мт11-61 анизотропа (Готовые ДЗ по анизотропному травлению)
Описание файла
Файл "мт11-61 анизотропа" внутри архива находится в папке "Готовые ДЗ по анизотропному травлению". PDF-файл из архива "Готовые ДЗ по анизотропному травлению", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 6 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Московский ордена Ленина, ордена Октябрьской Революции,ордена Трудового Красного Знаменигосударственный технический университет им Н. Э. Баумана.Домашнее задание«Анизотропное травление»Выполнил:Куликова Л. А.Группа: МТ11-61ПреподавательЦветков Ю.БПервых проход1 способтаблица спогрешностямидо 10%T, CKOH, %101520253035404550556020304050607080901001,431,541,661,471,391,401,131,030,880,630,463,243,393,443,303,152,972,482,161,831,321,166,727,027,166,966,575,995,154,623,862,922,1913,2014,0314,0813,5712,8211,8510,478,967,435,984,4825,5126,4226,7725,8324,4122,3919,8117,0514,2311,178,4846,0449,0649,0546,9745,0141,0036,0230,9826,0021,0415,0682,0086,0486,0984,0678,9371,9963,9455,0746,0235,9227,05140,00146,96147,94144,09134,98123,91109,9895,0378,9062,0846,93233,05245,08246,02238,94225,09205,94183,97158,03131,00103,9377,93Строим график зависимости ln(R )=f(1/T)165y = -6929,2x + 23,992R² = 0,999941Линейная (1)3Линейная (1)Линейная (1)2Линейная (1)y = -6929,2x + 23,992R² = 0,99991000,00050,0010,00150,002Получили следующую зависимость:a= -6927,60,00250,0030,00350,004Ea a kBEa=9,59417E-20b=23,998A exp(b)A=2,46E+10 E R A exp a k BT используяполучим Rрасч.погрешностьдо 10%СлучайныечислаRIn( R)R расч.-0,021,42 0,3478361,330,003,10 1,13075672,90-0,086,43 1,86019666,03-0,0412,76 2,546315311,990,0824,48 3,197856522,87-0,1044,90 3,804437842,000,0479,04 4,370004774,550,09135,09 4,9059042 128,20-0,08224,92 5,4157403 214,14Темп.
С Темп. К1/TR (30)20293,15 0,0034112231,4430303,15 0,0032986973,140313,15 0,0031933586,550323,15 0,00309453812,860333,15 0,00300165124,470343,15 0,0029141774580353,15 0,0028316587990363,15 0,002753683135100373,15 0,002679887225Способ №2Строим график зависимости скорости травления от температуры1000,00100,001210,001,00100908070605040Возьмем две точки на графике с координатами:А(30;3)В(100;210)30203После преобразования получим(1/T1)*10^-3ln(R1)(1/T2)*10^-3ln(R2)3,3003300331,0986122892,6809651475,347107531Рассчитываем Ea и A по формуламEa (ln R2 ln R1 ) 1,38 10201/ T1 1/ T21/ T1 A exp ln R1 EakB EaA9,46602E-202,04E+10Найдем значение R(40C), зная R(60C)R(60) табл.1/T11/T2R(40C)24,48 0,003193358 0,0030017 6,5722402R(40C) табл.6,425Второй проход1 способтаблица спогрешностямидо 15%T, C2030KOH, %101,343,23151,63,47201,63,47251,593,45301,352,96351,22,79401,242,61451,072,23500,91,7550,661,37600,441,16Строим график зависимости ln(R )=f(1/T)4050607080901006,797,157,196,86,535,855,164,673,752,872,2213,2613,9713,913,7212,6511,8310,499,117,446,034,525,5326,3526,6525,8324,4322,3819,9617,1914,1411,18,5245,9349,0248,8646,9744,8741,0535,8631,0825,921,151581,9385,8986,118478,9671,8664,0554,924636,0827,02139,89146,87147,98144,04134,86124,14110,0595,0978,9461,9447,09233,15245,02246,06239224,98205,99184,02157,9130,94104,0478,131654321y = -6989,6x + 24,162R² = 0,9999000,00050,0010,00150,0020,0025Получили следующую зависимость:a= -6989,6Ea= 9,64565E-20Ea a kBb=24,162A= 3,11E+10A exp(b)0,0030,00350,004 E R A exp a k BT используяполучим Rрасч.погрешностьдо 15%Темп.
С Темп. К20293,1530303,1540313,1550323,1560333,1570343,1580353,1590363,15100373,15СлучайныечислаRIn( R)R расч.-0,091,35 0,3001051,38-0,142,96 1,0851893,020,036,53 1,8764076,31-0,15 12,65 2,53765712,580,03 24,43 3,19581224,09-0,13 44,87 3,80376944,39-0,04 78,96 4,36894179,03-0,14 134,86 4,904237136,30-0,02 224,98 5,416012228,301/TR (30)0,0034112231,440,0032986973,10,0031933586,50,00309453812,80,00300165124,40,002914177450,002831658790,0027536831350,002679887225Способ №2Строим график зависимости скорости травления от температуры1000,00100,0010,001,0010090807060504030Возьмем две точки на графике с координатами:А(30;3)В(100;205)После преобразования получим:(1/T1)*10^3ln(R1)(1/T2)*10^-3ln(R2)3,30033 1,0986122892,6809651475,323009979(ln R2 ln R1 ) 1,38 1020Ea 1/ T1 1/ T2201/ T1 A exp ln R1 EakB EaA9,41233E201,79E+10Найдем значение R(40C), зная R(60C)R(60) табл.1/T11/T2R(40C)24,43 0,003193358 0,003001651 6,60792R(40C) табл.6,53Задний проход1 Способтаблица спогрешностямидо 20%T, CKOH, %101520253035404550556020304050607080901001,6361,4481,7581,441,5461,4341,3261,1960,6580,5880,553,163,3183,3163,2443,0862,772,5222,2821,7021,2341,036,8847,1647,2286,8926,5745,8585,3444,6563,942,9122,3613,1113,82814,12813,66212,72811,62810,3088,937,5085,9484,47625,4826,56626,63225,77824,58222,30619,91817,00814,19811,328,2846,09448,84848,88846,8245,13640,9136,09431,1725,98221,0415,17682,0686,16486,15284,0987972,13264,04854,93446,06836,19427,018139,852147,196147,816144,14135,052123,822109,83895,14478,8561,92447,08233,082245,01245,954238,974224,854206,014183,954157,944130,884103,9177,922Строим график зависимости ln(R )=f(1/T)654y = -6859x + 23,79R² = 0,999832100,00250,00260,00270,00280,00290,0030,0031Получили следующую зависимость:a= -6859Ea= 9,46542E-20Ea a kBb=23,79A= 2,15E+10A exp(b)0,00320,00330,00340,0035 E R A exp a k BT используяполучим Rрасч.погрешностьдо 20%СлучайныечислаRIn( R)R расч.0,111,55 0,4356711,48-0,013,09 1,1268763,200,076,57 1,8831226,60-0,07 12,73 2,54380412,990,18 24,58 3,20201424,570,14 45,14 3,8096844,780,00 79,00 4,36944878,860,05 135,05 4,90566134,62-0,15 224,85 5,415451223,33Темп.
С Темп. К1/TR (30)20293,15 0,0034112231,4430303,15 0,0032986973,140313,15 0,0031933586,550323,15 0,00309453812,860333,15 0,00300165124,470343,15 0,0029141774580353,15 0,0028316587990363,15 0,002753683135100373,15 0,002679887225Способ №2Строим график зависимости скорости травления от температуры1000,00100,0010,001,001009080706050Возьмем две точки на графике с координатами:А(20;1,5)В(100;208)После преобразования получим(1/T1)*10^-3 ln(R1)(1/T2)*10^-3 ln(R2)3,412969283 0,405465108 2,680965147 5,33753808Рассчитаем Еа и А :403020(ln R2 ln R1 ) 1,38 1020Ea 1/ T1 1/ T21/ T1 A exp ln R1 EakB EaA9,29812E-201,46E+10Найдем значение R(40C), зная R(60C)R(60) табл.1/T11/T2R(40C)24,582 0,003193358 0,003001651 6,755372СравнениерезультатовПогрешность Ea(способ№1) Ea(способ№2) A(способ№1) A(способ№2)10%9,59417E-209,46602E-202,46E+102,04E+1015%9,64565E-209,41233E-203,11E+101,79E+1020%9,46542E-209,29812E-202,15E+101,46E+10R(40C) табл.6,574.
