Отзыв на автореферат 1 (Разработка и исследование пьезопреобразователей для устройств прецизионного перемещения в оборудовании и приборах электронной техники)

отзыв на автореферат диссертации Матвеева Егора Владимировича «Разработка и исследование пьезопреобразователей для устройств прецизионного перемещения в оборудовании и приборах электронной техники», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники Использование пьезоэлектрического эффекта для преобразования механической энергии в электрическую и наоборот получило широкое распространение в науке и технике. Приборы и устройства на основе пьезоэлектрических преобразователей используются в средствах связи, медицине, автомобильной, авиационной, ракетной технике, энергетике, в бытовых приборах и технологическом оборудовании.

На прямом пьезоэффекте базируется работа датчиков, используемых в навигации, системах контроля, диагностики и автоматического управления техническими объектами и технологиями. На обратном пьезоэффекте основана работа исполнительных устройств для микроперемешений, используемых в микроманипуляторах, сканирующих туни ельных микроскопах, оборудовании для микролитографии и т.д. При этом пьезоэлектрическое приборостроение развивается ускоренными темпами во всех составляющих, включая материалы, конструкции, технологии изготовления, а также методики исследования и проектирования.

Таким образом, актуальность темы диссертации обусловлена соответствием тенденциям развития науки и техники и практической востребованностью миниатюрных прецизионных контрольно-измерительных и исполнительных устройств, в том числе в области технологии и оборудования для производства приборов электронной техники. Исследования посвящены многослойным пьезопреобразователям и математическим моделям, нацеленным на повышение точности и эффективности их проектирования. Исследовались статические и динамические характеристики пьезопреобразователей с варьируемыми параметрами в условиях воздействия температурных факторов. Выявлялись возможности повышения их функциональных и эксплуатационных характеристик (чувствительность, быстродействие, устойчивость к температурным воздействиям) за счет оптимизации геометрии и выбора материалов.

Разрабатывались адекватные математические модели и методы расчета, обеспечивающие полноценный инженерный анализ пьезоэлектрических элементов при минимальных вычислительных ресурсах. В диссертационной работе выполнен большой объем исследований, касающихся трубчатых пьезоприводов изгибного типа, вибрационных пьезогироскопов, перистальтических микропьезонасосов, устройств термокомпенсации оптических резонаторов.

Полученные результаты могли бы лечь в основу отдельных диссертаций. В диссертационной работе Е.В.Матвеев продемонстрировал понимание физических механизмов прямого и обратного пьезоэффекта, хорошую математическую подготовку, в частности, владение сложным тензорным аппаратом, используемым в теории упругости и кристаллофизике, знание современных численных методов, компетентность в исследуемой технической области. В качестве замечаний можно отметить следующее. 1.

Из автореферата не ясно, о каких экспериментах идет речь при обсуждении корректности разработанной методики расчета пьезопреобразователей, достоверности результатов и методов исследования, и по каким параметрам проводилось сопоставление результатов теоретического расчета и экспериментальных данных. 2. Представленные в автореферате результаты расчетов, соответствующие третьей главе диссертации, по моему мнению, существенно выиграли бы от введения безразмерных переменных и критериев подобия, позволяющих получать обобщенные зависимости. В целом на основании автореферата можно сделать вывод о том, что представленная диссертация удовлетворяет требованиям, предъявляемым ВАК к диссертациям на соискание ученой степени кандидата технических наук, а ее автор Е.В.Матвеев заслуживает присвоения искомой степени.

Руководитель департамента электронной инженерии Московского института электроники и математики им. А.Н. Тихонова НИУ ВШЭ, профессор, д.т,н., лауреат Государственной премии СССР и премии Президента РФ .