Раздел 3_4-УменьшПогр (Лекции ОПиЭНТО)
Описание файла
Файл "Раздел 3_4-УменьшПогр" внутри архива находится в следующих папках: Лекции ОПиЭНТО, 4-Электромеханический привод. Документ из архива "Лекции ОПиЭНТО", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "основы проектирования и эксплуатации нанотехнологического оборудования" из 6 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "лекции и семинары", в предмете "основы проектирования и эксплуатации нанотехнологического оборудования" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "Раздел 3_4-УменьшПогр"
Текст из документа "Раздел 3_4-УменьшПогр"
СПОСОБЫ ПОВЫШЕНИЯ КИНЕМАТИЧЕСКОЙ ТОЧНОСТИ ПРИВОДА
Основными способами повышения кинематической точности являются:
-
Повышение точности изготовления и сборки элементов привода. Достигается за счёт применения в техпроцессе более точного оборудования, что сопряжено со значительными материальными затратами.
-
Размещение звеньев кинематической цепи по степеням редукции. Зубчатые пары с наименьшим передаточным отношением i необходимо размещать ближе к ведомому звену. Наименее точные передачи – ближе к ведущему звену (по этой причине звенья настройки следует размещать в начале кинематической цепи).
-
И спользовать корректирующие устройства. На рисунке приведёна схема механизма, корректирующего погрешность шага ходового винта установки «Алмаз-М» для скрайбирования полупроводниковых пластин.
Рис.1. Корректирующий механизм
1 – столик; 2 – ходовой винт; 3 – гайка; 4 – рычаг; 5 – ролик; 6 – корректирующая линейка.
Корректирующая линейка 4 изготавливается для конкретного ходового винта и учитывает его погрешности изготовления.
Измерение погрешностей ходового винта может осуществляться либо оптическим способом (рис.2), либо механическим или электромеханическим (рис.3).
Рис.2. Оптический способ
1 – микроскоп; 2 – шкала; 3 – каретка; 4 – прецизионные гайки; 5 – исследуемый ходовой винт.
Рис.3. Электромеханический способ
1 – исследуемый ходовой винт; 2 – эталонный ходовой винт; 3 и 4 – прецизионные гайки; 5 – наконечник измерителя; 6 – измеритель