Анизотропное травление П (Готовые ДЗ по анизотропному травлению), страница 2
Описание файла
Файл "Анизотропное травление П" внутри архива находится в папке "Готовые ДЗ по анизотропному травлению". Документ из архива "Готовые ДЗ по анизотропному травлению", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 6 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "Анизотропное травление П"
Текст 2 страницы из документа "Анизотропное травление П"
Получили следующую зависимость:
a= -6989,6
Ea= 9,64565E-20 
b=24,162
A= 3,11E+10 
используя 
получим Rрасч.
|
|
|
| погрешность до 15% |
|
|
|
|
| Темп. С | Темп. К | 1/T | R (30) | Случайные числа | R | In( R) | R расч. |
| 20 | 293,15 | 0,003411223 | 1,44 | -0,09 | 1,35 | 0,300105 | 1,38 |
| 30 | 303,15 | 0,003298697 | 3,1 | -0,14 | 2,96 | 1,085189 | 3,02 |
| 40 | 313,15 | 0,003193358 | 6,5 | 0,03 | 6,53 | 1,876407 | 6,31 |
| 50 | 323,15 | 0,003094538 | 12,8 | -0,15 | 12,65 | 2,537657 | 12,58 |
| 60 | 333,15 | 0,003001651 | 24,4 | 0,03 | 24,43 | 3,195812 | 24,09 |
| 70 | 343,15 | 0,002914177 | 45 | -0,13 | 44,87 | 3,803769 | 44,39 |
| 80 | 353,15 | 0,002831658 | 79 | -0,04 | 78,96 | 4,368941 | 79,03 |
| 90 | 363,15 | 0,002753683 | 135 | -0,14 | 134,86 | 4,904237 | 136,30 |
| 100 | 373,15 | 0,002679887 | 225 | -0,02 | 224,98 | 5,416012 | 228,30 |
Способ №2
Строим график зависимости скорости травления от температуры
Возьмем две точки на графике с координатами:
А(30;3)
В(100;205)
После преобразования получим:
| (1/T1)*10^-3 | ln(R1) | (1/T2)*10^-3 | ln(R2) |
| 3,30033 | 1,098612289 | 2,680965147 | 5,323009979 |
| Ea | A |
| 9,41233E-20 | 1,79E+10 |
| Найдем значение R(40C), зная R(60C) |
|
|
|
|
| |||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
| |||||
|
|
| R(60) табл. | 1/T1 | 1/T2 | R(40C) |
| R(40C) табл. | |||||
|
|
| 24,43 | 0,003193358 | 0,003001651 | 6,60792 |
| 6,53 | |||||
Погрешности 20%
1 Способ
| таблица с погрешностями до 20% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| T, C | 20 | 30 | 40 | 50 | 60 | 70 | 80 | 90 | 100 |
| KOH, % |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 10 | 1,636 | 3,16 | 6,884 | 13,11 | 25,48 | 46,094 | 82,06 | 139,852 | 233,082 |
| 15 | 1,448 | 3,318 | 7,164 | 13,828 | 26,566 | 48,848 | 86,164 | 147,196 | 245,01 |
| 20 | 1,758 | 3,316 | 7,228 | 14,128 | 26,632 | 48,888 | 86,152 | 147,816 | 245,954 |
| 25 | 1,44 | 3,244 | 6,892 | 13,662 | 25,778 | 46,82 | 84,098 | 144,14 | 238,974 |
| 30 | 1,546 | 3,086 | 6,574 | 12,728 | 24,582 | 45,136 | 79 | 135,052 | 224,854 |
| 35 | 1,434 | 2,77 | 5,858 | 11,628 | 22,306 | 40,91 | 72,132 | 123,822 | 206,014 |
| 40 | 1,326 | 2,522 | 5,344 | 10,308 | 19,918 | 36,094 | 64,048 | 109,838 | 183,954 |
| 45 | 1,196 | 2,282 | 4,656 | 8,93 | 17,008 | 31,17 | 54,934 | 95,144 | 157,944 |
| 50 | 0,658 | 1,702 | 3,94 | 7,508 | 14,198 | 25,982 | 46,068 | 78,85 | 130,884 |
| 55 | 0,588 | 1,234 | 2,912 | 5,948 | 11,32 | 21,04 | 36,194 | 61,924 | 103,91 |
| 60 | 0,55 | 1,03 | 2,36 | 4,476 | 8,28 | 15,176 | 27,018 | 47,08 | 77,922 |
Строим график зависимости ln(R )=f(1/T)
Получили следующую зависимость:
a= -6859
Ea= 9,46542E-20
b=23,79
A= 2,15E+10
используя получим Rрасч.
|
|
|
| погрешность до 20% |
|
|
|
|
| Темп. С | Темп. К | 1/T | R (30) | Случайные числа | R | In( R) | R расч. |
| 20 | 293,15 | 0,003411223 | 1,44 | 0,11 | 1,55 | 0,435671 | 1,48 |
| 30 | 303,15 | 0,003298697 | 3,1 | -0,01 | 3,09 | 1,126876 | 3,20 |
| 40 | 313,15 | 0,003193358 | 6,5 | 0,07 | 6,57 | 1,883122 | 6,60 |
| 50 | 323,15 | 0,003094538 | 12,8 | -0,07 | 12,73 | 2,543804 | 12,99 |
| 60 | 333,15 | 0,003001651 | 24,4 | 0,18 | 24,58 | 3,202014 | 24,57 |
| 70 | 343,15 | 0,002914177 | 45 | 0,14 | 45,14 | 3,80968 | 44,78 |
| 80 | 353,15 | 0,002831658 | 79 | 0,00 | 79,00 | 4,369448 | 78,86 |
| 90 | 363,15 | 0,002753683 | 135 | 0,05 | 135,05 | 4,90566 | 134,62 |
| 100 | 373,15 | 0,002679887 | 225 | -0,15 | 224,85 | 5,415451 | 223,33 |
Способ №2
Строим график зависимости скорости травления от температуры
