Анизотропное травление П (Готовые ДЗ по анизотропному травлению)
Описание файла
Файл "Анизотропное травление П" внутри архива находится в папке "Готовые ДЗ по анизотропному травлению". Документ из архива "Готовые ДЗ по анизотропному травлению", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" из 6 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "технология и оборудование микро и наноэлектроники" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "Анизотропное травление П"
Текст из документа "Анизотропное травление П"
Анизотропное травление
Вывод формул
1)
2)
Погрешности 10%
1 способ
| таблица с погрешностями до 10% |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| T, C | 20 | 30 | 40 | 50 | 60 | 70 | 80 | 90 | 100 |
| KOH, % |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 10 | 1,43 | 3,24 | 6,72 | 13,20 | 25,51 | 46,04 | 82,00 | 140,00 | 233,05 |
| 15 | 1,54 | 3,39 | 7,02 | 14,03 | 26,42 | 49,06 | 86,04 | 146,96 | 245,08 |
| 20 | 1,66 | 3,44 | 7,16 | 14,08 | 26,77 | 49,05 | 86,09 | 147,94 | 246,02 |
| 25 | 1,47 | 3,30 | 6,96 | 13,57 | 25,83 | 46,97 | 84,06 | 144,09 | 238,94 |
| 30 | 1,39 | 3,15 | 6,57 | 12,82 | 24,41 | 45,01 | 78,93 | 134,98 | 225,09 |
| 35 | 1,40 | 2,97 | 5,99 | 11,85 | 22,39 | 41,00 | 71,99 | 123,91 | 205,94 |
| 40 | 1,13 | 2,48 | 5,15 | 10,47 | 19,81 | 36,02 | 63,94 | 109,98 | 183,97 |
| 45 | 1,03 | 2,16 | 4,62 | 8,96 | 17,05 | 30,98 | 55,07 | 95,03 | 158,03 |
| 50 | 0,88 | 1,83 | 3,86 | 7,43 | 14,23 | 26,00 | 46,02 | 78,90 | 131,00 |
| 55 | 0,63 | 1,32 | 2,92 | 5,98 | 11,17 | 21,04 | 35,92 | 62,08 | 103,93 |
| 60 | 0,46 | 1,16 | 2,19 | 4,48 | 8,48 | 15,06 | 27,05 | 46,93 | 77,93 |
Строим график зависимости ln(R )=f(1/T)
Получили следующую зависимость:
a= -6927,6
Ea=9,59417E-20 
b=23,998
A=2,46E+10 
используя 
получим Rрасч.
|
|
|
| погрешность до 10% |
|
|
|
|
| Темп. С | Темп. К | 1/T | R (30) | Случайные числа | R | In( R) | R расч. |
| 20 | 293,15 | 0,003411223 | 1,44 | -0,02 | 1,42 | 0,347836 | 1,33 |
| 30 | 303,15 | 0,003298697 | 3,1 | 0,00 | 3,10 | 1,1307567 | 2,90 |
| 40 | 313,15 | 0,003193358 | 6,5 | -0,08 | 6,43 | 1,8601966 | 6,03 |
| 50 | 323,15 | 0,003094538 | 12,8 | -0,04 | 12,76 | 2,5463153 | 11,99 |
| 60 | 333,15 | 0,003001651 | 24,4 | 0,08 | 24,48 | 3,1978565 | 22,87 |
| 70 | 343,15 | 0,002914177 | 45 | -0,10 | 44,90 | 3,8044378 | 42,00 |
| 80 | 353,15 | 0,002831658 | 79 | 0,04 | 79,04 | 4,3700047 | 74,55 |
| 90 | 363,15 | 0,002753683 | 135 | 0,09 | 135,09 | 4,9059042 | 128,20 |
| 100 | 373,15 | 0,002679887 | 225 | -0,08 | 224,92 | 5,4157403 | 214,14 |
Способ №2
Строим график зависимости скорости травления от температуры
Возьмем две точки на графике с координатами:
А(30;3)
В(100;210)
| После преобразования получим | ||||
| (1/T1)*10^-3 | ln(R1) | (1/T2)*10^-3 | ln(R2) | |
| 3,300330033 | 1,098612289 | 2,680965147 | 5,347107531 | |
| Рассчитываем Ea и A по формулам |
| Ea | A |
| 9,46602E-20 | 2,04E+10 |
| Найдем значение R(40C), зная R(60C) |
|
|
|
|
| ||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| R(60) табл. | 1/T1 | 1/T2 | R(40C) |
| R(40C) табл. |
|
|
| 24,48 | 0,003193358 | 0,0030017 | 6,5722402 |
| 6,425 |
Погрешности 15%
1 способ
| таблица с погрешностями до 15% |
|
|
|
|
|
|
|
|
| |
| T, C | 20 | 30 | 40 | 50 | 60 | 70 | 80 | 90 | 100 | |
| KOH, % |
|
|
|
|
|
|
|
|
| |
| 10 | 1,34 | 3,23 | 6,79 | 13,26 | 25,53 | 45,93 | 81,93 | 139,89 | 233,15 | |
| 15 | 1,6 | 3,47 | 7,15 | 13,97 | 26,35 | 49,02 | 85,89 | 146,87 | 245,02 | |
| 20 | 1,6 | 3,47 | 7,19 | 13,9 | 26,65 | 48,86 | 86,11 | 147,98 | 246,06 | |
| 25 | 1,59 | 3,45 | 6,8 | 13,72 | 25,83 | 46,97 | 84 | 144,04 | 239 | |
| 30 | 1,35 | 2,96 | 6,53 | 12,65 | 24,43 | 44,87 | 78,96 | 134,86 | 224,98 | |
| 35 | 1,2 | 2,79 | 5,85 | 11,83 | 22,38 | 41,05 | 71,86 | 124,14 | 205,99 | |
| 40 | 1,24 | 2,61 | 5,16 | 10,49 | 19,96 | 35,86 | 64,05 | 110,05 | 184,02 | |
| 45 | 1,07 | 2,23 | 4,67 | 9,11 | 17,19 | 31,08 | 54,92 | 95,09 | 157,9 | |
| 50 | 0,9 | 1,7 | 3,75 | 7,44 | 14,14 | 25,9 | 46 | 78,94 | 130,94 | |
| 55 | 0,66 | 1,37 | 2,87 | 6,03 | 11,1 | 21,15 | 36,08 | 61,94 | 104,04 | |
| 60 | 0,44 | 1,16 | 2,22 | 4,5 | 8,52 | 15 | 27,02 | 47,09 | 78,13 | |
| Строим график зависимости ln(R )=f(1/T) | ||||||||||
