Отзыв на автореферат 4 (Разработка и исследование пьезопреобразователей для устройств прецизионного перемещения в оборудовании и приборах электронной техники)

отзыв на автореферат кандидкгской диссертации Матвеева Егора Владимировича «Разработка и исследование пьезопреобразователей для устройств прецизионного перемещения в оборудовании и приборах электронной техники», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 «Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники» Задача обеспечения управления микроперемещениями различными объектами в настоящес время является крайне актуальной в связи с требованиями повышения точности как оборудования для изготовления приборов, так и самих приборов. В различных областях техники эту задачу связывают с развитием МЭМС, микроробототехники, прецизионного оборудования.

повьш~ении чувствительности прецизионных приборов за счет компенсации температурных флуктуаций конструкгивных элементов. В этой связи актуальность выбранной Е.В.Матвеевым темы диссертационной работы не вызывает сомнений. поскольку в последние годы большой научный и практический интерес вызывают актюаторы с повышенной точностью позиционирования, что реализуемо исключительно с применением пьезоэлектриков. Научная новизна работы заключается в следуюгцем. Автором предложен ряд методик расчета деформаций пьезоэлектрических актюаторов (изгибных многослойных пьезоприводов трубчатого, прямоугольного и дискового видов) и прецизионных приборов с их применением, позволяющих с высокой производительностью оценивать пьезо- и ~срмодеформации конструкций актюаторов (пьезоприводов) простых форм.

что выгодно отличает предложенные методики от известных численных методов конечных элементов, требующих больших временных и финансовых затраг на моделирование. Достоверность результатов исследований обусловлена сравнением полученных результатов с имеющимися данными, численными и экспериментальными исследованиями для ряда устройств и расчетами в программах, непосредственно учитывающих обратный пьезоэффект. Диссертационная работа имеет практическое значение, в особенности в связи с задачами по созданию конструкций с применением пьезоактюаторов, что подтверждается результатами, полученными в НИР на предприятии ФГБНУ«НИИ ПМТ» и при производстве опгических резонаторов на предприятии ФГУП «НИИ Полюс» им.

М.Ф. Сгельмаха. Автореферат содержит ссылки на 11 публикаций с участием автора. из ннх однасвидетсльство о государственной регистрации программы для ЭВМ. одна - патент РФ на полезную модель. 5 публикаций в изданиях из перечня ВАК. и в целом отражают содержание работы. К сожалению, в представленном автореферате диссертационной работы имеются некоторые недостатки: 1. В тексте автореферата представлено лишь упоминание о результатах разработки и исследовании перистальтическнх микропьезонасосов, а конкретные данные не приведены, что явно снижает значимость материала.

2. Недостаточно полно отмечено количественное различие результатов расчета конкретных конструкций различными методами (аналитическим, численным и экспериментальным). 3. В тексте автореферата отсутствует четкое изложение достигнутого технического уровня разработки пьезопреобразователей, 4. В автореферате имеется раздел «Патенты и авторские свидетельства». хотя авторские свидетельства у автора отсутствуют„поскольку упразднены. Несмотря па сделанные замечаниям, диссертация «Разработка и исследование пьезопреобразовагелей для устройств прецизионного перемещения в оборудовании и приборах электронной техники» удовлетворяет требованиям ВАК, предъявляемым к кандидатским диссертациямр является законченным исследованием, выполненным самостоятельно, а соискатель Матвеев Е.В.

заслуживает присуждения ему ученой степени канлидата технических наук по специальности 05.27.06 «!'ехнология и оборудование для производспш полупроводников, мшериалов и приборов электронной техники». ет)», д.т.н. Л,А.Жуков 10 марта 2017 года Заведующий кафедрой ТППИСУ2!А Федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования «Московский авиационный институт (национальный исслеловательск!!й и ерси Андрей Александрович Жуков Контактные данные Волоколамское шоссе, д. 4, г Москва, А-ЗО, Г -3, 125993 Э "9988: 408440~а. 0 1' ф»:. 7 499 158 92 09,8902!085281 0488881»8484„, ! 1одпись дг;и., зав.

кафедрой РПП'!ИСУЛА Ж;оР ' "АА.'зцв~д: И.о. начальника отдела УДС ~~Г ' ' .: ' -"::.'::-,',,'-,'ЬЛ.Аникина ".".,:: .- "." ~"„",1~'-"',"-8)Х!:. - '-: =-:-; 2017 К '.:„. - *0.5"."","00 -:'2."ф .