2-Рекомендуемая литература (Лекции РиК)
Описание файла
Файл "2-Рекомендуемая литература" внутри архива находится в следующих папках: Лекции РиК, Глава-3. Документ из архива "Лекции РиК", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "проектирование нанотехнологического оборудования (пнто) (мт-11)" из 9 семестр (1 семестр магистратуры), которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "лекции и семинары", в предмете "проектирование нанотехнологического оборудования (пнто) (мт-11)" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "2-Рекомендуемая литература"
Текст из документа "2-Рекомендуемая литература"
Рекомендуемая литература:
-
Антонов В.А. Технология производства электровакуумных и полупроводниковых приборов. 1979.
-
Панфилов Ю.В., Цветков Ю.Б., Рябов В.Т. Оборудование производства интегральных схем и промышленные роботы. Учебник для техникумов. 1988
-
Технология, оборудование и системы управления в электронном машиностроении. Энциклопедия «Машиностроение», том III-8. 2000
-
Готра Э.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. 1991
-
Егоров О.Д., Подураев Ю.В. Конструирование мехатронных модулей. Учебник. 2005
-
Наземцев А.С. Гидравлические и пневматические системы. Часть 1: Пневматические приводы и средства автоматизации. Уч.пособие. 2004
-
Попов Д.Н. Механика гидро- и пневмоприводов. 2002