Нанометрология (Раздаточные материалы от преподавателя), страница 55

30 – 32.25. Походун, А. И. Экспериментальные методы исследований, погрешности и неопределенность измерений: учебное пособие / А. И. Походун. –Спб.: СПбГу НТМО, 2006.26. Кононогов, С. А. Исследование измерительных и калибровочных возможностей средств измерений нанометрового диапазона / С. А. Кононогов [и др.] // Законодательная и прикладная метрология. – 2008.

− № 3. –С. 19 – 25.27. Тодуа, П. А. Метрология и стандартизация в нанотехнологиях и наноиндустрии / П. А. Тодуа // Измерительная техника. – 2008. − № 5. – С. 5– 7.29428. РМГ 43-2001. Применение «Руководства по выражению неопределенности измерений».29. Лукашов, Ю. Е. Место и роль поверки и калибровки / Ю. Е. Лукашов //Главный метролог. – 2006, 3 1 и № 2.30. Р РСК 002-06. Основные требования к методикам калибровки, применяемым в Российской системе калибровки. М. : 2006.31. ПР 50.2.006-94. ГСИ.

Порядок проведения поверки средств измерений.32. Данилова, М. А. Тест-объект с шириной 10 нм для растровой электронной микроскопии / М. А. Данилова [ и др.] // Измерительная техника. –2008. − № 8. – С. 20 – 23.33. Новиков, Ю. А, Классификация тест-объектов для калибровки растровых электронных микроскопов в нанометровом диапазоне / Ю. А.

Новиков [и др.] // Измерительная техника. – 2009. − № 2. – С. 23 – 25.34. Волк, Ч. П. Калибровка растрового электронного микроскопа по двумкоординатам с использованием одного аттестованного размера / Ч. П.Волк [и др.] // Измерительная техника. – 2008. − № 6. – С. 18 – 20.35. «Соглашение о взаимном признании результатов государственных испытаний и утверждения типа, метрологической аттестации, поверки икалибровки средств измерений, а также результатов аккредитации лабораторий, осуществляющих испытания, поверку и калибровку средствизмерений» (от 13 марта 1992 г.).36. ПМГ 06-2001 «Порядок признания результатов испытаний и утверждения типа, поверки, метрологической аттестации средств измерений».37. Раков, А.

И. Калибровка АСМ по трем координатам с использованиемодного аттестованного размера / А. И. Раков [и др.] // Измерительнаятехника. – 2008. − № 5. – С. 13 – 15.38. Миронов, В. Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии / В. Л.Миронов – Н. Новгород, ИФМ РАН. – 2004.39. Новиков, Ю. А. Нанотехнология и нанометрология / Ю. А. Новиков [идр.]. – М. : Труды ИОФ РАН – т. 62. – 2006.40. Лахов, В.

И. Метрологическое обеспечение, стандартизация и оценкасоответствия нанотехнологий / В. И. Лахов // «Компетентность». – 2008. −№ 2. – С. 1012.41. Тодуа, П. А. Метрологическое обеспечение измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазонах и их внедрение в микроэлектронику и нанотехнологию. Ч. 3 / П. А. Тодуа [и др.] // Микросистемная295техника.

– 2004. − № 3. – С. 25 – 32.42. Красовский, П. А. Проблемы метрологического обеспечения измеренияпараметров наночастиц в технологических средах / П. А. Красовский [идр.] // Измерительная техника. – 2009. − № 5. – С. 8 – 14.43. Кузин, А. Ю. Исследование характеристик кантилеверов АСМ / А. Ю.Кузин [и др.] // Измерительная техника.

– 2009. − № 7. – С. 17 – 19.44. Волк, Ч. П. Изображение тест-объекта ширины линий в РЭМ при разных энергиях электронов зонда / Ч. П. Волк [и др.] // Измерительнаятехника. – 2009. − № 7. – С. 20 – 22.Учебное изданиеСЕРГЕЕВ Алексей ГеоргиевичВВЕДЕНИЕ В НАНОМЕТРОЛОГИЮУчебное пособиеПодписано в печать 27.01.10.Формат 60х84/16. Усл.

печ. л. 17,2. Тираж 100 экзЗаказИздательствоВладимирского государственного университета600000, Владимир, ул. Горького, 87.296.