реферат (Зондовые методы нанолитографии), страница 2

С использованием динамической силовой литографии (наночеканки) модификация поверхности происходит за счет формирования углублений на поверхности образца колеблющимся зондом (рис. 6), при этом используется прерывисто-контактный метод сканирования. Такой метод нанолитографии свободен от торсионных искажений и позволяет производить визуализацию сформированного рисунка без серьезного воздействия на поверхность подложки или резиста. Кратковременное «укалывание» поверхности также защищает зонд от быстрого разрушения.

Динамическая литография может производиться с использованием векторного (рис. 6а) или растрового (рис. 6б) сканирования. Векторная литография осуществляется по заранее заданному рисунку, ее преимущество заключается в относительно большой скорости, однако она не позволяет варьировать силу воздействия на подложку в процессе литографии. Растровая литография осуществляется более медленно, поскольку при ее проведение сканирование осуществляется по всей площади участка подложки, на которой формируется рисунок, однако она позволяет осуществлять различное (в зависимости от рисунка шаблона) по силе воздействие зонда на подложку.

В получении хороших результатов в растровой литографии с использованием наночеканки большую роль играет предварительная подготовка графического изображения-шаблона. Белому цвету на изображении соответствует отсутствие воздействия на образец, черному цвету – воздействие с максимальной силой. При подготовке изображения наиболее важные детали необходимо окрашивать в черный цвет таким образом, чтобы области черного цвета были достаточно большими и не чередовались с малыми белыми участками, а фон и ненужные детали, как правило, заливаются белым цветом. Также иногда бывает полезно повысить контрастность изображения.

4. Выводы.

Использование возможностей сканирующего зондового микроскопа лежит в основе сканирующей зондовой литографии (СЗЛ). Такая литография имеет ряд преимуществ по сравнению c другими методами литографии. Одно из них относительная дешевизна и доступность этого метода, что является немаловажным фактором, особенно на начальном этапе поисковых исследований. При этом с помощью сканирующей зондовой литографии можно получать структуры с размерами всего в десятки нанометров, т.е. такого

же порядка, как и структуры, создаваемые, например, методами электронно-лучевой литографии. Другое достоинство сканирующей зондовой литографии – это возможность во многих случаях с помощью того же сканирующего зондового микроскопа, что использовался для нанолитографии, получать информацию о морфологии, магнитных

и электрических свойствах сформированной структуры. Одной из актуальных задач нанолитографии является создание на диэлектрической подложке структур в виде металлической ферромагнитной нанопроволоки, соединяющей две микроконтактные площадки. Кроме изучения свойств такого низкоразмерного объекта (магнитосопротивление, удельное сопротивление, распределение доменов), интерес представляет использование нанопроволок для получения в них непроводящей щели шириной от одного до нескольких нанометров. Подобная структура может применяться для изучения эффектов прохождения спинполяризованного тока через наночастицу или отдельную молекулу, осажденную в такую нанощель.

Список используемой литературы.

1. https://ru.wikipedia.org

2. http://www.ntmdt.ru

3. http://www.nanoscopy.org

4. Е. Г. Дедкова, А.А. Чуприк "Приборы и методы зондовой микроскопии", Москва 2011г.

5. В.Л. Миронов " Основы сканирующей зондовой микроскопии",Российская академия наук, институт физики микроструктур, г. Нижний Новгород, 2004г.

8