадзе. К обоснованию несамосогласованнойтеории радиочастотного источника плазмы. Краткие сообщения по физике, N8, с.
44,(2004).Александров А.Ф., Бугров Г.Э., Вавилин К.В., Кралькина Е.А., Павлов В.Б., Плаксин45.В.Ю., Рухадзе А.А. Физические принципы разработки ВЧ-индуктивных источниковплазмы низкого давления. Наукоемкие технологии, No 1, 2005, т.6, стр. 5.А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин, И.Ф. Керимова, Е.А. Кралькина,46.В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. Исследование индуктивного ВЧ разряда, каксамосогласованной системы. I.
Особенности, наблюдавшиеся при экспериментальномисследовании индуктивного ВЧ разряда, помещенного во внешнее магнитное поле.Прикладная физика, 2005, №4, стр. 70 – 74.А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин, И.Ф. Керимова, Е.А. Кралькина, В.Б.47.Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. Исследование индуктивного ВЧ разряда, каксамосогласованной системы.
II. Исследование параметров плазмы и эффективностипоглощения ВЧ мощности плазмой индуктивного ВЧ разряда низкого давления.Прикладная физика, 2005, № 5, стр. 72 – 78.48.A.F.Alexandrov, E.A.Kralkina, V.B.Pavlov, A.A.Rukhadze, A.I.Bugrova, G.E.Bugrov,K.V.Vavilin. On the possibilities of RF ion thrusters optimization. Proceedings of XXIX IEPC,Princeton 2005, p.1-17.А.Ф.Александров, Г.Э.Бугров, К.В.Вавилин, И.Ф.Керимова, Е.А. Кралькина,49.В.Б.Павлов, В.Ю.Плаксин, А.А.Рухадзе, В.П.Савинов.
Исследование индуктивного ВЧразряда, как самосогласованной системы. III. Исследование влияния емкостнойсоставляющей на параметры плазмы индуктивного ВЧ разряда низкого давления.Прикладная физика, 2006, № 1 стр. 36 – 42.А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин, И.Ф. Керимова, Е.А. Кралькина,50.В.Б.
Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. Исследование индуктивного ВЧ разряда, каксамосогласованной системы. IV. Результаты исследования эквивалентного сопротивленияиндуктивного ВЧ разряда низкого давления без магнитного поля. Прикладная физика,2006, № 2 стр. 41 – 46.А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин, И.Ф. Керимова, Е.А. Кралькина,51.В.Б.
Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. Исследование индуктивного ВЧ разряда, каксамосогласованной системы. V. Результаты исследования эквивалентного сопротивленияиндуктивного ВЧ разряда низкого давления при наличии внешнего магнитного поля.Прикладная физика, 2006, № 4 стр. 54 – 59.А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В.
Вавилин, И.Ф. Керимова, Е.А. Кралькина,52.В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. Исследование индуктивного ВЧ разряда, каксамосогласованной системы. VI. Математическое моделирование индуктивного ВЧразряда (самосгласованная модель). Прикладная физика, 2006, № 5 стр. 33 – 38.А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин, И.Ф. Керимова, Е.А. Кралькина,53.В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе, В.П. Савинов. Исследование индуктивного ВЧразряда, как самосогласованной системы. VII. Математическое моделированиеиндуктивного ВЧ разряда с емкостной компонентой (самосогласованная модель).Прикладная физика, 2006, № 5 стр.
39 – 46.A.F. Aleksandrov, I.F. Kerimova, E.A. Kralkina, V.B. Pavlov, A.A. Rukhadze,54.and V.P. Savinov. Influence of the capacitive component on the parameters of the low pressureRF inductive discarge. V International Conference Plasma Physics and Plasma Technology.Minsk, Belarus, September 18-22, 2006. Contributed papers v.1 pp.7 – 10A.F. Aleksandrov, I.F. Kerimova, E.A. Kralkina, V.B. Pavlov, A.A. Rukhadze,55.and V.P. Savinov.
Study of the histeresis of the RF inductive discharge plasma densitydependence on the RF generator power. V International Conference Plasma Physics and PlasmaTechnology. Minsk, Belarus, September 18-22, 2006. Contributed papers v.1 pp.70 – 73.A.F. Alexandrov, E.A. Kralkina, V.B.
Pavlov, V.P. Savinov, V.Yu. Sergeenko,56.I.B. Timofeev, G.E. Bugrov, K.V. Vavilin, V.Yu. Plaksin, Young Son Mok and Heon-Ju Lee. Thefrequency effect on atmospheric pressure RF discharge surface modification. Journal of CeramicProcessing Research. Vol. 8, No. 1, pp. 64~69 (2007).А.Ф. Александров, К.В. Вавилин, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, А.А. Рухадзе.57.Особенности индуктивного ВЧ разряда низкого давления. I (эксперимент). Физикаплазмы, 2007, том 33, №9, стр 802–815.А.Ф. Александров, К.В.
Вавилин, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, А.А. Рухадзе.58.Особенности индуктивного ВЧ разряда низкого давления. II (математическоемоделирование). Физика плазмы, 2007, том 37, №9, стр 816 – 827.A.F. Alexandrov, K.V. Vavilin, I.F. Kerimova, E.A. Kralkina, V.B. Pavlov,59.A.A. Rukhadze, V.P. Savinov. The role of the capacitive component in the low pressure RFinductive discharge. XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases July 15 20 2007, Prague, Czech Republic, 5P09-10.A.F. Alexandrov, K.V.
Vavilin, I.F. Kerimova, E.A. Kralkina, V.B. Pavlov,60.A.A. Rukhadze, V.P. Savinov. One more mechanism leading to the hysteresis of the RF inductivedischarge transition from low to high density mode. XXVIII International Conference onPhenomena in Ionized Gases July 15 - 20 2007, Prague, Czech Republic, 5P09-11.А.Ф.Александров, К.В.Вавилин, И.Ф.Керимова, Е.А.Кралькина, В.Б.Павлов,61.Н.Н.Плахотный, А.А.Рухадзе, В.П.Савинов.
Влияние сопротивления антенны на переходиндуктивного ВЧ разряда из моды с низкой концентрацией электронов в моду с высокойконцентрацией. Тезисы докладов ХХХY Международной (Звенигородской) конференциипо физике плазмы и УТС, с.331, 2008.А.Ф.Александров, К.В.Вавилин, ,Е.А.Кралькина, И.С.Максимов, В.Б.Павлов,62.А.А.Рухадзе, В.П.Савинов. Изучение гибридного ВЧ разряда. Тезисы докладов ХХХYМеждународной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС, с.333, 2008. 62.А.Ф.Александров, К.В.Вавилин, Е.А.Кралькина, В.Б.Павлов, В.П.Савинов П.А.Юрьев.Изучение параметров «полого катода», работающего на высокочастотном газовом разряде.Тезисы докладов ХХХY Международной (Звенигородской) конференции по физикеплазмы и УТС, с.332, 2008.63.Е.А.Кралькина.
Индуктивный высокочастотный разряд низкого давления ивозможности оптимизации источников плазмы на его основе. УФН, том 178, №5, 519-540,(2008)..
