Отзыв официального оппонента 1 (Исследование взаимодействия низкотемпературной плазмы с неоднородной поверхностью электродов в газоразрядных приборах)

тока и теплового потока на катод из разряда, в результате чего происходит его ускоренный нагрев и более быстрый переход разряда в дуговую форму. В четвертоЙ главе йзучено влйяййе йзлйчйя поверхностного рельефа йа металлйческом катоде йа потоки бомбардирующих ~а~од чзстнп и интенсивность его распылейия в разряде. В пЯтОЙ главе исслеДОВЗИО влияние неравномерности толтнины диэлектрическоЙ пленки нВ катоде нз ее распьиение в тлеющем разряде.

В качестве йаибОлее викных мо)кнО Отмстить следующие результаты работы; разработана Мод~я~ катодйого слоя тлеющего разряда прй йзлйчйй йа катоде тойкОЙ диэлектрической плейкй, учитывающая, наряду с йоййо-электроййоЙ эмйссйей с поверхности катода, также эмиссию электронов из металлической подложки катода; - показано, что наличие пленки толщиной порядка 1О нм приводит к заметному снижению кзтОдного падения напряжения разряда и, соответственно, к уменьшению энергий бомбарлйрующих катод часпщ и снижению интенсивнОсти его распыления; построена нестзционзрная мОдель разряда у катода с 70нкОЙ ДиэлектрическоЙ пленкой, учитывающая нагрев катода и рабочего газа, которая„кроме ионйо-электронноЙ и полевой эмйссий электронов, учитывает также термическую электронную эмиссию„возникающую при нагреве катода до достаточйо высокоЙ температуры.

показано, что эффективный коэффипиент распыл еййя диэлектрической пленки прййймает минймзльйые зйачеййя на учао~~ах с ее найменьщей тОлщинОЙ, а поток распыленных атОмов с этих участков ймеет найбольщую велйчййу из-за больщей плотйостй бомбардирующего их ионного потока, что долюю приводить к ,'увеличению неравномерности тОлщины пленки в пропессе ее распыления, Полученные В диссертации результаты находятся В хорошем соответствйи с ймекэШимися в йзучной литературе данными экспериментальных исследований, что дает основание сделать вывод об йх достоверйости. Диссертация аккуратно ОфОрмл сна, ВВто реферат правильно ОтраЖЗЕТ Ее СОДЕрЖЗНйЕ.

ПО диссертации мОжнО сделать следунэщие замечания: 1. В 1лзве 3 при расчете теплОВОГО режима катОДВ В тлеюШем рВзрЯДе считается, чтО температура ВО Всем еГО Объеме имеет Одинаковую Величину, чтО может быть справедлиВО лишь при достатОчнО малых размерах электрода. Одйако Оцейка прйменймостй Такого допуШенйя НЕ ПРИВОДИТСЯ. 2. В главах 2 и 3 при расчете вольт-амперйой характеристики разряда Величина кОэффициента ионно-электроннОЙ эмиссии катода считается постоянной, з В Главе 5 учитывается его эавйснмость от приведенной напряженности электрического поля у поверхности катода.

При этом объяснение этого в диссертации отсутствует. 3. В диссертации приведены результаты расчетов телль~~ для случая ~атод~ с пленкОЙ Оксйдз бзрйя йа поверхйостй. Но в Гзэорзэ1эядйых приборах в ~а~~~~~е эмйссйоййого Вешества использувэтся также Оксиды друГих металлОВ, например, алюминия и мзГния. ПОэтому былО бы полезным провести расчеты и для кзтОдОВ с пленками ОксидОВ этих металлОВ и сравнить полученные результат. Одйако этй замечзййя йе йзменявэт сугцественно ОбШувэ 2. Она Является эаконченной научно-каалификапионнОЙ работОЙ, в котороЙ на основе проведенных авторо~и исследований решена акт'/альная на~чная и практическая задача исследования влияния наличия тОнких диэлектрических пленОк и рельефа на пОверхнОсти Хат~да на его вэаигяодейстаие с гаэораэряднОЙ плаэмОЙ; по Степени актуалвности, новиэны, а Также на~"чнОЙ и Пра~~~Ч~~К~Й эначимости полтченных реэ~лвтатов, диссертаннЯ соответствтет требованнЯ~~ «Положения о прнс~ждении ученых степенейа, предъявляемы~ к лиссертапиям нй соискание ученОЙ степени кандидата ФизикО- математических на~'к; 3.

автор диссертации заслуживает пристждения степени кандидата фиэико-гиатейатических наук по спепиалвности 01.04.07 — фиэика конденсированнОго состояния. Официальный оппонент профессор кафедры электронных приборов Федерального государственного бюджетного обраэователвного тчреждения высшего профессионалвного ОбраэоааниЯ «РЯэанский гос~дарственный радиотехнический ~ниаерснтетя, дОктор Фиэико-математических на~к, прОфессОр .