Анизотропное травление П (Готовые ДЗ по анизотропному травлению), страница 3
Описание файла
Файл "Анизотропное травление П" внутри архива находится в папке "Готовые ДЗ по анизотропному травлению". Документ из архива "Готовые ДЗ по анизотропному травлению", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 6 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "Анизотропное травление П"
Текст 3 страницы из документа "Анизотропное травление П"
Возьмем две точки на графике с координатами:
А(20;1,5)
В(100;208)
После преобразования получим |
| ||
|
|
|
|
(1/T1)*10^-3 | ln(R1) | (1/T2)*10^-3 | ln(R2) |
3,412969283 | 0,405465108 | 2,680965147 | 5,33753808 |
Рассчитаем Еа и А :
Ea | A |
9,29812E-20 | 1,46E+10 |
Найдем значение R(40C), зная R(60C) |
|
|
|
|
| |||||||
|
|
|
|
|
|
|
| |||||
|
| R(60) табл. | 1/T1 | 1/T2 | R(40C) |
| R(40C) табл. | |||||
|
| 24,582 | 0,003193358 | 0,003001651 | 6,755372 |
| 6,574 |
| Сравнение результатов |
|
|
|
Погрешность | Ea(способ№1) | Ea(способ№2) | A(способ№1) | A(способ№2) |
10% | 9,59417E-20 | 9,46602E-20 | 2,46E+10 | 2,04E+10 |
15% | 9,64565E-20 | 9,41233E-20 | 3,11E+10 | 1,79E+10 |
20% | 9,46542E-20 | 9,29812E-20 | 2,15E+10 | 1,46E+10 |