35_avt_svid_EAD_1529994 (Патенты Деулина Е.А часть 2)

СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ГОМИСТВКННЫй НОМИтит ИО ИЗОБИТИНИЯЯ И ПТИРЫТИЯЯ ПРИ ГОСУДАРСТВЕННОМ КОМИТЕТЕ СССР ПО НАУКЕ И ТЕХНИКЕ < госкомизовгвтвиий ) Приоритет изобретении Яце я ЮЖР Зауетистрирсианс ы Рссударстсеыысм 'веестуе ыессуетеыий СССР 15 ат8ту Действие авторского"св страняется на всю тер аспроза ССР. ае1Ф Гаааааа. 1988 Заа 8883.

Наа основании полномочнйа предоставленных Правительством СССР, Госкомизобретений выдал настоащее .авторское . свидетельство УС О4О'РВО ДНЯГ НВХ'О".РОВЖЕНЙЯ ЭНВКРРОВИКЩИНИХ прносроВ- ЛвтоР «автоРы):,ЦДУДНН ЯНДЩНф АИЕНОЕЩдЩ, МЕИЕЦОВ * ЗжаДКМНР БИКОЛНЕВИЧ', ОНУЦРИЕНКО Ми~' ОЮЯ, ПИРВФЯ Рй 3$Е89ЯЬ9ВНН И:-ЖАЛ(ф ф(фЬ ОРОВНЧ ,,„) ' . 'С",,аа а, союз созетсних социАпистичесних респьзпин 151! 4' Н 01,Т 9/38 гооьдм стариный номитет по изов ктенинм и отн~щтинм при гннт ссс!' (21) 4339802/24-21 (22) 08,12,87 (72) Е,А,Деулии, В.Н,Каменов, И.Ф,Онулриенко, О.Е.Первая и И,В.Федулов (53) 621.385 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР Р 322421, кл, С 23 С 13/08, 1969, Авторское свидетельство СССР Р 1096976, клв С 30 В 23/02, 1981, (54) устройство ппя изготовления ЭЛЕКТРОВАКУУИНЫХ ПРИБОРОВ (57) Изобретение относится к вакуум- ной технике и может быть использова- но для изготовления злектровакуум- ных приборов, Пель изобретення- !!!1Я ( !!УЖЬВ!ПЧГФ ПОЛЬЭОВАНИЯ ЗКЗ, Н 0„80,0, 3 529994 А 1 2 повьзаение производительности и надежности - достигается путем подцержания высокого вакуума в дополнительной передвижной камере.

Устройство для изготовления электровакуумиых приборов содержит стационаРные вакуумные камеры 1-6, шиберные затворы 7, 20, 21, передвижную вакуумиум камеру 16, тележку !7, основной патрубок !8 и дополнительный патрубок 19, средства откачки 41, захваты !1,рычаг 13, упоры 40,42, Передвижная вакуумная камера 16, снабженная основ« ным 18 и дополнительным 19 патрубкамик позволяет с их помощье подклв- чать ее к камерам 1-6 с сохранением д высокого вакуума в камере 16, 5 ил, я! И 1529994 Изобретение относится к вакуумной технике, а конкретнее к устройствам вакуумных технологических линий для непрерывной обработки изделий в высо- 5 ком и сверхвысоком вакууме в автома- тизированном режиме, например, для сборки электронно-оптическнх преоб- Разователей и других приборов мето- дом переноса, молекулярно-лучевой 10 эпитакции, нанесения покрытий испаре- пнем в вакууме.

Целью изобретения является повышение производительности и надежности, которая достигается эа счет поддержания постоянного вакуума в дополнительной камере, На Фиг, 1 изображено предлагаемое !5 устройство, состоящее из трех технологических участков; иа Фиг. 2 - кинематическая схема транспортной тележки с механизмами перемещения съемной вакуумной камерьц на Фиг,З— узел пристыковки съемной вакуумной камеры к одной из камер линии, вид сбоку; на Фнг. 4 - разрез А-А на 20 25 Фиг,З; на Фиг. 5 - схема грейферного --' механизма транспортирования изделий на участке стыковки двух камер.

Устройство для изготовления злектровакуумных приборов содержит 30 стационарные вакуумные камеры ! - 6, которые разделены шиберными затворами 7, в которых расположены каналы 8 для напуска и удаления газа. ГрейФерные транспортеры 9 выполнены в виде подвижного випкообраэного захвата 10 и неподвижного вилкообразного захвата 11, подвижный захват 1О сочленен с приводом 12,который осуществляет продольное перемещение захвата 11, а подъем его осуществляется Рычагом !3, В шиберных затворах 7 установлены дополнительные захваты 14, на которых имеются Фиксаторы 15 ° Передвижная вакуумная 35 камера 16 установлена на тележке 17, на которой установлены основной патрубок 18 и дополнителъный патрубок 19 с вакуумными затворамн 20 и 21, Пинна патрубков 18 н 19 кратна шагу захвата грейФерного транспортера 9, патрубок 19 герметнэироваи снлъ4>оном 22 ° Фланцы 23 закреплены на цат- головками 25 и пружинамн 26,поджимающими,фланцы 23 к опорным ловерхнос- Рубках 18 и 19.

Патрубок 19 выполнен' 55 с возможностью перемещения на направ- ляющих 24 со сФерическими упорнымн тям головок 25 направляющих 24 ° .Не Фланце 23 патрубка 19 камеры 16 уста- новлены конечные выключатели 27,28 в плоскости, параллельной плоскости стыковки, переключатели 29, ЗО в вер" тикапьной плоскости, перпендикуляр- ной плоскости стыковки. На Фланце 3! стационарной камеры ! закреплен на штангах 32 двухкоординатиый упор 33, на Фланцах 18,19 затворов 20,21 уста- новлено уплотнение 34 для гермети- зации стыка камеры 16 со стационарны- ми камерами 1 - 6,,На' транспортной тележке !7 установлены механизм подъема и наклона 35 камеры 16, меха- низм поперечного перемещения 36 ка- меры 16, механизм поворота 37 каме- ры 16, механизм перемещения 38 тележ- ки 17 по рельсам 39, подвижные упо- ры 40, расположенные с обеих сторон тележки 17 по коду ее движения,инди- видуальные средства откачки 41 ваку- умной камеры 16 и установленные в местах остановки для пристыковки ка- меры 16 неподвижные упоры 42,имеющие возможность взаимодействия с подвив- нымн упорами 40 тележек 17, средст- ва герметизации сьемных камер 16 с остальными камерамн 1-6 выполнены в виде байонетных зажимов 43 с привода- ми 44, установленными на патрубках неподвижных камер 1 — 6, внутри ка- мер 16 установлены нагреватели 45 изделий 46, На периФерии Фланца 47 размещены ориентирующие конусы 48, которые слу- жат для более быстрой стыковки каме- ры 16 с камерами 1 или 2, 3-4, 5-6 ° Устройство работает следующим об- разом, В начальный момент времени камера 16 цристыковаиа к одной нз камер 2,4 (см,фиг,1), в камеры 1,3 загру- жаются анодные узлы, в камеру 6-ка- тодные узлы, производится вакуумиро- вание всех камер 1,2,3,4,5,6,16.При этом в камере 16 достигается такой же вакуум, как и в камере 2, так как шиберные затворы 7 и 20, разделяю- щие камеры 2 и 16, открыты, Затем производится первая техноло- гическая операция - предварительное обезгаживание анодных узлов в ка- мерах 1,3 при достижении высокого вакуума и очистка катодных узлов в камере 6, затем шиберные затворы 7, разделяющие камеры !,2>3>4>6>5>отк- рываются,,и изделия 46 перегружают- 5 15 ся с помощью грейферных механизмов в следующие камеры 3,4,5,6, Это производится следующим образом: изделия 46, установленные первоначально на внлаобразных захватах 11 (см,Фиг.5), поднимаются над ними подвижными захватами 10 эа счет поворота рычагов 13, связанных'с захватами !О, с помощью герметичных приводов !2 (см, Фиг.1) относительно осей этих приводов на высоту, превышающую высоту Фиксаторов 15 (см,Фиг.З)„ затем производится перемещение захватов '10 с изделиями 46 вдоль осей приводов !2 на шаг, определяемый размером изделия, подвижный захват 10 занимает положение, показанное на Фиг.5 пунктирными линиями, после этого захват 10 с изделием 46 опускается за счет поворота рычага 13 приводом !2 в об" ратном направлении, при этом иэделия 46 устанавливаются на неподвижные захваты 11, а захваты !О проходят между вилкообраэными захватами 11 с зазором, необходимым для компенсации погрешностей положения транспортера 9 (см,Фиг.5), конические Фиксаторы 15 служат для компенсации погрешности шага транспортера 9, крайнее изделие в камере 1,2 устанавливается на дополнительные неподвижные випкообразнне захваты 14, установленные в шибериых затворах 7 зеркально симметрично относительно их осей, положение иэделия 46 в шибере 7 показано на Фиг,3„Захваты 10 с помощью приводов 12 возвращаются в исходное положение под неподвижными захватами 11, при этом захваты 14 укРеплены в шиберных затворах таким образом, что ие мешают возврату зах- .

ватов !О, Затем изделие 46, находящееся в шиберном затворе 7, подхватывается подвижным захватом 10 н переносится на неподвижный захват 11, после чего цикл повторяется, Таким образом перегружаются все изделия 46 иэ камер 1„3,6 в камеры 2,4,5,после чего шиберные затворы 7, разделяющие камеры 1-2, 3-4,5-6, закрьваютсн, в камеры 1,3,6 загружаются новые партии изделий, а в камерах 2,4,5 достигают-. ся вакуумные характеристики, необходимые для последующих операций, Затем затвор 20 камеры 16 закрывается и в камерах 2,4 производится окончательное обезгаживание анодных узлов при достижении сверхвысокого вакуу- ма, а в камере 5. - Формирование катода> после этого открывается затвор 20 камеры 16 и анодина узлы из камеры 5 20 перегружаются в описанной вьээе последовательности и камеру 16, прн этом включены средства индивидуальной откачки 41 камеры 16, затворы 20 и 7 закрываются байонетный зажим 43„ герметиэирующий Флаяцы шиберов 7 и 20 посредством уплотнения 34, расстыковывается„ по каналу 8 производится напуск газа в полость,образуемую корпусами затворов 7 и 20, до атмосФерного давления, камера 16 отстыковывается от камеры 2 и по рельсам 39 на транспортной тележке 17 перемещается к камере 5 и пристыковывается к ней Фланцем затвора 21, Наличие 20 дополнительного патрубка 19 с затвором 21 позволяет не Разворачивать съемную камеру 16 иа тележке 17 на 180~„ что уменыяает время 'холостых ходов и габариты транспортной систе- 25 мн, Во время' транспортировки в съемной камере '16 аиодные узлы подвергаются Финишной обработке с помощъю нагревателей, 45, при этом в камере 16 поддерживается сверхвысокий ваку" ум средствами откачки 41, Перед камерой 5 камера .16 занимает положение, обозначенное на Фиг,1, Процесс пристыковки камеры 16 к ста.