Domashnee_zadanie_Proektsia (Условие домашнего задания)
Описание файла
Файл "Domashnee_zadanie_Proektsia" внутри архива находится в папке "Условие домашнего задания". Документ из архива "Условие домашнего задания", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 6 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "Domashnee_zadanie_Proektsia"
Текст из документа "Domashnee_zadanie_Proektsia"
Домашнее задание
Расчет распределения интенсивности экспонирующего излучения
в плоскости изображения (на поверхности фоторезиста)
Проекционная фотолитография
В проекционной системе фотошаблон представляет собой решетку с периодом Р и шириной прозрачной полосы W. Излучение имеет длину волны , объектив - числовую апертуру А. Интенсивность I излучения на шаблоне распределена равномерно.
Рассчитать распределение интенсивности в плоскости изображения. Оценить возможность проведения фотолитографии при заданных параметрах.
Структура домашнего задания
-
Заданные условия
-
Краткое описание последовательности выполняемых этапов.
-
Математическое обеспечение основных этапов
-
Программное обеспечение
-
Графики
-
Входного распределения интенсивности (на объекте)
-
Представления входного распределения Фурье-разложением
-
Фурье-разложения после объектива
-
Суммарный профиль распределения интенсивности в плоскости изображения
-
Оценить контраст полученного изображения и сравнить с допускаемым в промышленном производстве
Выводы
Примечания.
Фурье-разложение провести в тригонометрическом и комплексном видах, сравнить результаты.
Представить исходное распределение в виде Фурье-разложения, используя для этого как минимум 3 первые гармоники.
Выходное распределение представить в виде набора гармоник и их суммы. Определить контраст получаемого изображения и сравнить его с рекомендуемым для практической фотолитографии.
В разделе математическое обеспечение:
-
Выбрать формулу для оценки контраста формируемого изображения. Математически показать, что именно эта формула соответствует оптическому параметру «модуляция».