2-328-1399893629-9.-klassifikacmya-i-suschnost-travleniya (Классификация и сущность методов вакуумно-плазменного травления)
Описание файла
PDF-файл из архива "Классификация и сущность методов вакуумно-плазменного травления", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "специальные предметы" из , которые можно найти в файловом архиве . Не смотря на прямую связь этого архива с , его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "специальные предметы" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
9. Классификация и сущность методов вакуумно-плазменного травлениямикроструктур.Ионно-плазменное травление (ИПТ)Ионное травление —удалениевещества с поверхности твёрдого телаАтомно-лучевое травление (АЛТ)поддействиемионнойбомбардировки (инертным газом).Реактивное ионно-плазменное+Процессионного травления зависиттравление (РИПТ)от интенсивности пучка,вида,Ионнохимическое Реактивное ионно-лучевоеэнергии и угла падения ионов, атравлениетравление (РИЛТ)также от материала и состояния(ИХТ)Реактивное атомно-лучевоемишени.В процессе ионноготравление (РАЛТ)травления вследствие распыления,дефектообразования,имплантацииГазовое травление (ГТ)ионов и атомов отдачи меняютсяХимическоетравлениеРадикальное травление (РТ)элементный состав и структура(ХТ)2поверхности:1происходитПлазмо-химическоетравление (ПХТ)обогащение поверхности отдельнымэлементом, кристаллизация или аморфизация поверхностного слоя.Ионноетравление(ИТ)Ионно-лучевое травление (ИЛТ)Химическое травление – процесс взаимодействия химических реагентов споверхностью обрабатываемого материала.Ионно-химическое травление — совместное воздействие распыления ихимической реакции.
ИХТ осуществляют в тех же установках, что и ионноетравление, только в качестве рабочего используют не инертный, а химическиактивный газ.Наименьшей селективностью травления и наименьшей погрешностьюразмеров обработки обладает ионное травление ("ИТ"); наибольшуюскорость травления и наименьший нарушенный слой обрабатываемойповерхности можно получить при химическом травлении ("ХТ"); наилучшимсочетанием точности обработки и производительности оборудованияобладает ионно-химическое травление ("ИХТ")..
