2-348-1399895553-29.-ot_chego_zavisit_velichina_dozy_privnese nnoy (От чего зависит величина дозы привнесенной дефектности поверхности полупроводниковой пластины,)
Описание файла
PDF-файл из архива "От чего зависит величина дозы привнесенной дефектности поверхности полупроводниковой пластины,", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "специальные предметы" из , которые можно найти в файловом архиве . Не смотря на прямую связь этого архива с , его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "специальные предметы" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
29. От чего зависит величина дозы привнесенной дефектности поверхностиполупроводниковой пластины, находящейся в чистом производственном помещении?Таким образом, дозу привнесенной дефектности можно рассчитать по следующейформулеDj= 7 , 8 2 9 • 1 0 −4 • 1 0 m γос. jVламd− 2 ,1 7jt,где dj, мкм; Vлам, м/с; Dj, шт/см2.эмпирический коэффициент γос.j, зависящий от диаметра микрочастиц и равныйотношениюγос.
j= VjV ламVлам – скорость ламинарного потока воздухаdj - размер осаждающихся на подложку микрочастицt – время нахождения изделия в ЧППm – класс чистоты помещения.