Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. Структура и свойства твердых и сверхтвердых нанокомпозитных покрытий, страница 13

±ÑàÕÑÏÖÐÂÒÓâÉÇÐËÇ Ä ÐËØ ÆÑÔÕËÅÂÇÕ ËÆÇÂÎßÐÑÅÑ ÊÐÂÚÇÐËâ. ¬ÂÍÄËÆÐÑ Ð ÓËÔ. 19 (ÔÏ. [19]), ÐÂÒÓâÉÇÐËÇ Ä ÔÕÂÃËÎßÐÞØÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÂØ ÔÓÂÄÐËÄÂÇÕÔâ Ô ÐÂÒÓâÉÇÐËÇÏ Ä ÕÂÍËØÔÄÑÃÑÆÐÞØ ÑÕ ÕÓÇÜËÐ ÏÂÕÇÓËÂÎÂØ.£ ÃÖÆÖÜÇÏ ÐÇÑÃØÑÆËÏÑ ÒÓÑÄÇÔÕË ËÔÔÎÇÆÑÄÂÐËâ,ÐÂÒÓÂÄÎÇÐÐÞÇ Ð ÃÑÎÇÇ ÅÎÖÃÑÍÑÇ ÒÑÐËÏÂÐËÇ ÐÇÎËÐÇÌÐÑÅÑ ÖÒÓÖÅÑÅÑ ÑÕÍÎËÍÂ Ë ÏÇØÂÐËÊÏ ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÑÌ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË Ä àÕËØ ÏÂÕÇÓËÂÎÂØ. ¯ÂÒÓËÏÇÓ, Ä ÔÎÖÚÂÇÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÑÍÓÞÕËâ 50 ë 60 ¤±Â ÄÇÎËÚËРÑÃÝÈÏÐÑÅÑÏÑÆÖÎâ B Ä ÑÃÎÂÔÕË ÒÑÆ ËÐÆÇÐÕÑÓÑÏ ÖÄÇÎËÚËÄÂÇÕÔâ ÔÓÑÔÕÑÏ ÆÂÄÎÇÐËâ P ÍÂÍ B…P† B…0† ‡ 5P, ÅÆÇ B…0† ìÑÃÝÈÏÐÞÌ ÏÑÆÖÎß Ä ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÆÂÄÎÇÐËâ. ¬Ñà××ËÙËÇÐÕÒÓÑÒÑÓÙËÑÐÂÎßÐÑÔÕË 5 ÃÞÎ ËÊÏÇÓÇÐ ÒÑÔÓÇÆÔÕÄÑÏ ²¥ÄÞÔÑÍÑÅÑ ÓÂÊÓÇÛÇÐËâ [170] Ë ÐÂØÑÆËÕÔâ Ä ÔÑÅÎÂÔËË ÔÑÊÐÂÚÇÐËâÏË, ÒÓÇÆÔÍÂÊÂÐÐÞÏË ÖÐËÄÇÓÔÂÎßÐÞÏ ÑÕÐÑÛÇÐËÇÏ àÐÇÓÅËË ÔÄâÊË UBER [124, 120].

C ÖÚÈÕÑÏ àÕÑÌÊÂÄËÔËÏÑÔÕË ÄÇÎËÚËРÑÃÝÈÏÐÑÅÑ ÏÑÆÖÎâ ÒÑÍÓÞÕËÌ,ÒÑÎÖÚÇÐÐÞØ £ÇÒÓÇÍÑÏ Ë ÆÓ., B…0† ˆ 295 15 ¤±Â, ÑÒÓÇÃÂÄ1 ÏÍϲËÔ. 19. ®ËÍÓÑÅÓÂÏÏÞ àÎÇÍÕÓÑÐÐÑÅÑ ÔÍÂÐËÓÑÄÂÐËâ Ô ÖÚÂÔÕÍÑÄËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËâ Ô ÐÂÅÓÖÊÍÑÌ 1000 ϯ Ä ÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÑÏ ÒÑÍÓÞÕËË:(Â) ÕÑÎÜËÐÑÌ 3,5 ÏÍÏ (ËÐÄÂÓËÂÐÕÐÂâ Í ÐÂÅÓÖÊÍÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕß HV 105 ¤±Â, ÓËÔ.

12Â), ÒÑÍÓÞÕËÇ ÅÎÖÃÑÍÑ ÄÒÓÇÔÔÑÄÂÐÑ Ä ÏâÅÍÖáÔÕÂÎßÐÖá ÒÑÆÎÑÉÍÖ; (Ã) ÕÑÎÜËÐÑÌ 10,7 ÏÍÏ (ËÐÄÂÓËÂÐÕÐÂâ Í ÐÂÅÓÖÊÍÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕß HV 60 ¤±Â); (Ä) ÖÎßÕÓÂÕÄÈÓÆÑÇ ÒÑÍÓÞÕËÇ ÕÑÎÜËÐÑÌ6,1ÏÍÏ (H0;005 100 ¤±Â, ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÍÑÏÒÑÊËÕ ÒÑÍÓÞÕËÇ/ÒÑÆÎÑÉÍÂÑÍÑÎÑ 38 ¤±Â). ©ÂÏÇÕÐÑ ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÓÂÆËÂÎßÐÞØ ÕÓÇÜËÐ Ä ÆËÂÅÑÐÂÎßÐÑÏ ÐÂÒÓÂÄÎÇÐËË Ð ËÊÑÃÓÂÉÇÐËâØ (Ã) Ë (Ä) [19].57ÆÇÎâÇÏÂâ ÏÇÕÑÆÑÏ ²¥ ÄÞÔÑÍÑÅÑ ÓÂÊÓÇÛÇÐËâ [170], ÖÄÇÎËÚËÎÂÔß ÒÓË ËÊÏÇÐÇÐËË ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÆÑ 545 ë 595 ¤±Â(ÑÕÏÇÕËÏ, ÚÕÑ ÆÂÄÎÇÐËÇ ÒÑÆ ËÐÆÇÐÕÑÓÑÏ ÒÓËÃÎËÊËÕÇÎßÐÑ ÔÑÑÕÄÇÕÔÕÄÑÄÂÎÑ ÕÄÈÓÆÑÔÕË H ˆ L=Ac , L ì ÐÂÅÓÖÊÍÂРÒËÓÂÏËÆÍÖ, Ac ì ÒÎÑÜÂÆß ÒÑÍÓÞÕËâ).

±Ñ àÕËÏÒÓËÚËÐÂÏ ÑÃÞÚÐÞÌ ÏÇÕÑÆ ÍÑÐÇÚÐÞØ àÎÇÏÇÐÕÑÄ (éniteelement method, FEM) ÐÇÒÓËÏÇÐËÏ ÆÎâ ÊÂÆÂÚË Ô ÔËÎßÐÑÌÐÇÎËÐÇÌÐÑÔÕßá, ØÑÕâ ÃoÂÎßÛÂâ ÚÂÔÕß ÖÒÓÖÅÑÌ ÓÇÂÍÙËËÒÑÔÎÇ ÔÐâÕËâ ÐÂÅÓÖÊÍË ËÔØÑÆËÕ ËÊ ÑÃÎÂÔÕÇÌ ÖÆÂÎÈÐÐÞØÑÕ ËÐÆÇÐÕÑÓÂ, ÅÆÇ ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÆÂÄÎÇÐËâ ÐÇÊÐÂÚËÕÇÎßÐÑ, ÂÄÇÎËÚËРÐÂÒÓâÉÇÐËâ, ÍÑÕÑÓÂâ ÆÑÎÉРÃÞÕß ÄÍÎáÚÇРÄÓÂÔÚÈÕÞ, ÄÇÎËÍÂ. ±ÑÆÑÃÐÂâ ÔËÕÖÂÙËâ ÄÑÊÐËÍÂÇÕ Ä ÔÎÖÚÂÇÏÇØÂÐËÊÏ ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÑÌ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË, ÍÑÕÑÓÞÌ ËÏÇÇÕÏÇÔÕÑ Ä ÂÏÑÓ×ÐÞØ ÏÂÕÇÓËÂÎÂØ [122, 123]. ªÔÒÑÎßÊÑÄÂÐËÇFEM ÏÑÆÇÎËÓÑÄÂÐËâ ÄÇÎËÚËÐÞ ÐÂÒÓâÉÇÐËÌ ÒÑÊÄÑÎâÇÕÒÑÎÖÚËÕß ÑÚÇÐß ËÐÕÇÓÇÔÐÞÇ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÒÑ àÕÑÌ ÒÓÑÃÎÇÏÇ[171, 197 ë 199].¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 19 ÒÓÇÆÔÕÂÄÎÇÐÞ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ËÊÏÇÓÇÐËâÕÄÈÓÆÑÔÕË, ÒÑÎÖÚÇÐÐÞÇ Ô ÒÑÏÑÜßá ÐÂÐÑËÐÆÇÐÕÑÓ ÐÂÔÄÇÓØÕÄÈÓÆÞØ (ËÎË ÖÎßÕÓÂÕÄÈÓÆÞØ) ÒÑÍÓÞÕËâØ, ÑÔÂÉÆÇÐÐÞØ Ð ÓÂÊÎËÚÐÞÇ ÒÑÆÎÑÉÍË (ÔÏ.

ÕÂÍÉÇ ÓËÔ. 12Â, Ã). ¿ÕËÆÂÐÐÞÇ ÃÞÎË ÒÑÎÖÚÇÐÞ £ÇÒÓÇÍÑÏ Ô ÔÑÂÄÕÑÓÂÏË Ä ÓÂÃÑÕÇ[108] Ë Ä ÑÃÊÑÓÇ [19] (ÔÏ. ÕÂÍÉÇ [10]) Ë ÒÓËÄÇÆÇÐÞ ÐÂÏË ÆÎâÕÑÅÑ, ÚÕÑÃÞ ÒÑÍÂÊÂÕß, ÍÂÍ ÒÓÑØÑÆËÎË ËÊÏÇÓÇÐËâ ÕÄÈÓÆÑÔÕË. ©ÂÏÇÕËÏ ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÓÂÆËÂÎßÐÞØ ÕÓÇÜËÐ Ä ÆËÂÅÑÐÂÎßÐÑÏ ÐÂÒÓÂÄÎÇÐËË Ð ËÊÑÃÓÂÉÇÐËâØ ÓËÔ. 19Ã, Ä. ¬ÂÍÔÚËÕÂáÕ ÂÄÕÑÓÞ ÓÂÃÑÕ [19, 108, 139], ÑÕÔÖÕÔÕÄËÇ ÓÂÆËÂÎßÐÞØ ÕÓÇÜËÐ ÄÑ ÏÐÑÅËØ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÂØ ÒÑ ËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËá Ä ÔÑÚÇÕÂÐËË Ô ÄÞÔÑÍËÏ ÐÂÒÓâÉÇÐËÇÏ ÓÂÔÕâÉÇÐËâØÂÓÂÍÕÇÓÐÑ ÆÎâ ÏÂÕÇÓËÂÎÂ, Ä ÍÑÕÑÓÑÏ ÇÔÕß ÒÑÓÑÅ ÆÎâËÐËÙËËÓÑÄÂÐËâ ÑÃÓÂÊÑÄÂÐËâ ÕÓÇÜËÐ [19].£ ÍÂÚÇÔÕÄÇ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÑÄ, ÍÑÕÑÓÞÇ ÐÇ ÄÒËÔÞÄÂáÕÔâ ÄÍÑÐÙÇÒÙËá £ÇÒÓÇÍÂ Ë ÐÇÍÑÕÑÓÞØ ÆÓÖÅËØ, ÏÞ ÒÓËÄÑÆËÏÐÇÔÍÑÎßÍÑ ÒÓËÏÇÓÑÄ ËÊ ÔÓÂÄÐËÕÇÎßÐÑ ÐÑÄÑÌ ÓÂÃÑÕÞ [172].£ ÆÂÐÐÑÌ ÓÂÃÑÕÇ ÃÞÎÑ ÒÑÍÂÊÂÐÑ, ÚÕÑ ÄÞÔÑÍÂâ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ËÕÇÓÏËÚÇÔÍÂâ ÔÕÂÃËÎßÐÑÔÕß ÑÚÇÐß ÚÖÄÔÕÄËÕÇÎßÐÞ Í ÑÒÕËÏÂÎßÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÇ ÒÑÍÓÞÕËÌ ( ÐÇ ÕÑÎßÍÑ Í ÍÑÐÙÇÐÕÓÂÙËË ÍËÔÎÑÓÑÆ ËÎË ÖÅÎÇÓÑÆÂ, ÒÓËÔÖÕÔÕÄÖÜËØ Ä ÒÎÈÐÍÇ).²ËÔÖÐÑÍ 20 ËÎÎáÔÕÓËÓÖÇÕ ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÒÎÈÐÑÍ ÍÂÍ ×ÖÐÍÙËá ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÑÕÉËÅÂ.

¿ÍÔÒÇÓËÏÇÐÕ ÒÑÍÂÊÞÄÂÇÕ, ÚÕÑÒÑ ÏÇÓÇ ÖÄÇÎËÚÇÐËâ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÑÕÉËÅ ÕÄÈÓÆÑÔÕßÖÄÇÎËÚËÄÂÇÕÔâ ÑÕ 15 ë 20 ¤±Â ÆÑ 20 ë 25 ¤±Â, ÆÑÔÕËÅÂâÏÂÍÔËÏÖÏ ÒÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ 600 ë 800 C, Ë ÓÇÊÍÑ ÖÏÇÐßÛÂÇÕÔâ ÆÑ ÊÐÂÚÇÐËÌ ÐËÉÇ ÐÂÚÂÎßÐÑÅÑ ÖÓÑÄÐâ ÒÓË 1000 C.´ÄÈÓÆÑÔÕß ÑÔÂÉÆÇÐÐÞØ ÒÑÍÓÞÕËÌ Ti ë B ë N, ÄÞÓÂÜÇÐÐÞØÒÓË ÑÒÕËÏÂÎßÐÞØ ÖÔÎÑÄËâØ, ÔÑÔÕÂÄÎâÇÕ 30 ¤±Â (ÓËÔ. 20Â).±ÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ ÒÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÇ 800 C ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÖÄÇÎËÚËÄÂÇÕÔâ ÆÑ 35 ¤±Â (ÒÑÍÓÞÕËâ Ti ë Cr ë B ë N) Ë 41 ¤±Â(ÒÑÍÓÞÕËâ Ti ë B ë N). ®ÑÉÐÑ ÄËÆÇÕß, ÚÕÑ ÕÄÈÓÆÑÔÕßTi ë Cr ë B ë N, ÐÂÐÇÔÇÐÐÞØ ÒÓË ÑÒÕËÏÂÎßÐÞØ ÖÔÎÑÄËâØ,ÃÞΠÔÕÂÃËÎßÐÑÌ ÆÑ 1000 C.

¡ÄÕÑÓÞ ÓÂÃÑÕÞ [172]ÒÓÑÄÇÎË ËÔÒÞÕÂÐËâ ÔÕÑÌÍÑÔÕË Í ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá. ¿ÕË ÉÇÒÎÈÐÍË ÑÍËÔÎâÎËÔß ÒÓË ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂØ 600, 700, 800, 900 CÄ ÕÇÚÇÐËÇ 1 Ú. ¡ÐÂÎËÊ, ÒÓÑÄÇÆÇÐÐÞÌ Ô ÒÑÏÑÜßá ²¥(ÓËÔ. 20Ã, Ä) Ë £ª®³ (ÄÕÑÓËÚÐÑ-ËÑÐÐÑÌ ÏÂÔÔ-ÔÒÇÍÕÓÑÔÍÑÒËË, ÓËÔ. 20Å, Æ) ÒÑÍÂÊÂÎ, ÚÕÑ ÆÎâ ÒÎÈÐÑÍ Ti ë Cr ë B ë NÐÂÃÎáÆÂÇÕÔâ ÑÆËÐ ÓÇ×ÎÇÍÔ ÒÓË 2y ˆ 29 , ÍÑÕÑÓÞÌ ÂÄÕÑÓÞÒÓËÒËÔÞÄÂáÕ TiBO3. °ÃÓÂÊÖÇÕÔâ ÔÎÑÌ, ÑÃÑÅÂÜÈÐÐÞÌ £,ÍÑÕÑÓÞÌ ÊÂÕÇÏ ÐÇ ÆÂÈÕ ÄÑÊÏÑÉÐÑÔÕË ÍËÔÎÑÓÑÆÖ ÒÓÑÐËÍÂÕß ÄÅÎÖÃß ÒÎÈÐÍË. £ª®³-ÂÐÂÎËÊ ÒÑÍÂÊÂÎ (ÓËÔ. 20Å, Æ),ÚÕÑ ÕÑÎßÍÑ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕß ËÏÇÇÕ ÔÑÔÕÂÄ Ti ë °,  ÑÃÎÂÔÕßTi ë ° ë £ ÐÂØÑÆËÕÔâ ÔÐËÊÖ.

°ÃÓÂÊÑÄÂÐËÇ ÍÓËÔÕÂÎÎËÚÇÔÍÑÌ ×ÂÊÞ Ti°2 (ÓÖÕËÎ) ÐÂÃÎáÆÂÎÑÔß ÕÑÎßÍÑ ÒÑÔÎÇÑÕÉËÅ ÒÓË 800 C. ´ÂÍËÏ ÑÃÓÂÊÑÏ, ÂÄÕÑÓÞ ÆÇÎÂáÕ58¡.¥. ±°¤²¦¢¯Á¬, ¡.±. º±¡¬, ¯.¡. ¡©¡²¦¯¬°£, £.®. ¢¦²¦³¯¦£´ÄÇÓÆÑÔÕß, ¤±Â40[µ¶¯ 2009Â302010TiÿCrÿBÿNTiÿAlÿSiÿBÿNTiÿCrÿBÿNTiÿBÿNTiÿSiÿBÿNTiÿBÿN500´ÇÏÒÇÓÂÕÖÓ ÑÕÉËÅÂ, C01000ĪÐÕÇÐÔËÄÐÑÔÕß, ÑÕÐ. ÇÆ.ªÐÕÇÐÔËÄÐÑÔÕß, ÑÕÐ. ÇÆ.Ã543254321130405060702y, ÅÓÂÆ.30TiOBCr0100200300400£ÓÇÏâ ÕÓÂÄÎÇÐËâ, ÔOªÐÕÇÐÔËÄÐÑÔÕß, ÑÕÐ. ÇÆ.ªÐÕÇÐÔËÄÐÑÔÕß, ÑÕÐ. ÇÆ.Å500600405060702y, ÅÓÂÆ.ÆTiSiAlB050100150200£ÓÇÏâ ÕÓÂÄÎÇÐËâ, Ô250300²ËÔ. 20. (Â) ©ÂÄËÔËÏÑÔÕË ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÐÂÐÑÍÑÏÒÑÊËÕÑÄ ÑÕ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÞ ÑÕÉËÅ [172].

(Ã, Ä) ²ÇÐÕÅÇÐÑÄÔÍËÇ ÆË×ÓÂÍÙËÑÐÐÞÇ ÔÒÇÍÕÓÞ ÆÎâ ÒÎÈÐÑÍTi ë Cr ë B ë N Ë Ti ë Al ë Si ë B ë N Ä ËÔØÑÆÐÑÏ ÔÑÔÕÑâÐËË (1) Ë ÒÑÔÎÇ ÑÕÉËÅ ÒÓË 600 C (2), 700 C (3), 800 C (4) Ë 900 C (5) Ä ÕÇÚÇÐËÇ 1 Ú.(Å) ´ÑÎÜËРÑÍÔËÆÐÑÅÑ ÔÎÑâ ÆÎâ ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÒÎÈÐÑÍ ÒÑ ËÊÏÇÓÇÐËâÏ £ª®³ Ë (Æ) ÒÓÑ×ËÎË £ª®³ ÒÑ ÅÎÖÃËÐÇ ÒÎÈÐÍË Ti ë Al ë Si ë B ë N, ÍÑÕÑÓÂâÒÑÆÄÇÓÅÂÎÂÔß ÄÞÔÑÍÑÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÐÑÏÖ ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËá ÒÓË 800 C [172].ÄÞÄÑÆÞ Ñ ÕÑÏ, ÚÕÑ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËÇ ÑÍÔËÆÐÞØ ÔÎÑÇÄ,ÃÑÅÂÕÞØ Al, Si, B, РÒÑÄÇÓØÐÑÔÕË ÒÑÍÓÞÕËâ ÒÓÇÆÑÕÄÓÂÜÂÇÕ ÆÂÎßÐÇÌÛÇÇ ÑÍËÔÎÇÐËÇ ÒÎÈÐÍË. £ÞÛÇ 900 C àÕÑÕÃÂÓßÇÓ ÖÉÇ ÐÇ ÏÑÉÇÕ ÒÓÇÒâÕÔÕÄÑÄÂÕß ÆË××ÖÊËË ÍËÔÎÑÓÑÆÂ. ¥ÂÎÇÇ ÃÞÎÑ ÖÔÕÂÐÑÄÎÇÐÑ, ÚÕÑ £ ÔÕÂÃËÎËÊËÓÖÇÕÂÏÑÓ×ÐÑÇ ÔÑÔÕÑâÐËÇ ÃÎÂÅÑÆÂÓâ ÏÂÎÑÌ ÒÑÆÄËÉÐÑÔÕËÂÕÑÏÑÄ Ë ÒÓÇÒâÕÔÕÄÖÇÕ ÆÇÍÑÏÒÑÊËÙËË ÔÄâÊÇÌ Si ë N ÒÓËÒÑÄÞÛÇÐÐÞØ ÕÇÏÒÇÓÂÕÖÓÂØ ÃÎÂÅÑÆÂÓâ ×ÑÓÏËÓÑÄÂÐËáBN(³). £ ÒÑÎßÊÖ àÕÑÅÑ ÔÄËÆÇÕÇÎßÔÕÄÖáÕ Ë ÆÓÖÅËÇ àÍÔÒÇÓËÏÇÐÕÞ £ËÙÇÍÂ Ë ÆÓ.

[173]. £ÐÇÆÓÇÐËÇ £ Ä ÒÎÈÐÍÖÒÓËÄÑÆËÕ Í ÔËÔÕÇÏÂÕËÚÇÔÍÑÏÖ ÖÏÇÐßÛÇÐËá ÒÑÕÇÓËÏÂÔÔÞ. ¿ÕË ÓÇÊÖÎßÕÂÕÞ ÒÑÆÕÄÇÓÉÆÂáÕ, ÚÕÑ ÕÑÐÍËÌ ÒÓËÒÑÄÇÓØÐÑÔÕÐÞÌ ÔÎÑÌ, ÔÑÔÕÑâÜËÌ ËÊ Ti, £ Ë ÍËÔÎÑÓÑÆÂ,ÒÓÇÆÑØÓÂÐâÇÕ ÒÎÈÐÍÖ Ti ë B ë N ÑÕ ÆÂÎßÐÇÌÛÇÅÑ ÑÍÔËÆËÓÑÄÂÐËâ ÒÑ ÔÓÂÄÐÇÐËá Ô TiN.£ ÓÂÃÑÕÇ [203] ËÔÔÎÇÆÑÄÂÎÑÔß ÄÎËâÐËÇ ÏÑÜÐÑÔÕËÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ËÐÆÖÍÕËÄÐÑ-ÔÄâÊÂÐÐÑÌ ÒÎÂÊÏÞ (ICP) РÏÇØÂÐËÚÇÔÍËÇ ÔÄÑÌÔÕÄ ÒÎÈÐÑÍ ÐËÕÓËÆ ÕÂÐÕÂÎÂ. ±ÎÈÐÍË TaNÄÞÓÂÜËÄÂÎË Ð Si (100) ÏÇÕÑÆÑÏ ÏÂÅÐÇÕÓÑÐÐÑÅÑ ÓÂÔÒÞÎÇÐËâ Ä ÒÓËÔÖÕÔÕÄËË ICP Ä ÔÏÇÛÂÐÐÞØ ÓÂÊÓâÆÂØ Ar/N2ÒÓË 20 ÕÑÓÓ (2,67 ±Â) Ë 350 C. ¥Îâ ÔÕÓÖÍÕÖÓÐÑÅÑ ÂÐÂÎËÊÂËÔÒÑÎßÊÑÄÂÎË ÏÇÕÑÆÞ ÓÇÐÕÅÇÐÑÄÔÍÑÌ ÆË×ÓÂÍÙËË, ÑÉÇàÎÇÍÕÓÑÐÐÑÌ ÔÒÇÍÕÓÑÔÍÑÒËË Ë ÂÕÑÏÐÑ-ÔËÎÑÄÑÌ ÏËÍÓÑÔÍÑÒËË,  ÕÄÈÓÆÑÔÕß ËÊÏÇÓâÎË ÏËÍÓÑËÐÆÇÐÕËÓÑÄÂÐËÇÏ.³ÕÓÖÍÕÖÓ ÒÎÈÐÑÍ TaN ËÊÏÇÐâÎÂÔß ÒÑ ÏÇÓÇ ËÊÏÇÐÇÐËâÏÑÜÐÑÔÕË ÅÇÐÇÓÂÕÑÓ ICP (100 ë 400 £Õ) Ë ÔÑÆÇÓÉÂÐËâÂÊÑÕ fN2 (0,1 ë 0,15 ±Â). ±ÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÏÑÜÐÑÔÕË ÄÖÍÂÊÂÐÐÑÏ ÆËÂÒÂÊÑÐÇ Ä ÔÖÜÇÔÕÄÖáÜÇÏ ÔÑÇÆËÐÇÐËË ÅÇÍÔÂÅÑÐÂÎßÐÑÅÑ g-Ta2N ( fN2 ˆ 0;1 ±Â) ËÎË ÍÖÃËÚÇÔÍÑÅÑ d-TaN( fN2 ˆ 0;125 Ë 0,15 ±Â) ÒÑâÄÎâÎÂÔß ÅÇÍÔÂÅÑÐÂÎßÐÂâ ×ÂÊ´.

179, å 1]59³´²µ¬´µ²¡ ª ³£°«³´£¡ ´£§²¥½· ª ³£¦²·´£§²¥½· ¯¡¯°¬°®±°©ª´¯½· ±°¬²½´ª«e-TaN; ÕÄÈÓÆÑÔÕß ÕÂÍÉÇ ÄÑÊÓÂÔÕÂΠÑÕ 25 ë 30 ¤±Â ÆÑÒÓËÏÇÓÐÑ 70 ¤±Â. ±ÓÇÆÒÑÎÑÉËÕÇÎßÐÑ, àÕÑ ÊÐÂÚËÕÇÎßÐÑÇÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÕÄÈÓÆÑÔÕË ÒÓÑËÔØÑÆËÎÑ Ê ÔÚÈÕ ÄÍÎÂÆ ÒÎÑÕÐÑÌ ÏËÍÓÑÔÕÓÖÍÕÖÓÞ Ô ÑÚÇÐß ÏÇÎÍËÏË ÊÈÓÐÂÏË Ë Ê ÔÚÈÕÇÈ ÏÖÎßÕË×ÂÊÐÑÌ ÔÕÓÖÍÕÖÓÞ.¥ÂÕÚËÍ ÅÎÖÃËÐÞ¡ÍÖÔÕËÚÇÔÍËÌàÏËÔÔËÑÐÐÞÌÆÇÕÇÍÕÑÓ¸ÂÓÂÒÂáÜÇÇÑÔÕÓËÇ11. ¡ÆÅÇÊËÑÐÐÂâ ÒÓÑÚÐÑÔÕß Ë ÓÂÊÓÖÛÇÐËÇÏÐÑÅÑÍÑÏÒÑÐÇÐÕÐÞØ ÐÂÐÑÔÕÓÖÍÕÖÓÐÞØÒÑÍÓÞÕËÌ ÒÓË ÙÂÓÂÒÂÐËË£ ÓÂÃÑÕÂØ [7, 10] ÆÎâ ÑÒÓÇÆÇÎÇÐËâ ÒÓÑÚÐÑÔÕË ÂÆÅÇÊËËÒÑÍÓÞÕËÌ Ð ÑÔÐÑÄÇ Ti ë (Ca,Zr) ë (C,N,O,P) РËØ ÒÑÄÇÓØÐÑÔÕß ÂÎÏÂÊÐÞÏ ËÐÆÇÐÕÑÓÑÏ ÕËÒ ²ÑÍÄÇÎΠÐÂÐÑÔËÎËÔßÙÂÓÂÒËÐÞ ÒÓË ÐÇÒÓÇÓÞÄÐÑ ÐÂÓÂÔÕÂáÜÇÌ ÐÂÅÓÖÊÍÇ (ÔÏ.ÓËÔ.

21Â). ¥.£. ºÕÂÐÔÍËÌ Ë ÆÓ. Ä ÓÂÃÑÕÇ [10] ÒÓÑÄÑÆËÎËËÔÒÞÕÂÐËâ Ë ÓÇÅËÔÕÓËÓÑÄÂÎË ×ËÊËÚÇÔÍËÇ ÒÂÓÂÏÇÕÓÞ ÒÓËÓÂÊÎËÚÐÑÌ ÄÇÎËÚËÐÇ ÒÓËÎÑÉÇÐÐÑÌ ÐÂÅÓÖÊÍË Ë ÆÎËÐÇÙÂÓÂÒËÐÞ. ®ÑÏÇÐÕ ÂÆÅÇÊËÑÐÐÑÅÑ Ë ÍÑÅÇÊËÑÐÐÑÅÑ ÓÂÊÓÖÛÇÐËâ ÒÑÍÓÞÕËâ ×ËÍÔËÓÑÄÂÎÔâ ÒÑÔÎÇ ËÔÒÞÕÂÐËÌ ÄËÊÖÂÎßÐÑ Ô ÒÑÏÑÜßá ÑÒÕËÚÇÔÍÑÅÑ ÏËÍÓÑÔÍÑÒÂ, ÑÃÑÓÖÆÑÄÂÐÐÑÅÑ ÙË×ÓÑÄÑÌ ÍÂÏÇÓÑÌ,  ÕÂÍÉÇ ÒÑ ËÊÏÇÐÇÐËá ÑÆÐÑÅÑ ËÊÒâÕË ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ: ÂÍÖÔÕËÚÇÔÍÑÌ àÏËÔÔËË, ÔËÎÞ ÕÓÇÐËâ,ÍÑà××ËÙËÇÐÕ ÕÓÇÐËâ, ÅÎÖÃËÐÞ ÒÓÑÐËÍÐÑÄÇÐËâ Ë ÑÔÕÂÕÑÚÐÑÌ ÅÎÖÃËÐÞ ÙÂÓÂÒËÐÞ. £ ÓÇÊÖÎßÕÂÕÇ ËÔÒÞÕÂÐËÌÑÒÓÇÆÇÎâÎÂÔß ÏËÐËÏÂÎßÐÂâ (ÍÓËÕËÚÇÔÍÂâ) ÐÂÅÓÖÊÍ Lc ,ÍÑÕÑÓÂâ ÒÓËÄÑÆËÎÂ Í ÓÂÊÓÖÛÇÐËá ÒÑÍÓÞÕËâ. ¥Îâ ÆÑÔÕÑÄÇÓÐÑÔÕË ÔÑÃÞÕËÌ, ÔÄâÊÂÐÐÞØ Ô ÓÂÊÓÖÛÇÐËÇÏ, ÂÄÕÑÓÞÑÒÓÇÆÇÎËÎË ÐÇ ÕÑÎßÍÑ Le ì ÏÑÏÇÐÕ ÒÑâÄÎÇÐËâ ÒÇÓÄÑÌÕÓÇÜËÐÞ, ÐÑ Ë Le2 ì ÑÕÔÎÂËÄÂÐËÇ ÖÚÂÔÕÍ ÒÑÍÓÞÕËâ, Le3ì ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÑÇ ËÔÕËÓÂÐËÇ ÒÑÍÓÞÕËâ (ÍÑÕÑÓÞÇ ÑÒËÔÞÄÂáÕ ÔÑÃÔÕÄÇÐÐÑ ÂÆÅÇÊËá ÒÑÍÓÞÕËâ Í ÒÑÆÎÑÉÍÇ).

¡ÐÂÎËÊÔÑÄÑÍÖÒÐÑÔÕË ÓÂÊÎËÚÐÞØ ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ, ÓÇÅËÔÕÓËÓÖÇÏÞØ ÄÒÓÑÙÇÔÔÇ ËÔÒÞÕÂÐËÌ, ÒÑÄÞÛÂÇÕ ÆÑÔÕÑÄÇÓÐÑÔÕß ÏÇÕÑÆËÍËË ÕÑÚÐÑÔÕß ÑÒÓÇÆÇÎÇÐËâ ÍÓËÕËÚÇÔÍÑÌ ÐÂÅÓÖÊÍË.¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 21à ÒÑÍÂÊÂÐÑ ËÊÏÇÐÇÐËÇ ÚÇÕÞÓÈØ ÒÂÓÂÏÇÕÓÑÄ ì ÂÍÖÔÕËÚÇÔÍÑÌ àÏËÔÔËË (¡¦), ÍÑà××ËÙËÇÐÕ ÕÓÇÐËâm, ÅÎÖÃËÐÞ ÒÓÑÐËÍÐÑÄÇÐËâ ËÐÆÇÐÕÑÓ h Ë ÑÔÕÂÕÑÚÐÑÌÅÎÖÃËÐÞ ÙÂÓÂÒËÐÞ ÒÑÔÎÇ ÔÐâÕËâ ÐÂÅÓÖÊÍË hf ì ÒÓËÙÂÓÂÒÂÐËË Ô ÖÄÇÎËÚËÄÂáÜÇÌÔâ ÐÑÓÏÂÎßÐÑÌ ÐÂÅÓÖÊÍÑÌPn ÆÎâ ÔËÔÕÇÏÞ Ti ë Zr ë C ë O ë N РÒÑÆÎÑÉÍÇ TiNi.±ÇÓÄÂâ ÕÓÇÜËРÆÎËÐÑÌ ÃÑÎÇÇ 60 ÏÍÏ ÑÃÓÂÊÖÇÕÔâ ÒÓËÐÂÅÓÖÊÍÇ Le ˆ 6;4 ¯ Ë ÅÎÖÃËÐÇ ÒÓÑÐËÍÐÑÄÇÐËâ ËÐÆÇÐÕÑÓÂ7 ÏÍÏ, ÚÕÑ ÔÎÇÆÖÇÕ ËÊ ËÊÑÃÓÂÉÇÐËâ ÑÃÎÂÔÕË ÓÂÊÓÖÛÇÐËâÒÑÍÓÞÕËâ, ÒÑÎÖÚÇÐÐÑÅÑ Ô ÒÑÏÑÜßá ÑÒÕËÚÇÔÍÑÅÑ ÏËÍÓÑÔÍÑÒÂ.¯Â ÓËÔÖÐÍÇ 21Ä ÒÑÍÂÊÂÐÑ, ÚÕÑ ÒÑâÄÎÇÐËÇ ÕÓÇÜËÐÔÑÒÓÑÄÑÉÆÂÇÕÔâ ÒËÍÑÏ ÂÍÖÔÕËÚÇÔÍÑÌ àÏËÔÔËË.

¬ÂÍÄËÆÐÑ, ÒÓË ÖÄÇÎËÚÇÐËË ÐÂÅÓÖÊÍË ÍÓËÄÂâ, ÑÒËÔÞÄÂáÜÂâÊÂÄËÔËÏÑÔÕß ÍÑà××ËÙËÇÐÕ ÕÓÇÐËâ ÑÕ ÐÂÅÓÖÊÍË Pn , ËÏÇÇÕÑÔÙËÎÎËÓÖáÜËÌ ØÂÓÂÍÕÇÓ: ÖÄÇÎËÚÇÐËÇ ÍÑà××ËÙËÇÐÕÂÕÓÇÐËâ ÔÑÒÓÑÄÑÉÆÂÇÕÔâ ÓÇÊÍËÏ ÄÔÒÎÇÔÍÑÏ ÂÍÖÔÕËÚÇÔÍÑÌàÏËÔÔËË,  ÕÂÍÉÇ ÊÂÏÇÆÎÇÐËÇÏ ÒÓÑÐËÍÐÑÄÇÐËâ ËÐÆÇÐÕÑÓÂÄÅÎÖÃß ÏÂÕÇÓËÂÎÂ.¬ÂÍ ËÊÄÇÔÕÐÑ, TiNi ËÏÇÇÕ ÕÄÈÓÆÑÔÕß 4,8 ¤±Â Ë ÏÑÆÖÎßÖÒÓÖÅÑÔÕË ÑÕ 59 ÆÑ 66 ¤±¡ (ÔÏ. ÓÂÃÑÕÞ [10, 12]).

±ÓËÙÂÓÂÒÂÐËË ÏÂÕÇÓËÂÎÂ Ô ÐËÊÍËÏ ÊÐÂÚÇÐËÇÏ E=H ÇÔÕÇÔÕÄÇÐÐÑ ÑÉËÆÂÕß ÖÔÕÂÐÑÄÎÇÐËâ ÖÒÓÖÅÑÔÕË ÍÑÐÕÂÍÕÂ, ÕÑÅÆÂÒÓÑÕÇÍÂÐËÇ ÒÎÂÔÕËÚÇÔÍÑÌ ÆÇ×ÑÓÏÂÙËË ÏÇÐÇÇ ÄÇÓÑâÕÐÑ[10, 18]. ±Ñ ÏÇÓÇ ÒÑÔÕÖÒÂÕÇÎßÐÑÅÑ ÆÄËÉÇÐËâ ËÐÆÇÐÕÑÓÂÒÓÑËÔØÑÆËÕ ÄÞÆÂÄÎËÄÂÐËÇ ÐÇÍÑÕÑÓÑÅÑ ÑÃÝÈÏ ÏÂÕÇÓËÂΠÒÇÓÇÆ ËÐÆÇÐÕÑÓÑÏ, РÚÕÑ ÖÍÂÊÞÄÂÇÕ ÖÏÇÐßÛÇÐËÇÅÎÖÃËÐÞ ÒÓÑÐËÍÐÑÄÇÐËâ ËÐÆÇÐÕÑÓ h (ÓËÔ. 21Â) Ë ÖÏÇÐßÛÇÐËÇ ÛËÓËÐÞ ÙÂÓÂÒËÐÞ (ÓËÔ.