Doklad (ДЗ №4 - Разработка конструкции планетарного подложкодержателя для плоских подложек)
Описание файла
Файл "Doklad" внутри архива находится в папке "ДЗ №4 - Разработка конструкции планетарного подложкодержателя для плоских подложек". Документ из архива "ДЗ №4 - Разработка конструкции планетарного подложкодержателя для плоских подложек", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "проектирование нанотехнологического оборудования (пнто) (мт-11)" из 9 семестр (1 семестр магистратуры), которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "курсовые/домашние работы", в предмете "проектирование нанотехнологического оборудования (пнто) (мт-11)" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "Doklad"
Текст из документа "Doklad"
Доклад
1 слайд – Темой нашего домашнего задания является «Разработка конструкции планетарногоподложкодержателя для плоских подложек»
2 слайд – В качестве исходных данных для выполнения задания были сформированы технические требования к конструкции, а именно: и перечисляем все, что на слайде
3 слайд – Для выбора наиболее подходящей конструкции необходимо было провести анализ разных подложкодержателей. Поэтому были рассмотрены 3 варианта конструкций. Первый вариант осуществляет планетарное движение подложки посредствам перекатывания подложкодержателя с помощью ролика по рельсам. Вторая конструкция в своем составе уже имеет зубчатое зацепление, тихоходная часть которого неподвижна. Поэтому при вращении вала быстроходные колеса вращаются вокруг тихоходного. Третья конструкция довольна схожа со второй, но в ее основе уже зацепление ролика на направляющей. Также в этом варианте предусмотрено колено, которое позволяет менять угол наклона подложек, что естественно вносит вклад в повышение равномерности нанесения покрытий.
Была составлена сравнительная таблица, представляющая собой балльную систему оценки каждой конструкции по определенному параметру. В результате был выбран вариант №3, набравший наибольший балл.
4слайд – На основе составленной кинематической схемы подложкодержателя был разработан его сборочный чертеж. Видно, что зацепление осуществлено фрикционной передачей, что предупреждает заклинивания. Также особенностями конструкции являются колено, позволяющее менять угол наклона подложки и конструкция самого подложкодержателя, которая может подстроиться под любой тип и размер плоской подложки.
5 слайд – Согласно техническому требованию по неравномерности нанесения был рассчитан оптимальный угол, при котором неравномерность составляет 2%. Данный расчет был сделан, опираясь на закон Кнудсена, в результате чего рассчитанный угол составил 15 гр.
6 слайд – По результатам проведенной работы можно отметить, что был проведен анализ разных вариантов конструкций и выбрана наиболее подходящая. Для выбранного подложкодержателя был сделан сборочный чертеж, конструкция которого разрабатывалась в соответствии с правилами технологичности. Был проведен расчет угла наклона подложкодержателя, который составил 15 гр. Рассчитан двигатель, подходящий для конструкции, и выбран сервомотор AMP-S.
7 слайд – У нас все. Спасибо за внимание.