Лист 3 (Технология пароструйного осаждения)
Описание файла
Файл "Лист 3" внутри архива находится в папке "Технология пароструйного осаждения". PDF-файл из архива "Технология пароструйного осаждения", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "электронные технологии (мт-11)" из 7 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "элионные технологии или тио" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Анализ способов металлизацииТермическое испарениеИонное распыление116221.Подложка2.Рабочая камера3.Испаренный материал4.Тигель34453p=10^-4-10^-8Tп=373-973 КVo=0,1-1 мкм/сЕ=0,1-0,3 эВp=10^-5-10^-2 ПаТп=293-693 КVo=10^-3-5*10^-1 мкм/сE=3-5 эВОсаждение дуговым разрядом31231.Подложка2.Рабочая камера3.Испаренный материал4.Мишень5.
Дуговой разряд54p=10^-2-10^-5Tп=293-693 КVo=0,1-50 мкм/сЕ=0.1-10 эВ1. Подложка2. Рабочая камера3. Мишень4. Источник ионов5. Ионы6. Выбитый материал26789105Испарение методом JVD1.Внешнее сопло2.Внутренне сопло3.Патрубки подачи газа14.Вольфрамовыйнагреватель45.Плазма6.Вольфрамовая спираль7.Устройство подачи нити8.Поток газа9.Атомы наносимого материала10. Плазмаp=133-1330 ПаТп=до 3227 КVo - широкий диапазонварьированияЕ - широкий диапазонварьирования.