титул-и-техпроцесс (Проектирование кремниевого резонатора с пьезовозбуждением)

ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ОБРАЗОВАНИЮ

РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

«МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ИНСТИТУТ

РАДИОТЕХНИКИ, ЭЛЕКТРОНИКИ И АВТОМАТИКИ

(ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)»

Кафедра конструирования и производства радиоэлектронных средств (КПРЭС)

Учебная дисциплина

«Физико-химические основы технологии РЭС»

Курсовой проект

на тему «Проектирование кремниевого резонатора с пьезовозбуждением».

Выполнил: Катков Л.В.

Группа: ВК-1-04

Факультет: ВРТ

Специальность: 210201

Преподаватель: Куренков В.В.

Москва 2007

в самом конце надо вставить это:

Технологический процесс изготовления (без перечня операций)

1. Исходные материалы:

- Пластины кремния КЭФ-0,5

- Толщина: 500 мкм

- Диаметр: 150 мм

- Ориентация пластины (100)

- Ориентация направления <110>

- Допуск к плоскостности: 1 мкм

- Допуск к параллельности: 1 мкм

- Шероховатость поверхностей: Ra = 0,05

2. Двустороннее совмещение фотошаблонов 1 и 2

3. Нанесение фоторезиста на обе стороны пластины

4. Экспонирование

5. Проявление

6. Травление SiO₂

7. Снятие фоторезиста

8. Травление диафрагмы на глубину (H-h) в 30 % растворе KOH при
t = 130 ºC

9. Травление сквозных пазов

10. Нанесение пьезопленки ZnO

11. Фотолитография пьезопленки по фотошаблону №3

12. Металлизация (Al, 1 мкм)

13. Фотолитография по металлизации по фотошаблону №4

14. Скрайбирование пластины

15. Посадка кристаллов на основание

16. Ультразвуковая сварка контактных площадок с выводами основания

17. Контроль центральной частоты резонатора

18. Герметизация

19. Маркировка

20. Упаковка