Отзыв на автореферат 6 (Разработка и исследование пьезопреобразователей для устройств прецизионного перемещения в оборудовании и приборах электронной техники)

ОООНаучно исследовательский институтпРвдъ:льнь1х твхнологийОГРНИНН507774635376877О17І18І6Московская область, г. Ивантеевка,ул. ленина, д.44, УНТЦ <<МАМИ››учебный корпусТел. 8 (905) 540-28-79ЁЁ1141014 а./я.173Отзывна автореферат диссертацииМатвеева Егора Владимировича«Разработка и исследование пьезопреобразователей для устройств прецизионногоперемещения в оборудовании и приборах электронной техники»представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук поспециальности 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников,материалов и приборов электронной техникиВ автореферате диссертации Матвеева Е.В.

приведены основные результатыразработкииисследованиямногослойныхизгибныхпьезопреобразователей,используемых для устройств прецизионного перемещения в оборудовании и приборахэлектронной техники. В работе представлены новые практические методики расчета рядаконструкций электронной техники. Методики были проверены различными методами - отаналитических до натурнь1х экспериментов и доказали свою эффективность для расчетапредставленных пьезоприводов.В введении автореферата отмечена актуальность работы, а также существующееположение в области разработки и исследований малогабаритных пьезоэлектрическихприводов.

Обозначен объект и предмет исследований, цель работы, задачи и методы,научная новизна, практическая значимость, внедрение, положения на защиту и другиенеобходимые пункты. Висследованияиописании глав диссертации кратко приведены методыосновныеполученныерезультаты,которые,какотмеченовпредставленном ниже списке публикаций, получили апробацию на ряде отечественных имеждународных конференций.Представленнаядиссертациясодержитпрактическиеполезныерезультаты,подтверждаемые, как показано в работе, несколькими независимыми друг от другаметодами-аналитическим,численнымконечно-элементныминатурно-экспериментальным, имеющими высокую согласованность между собой.По результатам работы опубликовано два авторских свидетельства.Тем не менее, необходимо отметить несколько замечаний и вопросов по работе:1.

Недостаточно полно представлены аналитические выводы методик расчетанапряжений и деформаций для дисковых и трубчатых многослойных пьезоприводов.2. В проведенных экспериментальные исследованиях не представлены способыобеспечения точности измерений.3. При расчете перемещений трубчатых пьезосканеров зондовых микроскопов неучитываются гистерезисные явления, известные как крип или ползучесть.4.

Не проведён многофакторный эксперимент с целью выявления оптимальныхпараметровпоказателейчувствительности,амплитудымикроперемещенийитемпературы работы пьезогироскопов, пьезосканеров, микронасосов и пьезокорректоровлазерных гироскопов.Несмотря высказанные выше замечания, незначительно снижающие ценностьданной работы, диссертация Матвеева Е.В. представляет собой законченную работу,соответствующую всем требованиям ВАК.Полученные автором результаты, в частности, методика расчета дисковыхпьезоприводов для лазерной гироскопии, уже применены на одном из ведущихотечественных государственных предприятий в производстве оптических резонаторов.Такимобразом,диссертационнаяработа«Разработкаиисследованиепьезопреобразователей для устройств прецизионного перемещения в оборудовании иприборах электронной техники» удовлетворяет требованиям Высшей аттестационнойкомиссии (ВАК) РФ и основным пунктам «Положения о присуждении ученых степеней»,а соискатель Матвеев Е.В.

заслуживает присуждения ему ученой степени кандидататехнических наук по специальности 05.27 .06 - Технология и оборудование дляпроизводства полупроводников, материалов и приборов электронной техники.,-.,.:_~^=ь›:.,.'«;±««=*__-':*^їё';'-~'.«,~'': «Діїт; Ь._7:1-'__\.›.--*,-›"___,_\,_,, "\.,п-›'.' ,›,-'_›,.'.-.19Ё- тч ,--Ґ.:,_~.н_ ,ІІ, .\_ <__-1_\,ь':!Ё' ы;-;-1 -~"5«;-_. _«'\'._.- .''),_, ~ _-. - :-'Ведущиич экспертКандидат технических наукҐ,,1"-:_\1-~ д; ,З-,ъ_`,;>'~ -_- _/`›-›<~111.,/д \_ \ї .±_Ь 4.\1-.,.?<ї:"'_'1Ё д ..<:-~.И=і'й›-*Іїё»-“г:*і:?=а.гГ“т.~›, _';'..`.:'`3 -'г--'-им\м'5:_~ «^1~:.›^_д'--_.:,ди-ІІ",',_ .«;,ї,= ї' “:да,, ,` (33-,:×;:.',:,*Ъ~ «т-`^Ґ' ть*11.”3; ам1; =1^-д.

:'д *+17.\\1гї"° \_._ ,_.,`: Х \'Ц_{›_~,`-'.-, . *-Ё»г__'\.,,.;'_;~ Ь «-1-,' _`__`~_~__-г-__г›,›- ЦТ}':"г," , `~`~'Ґ *›'›~дв-т1 .'\\:)"'\" ",ЦГ/,:_"~. "&\д`;; _.'3,~,_.<,.-..ц' .~ *_-1“_"' __'!,..4"~ц,_"`:_-_.___ .;-70:75›__;-'_.г-3 Р \;_`_23{Ь 5-~_';~;І'\.'Ф/1' Ґ“~н_-'_4'_-9.,,.~"'д"45.^ч,і'.2_'_:<*,.__,,_;0.и_”?_/,,,2_*.:':×,\:,1'-2, ^»:›.`Ё'<.* -гьСавкин Алексеи~› Владимирович;,,"*<~"`*~ҐЪг`~ , ,є_ 31,4-г'"\ Ё*0*-\ '1.'-д-_`_______...-:"Ё \“Т'.1»-1 .-рт « І 'Ё-,- _.;,,.'Ра_2,-"Телефон: +7 926 236 98 33.

Е-таі1: \/асиишхж/а@уа.ги.