Titul&vved&soderz (Магнетронные распылительные системы)
Описание файла
Документ из архива "Магнетронные распылительные системы", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "физика" из , которые можно найти в файловом архиве . Не смотря на прямую связь этого архива с , его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "рефераты, доклады и презентации", в предмете "физика" в общих файлах.
Онлайн просмотр документа "Titul&vved&soderz"
Текст из документа "Titul&vved&soderz"
Министерство образования Российской Федерации
Томский Политехнический Университет
кафедра английского языка
и технического перевода
Магнетронные распылительные системы
выполнил: В.В. Жуков,
аспирант, НИИ ЯФ, Лаб. 23.
Научный руководитель: В.П. Кривобоков,
профессор, заведующий Лаб. 23, НИИ ЯФ.
Томск 2001 год.
1 Введение
Целью настоящей работы является обзор конструктивных элементов магнетронных распылительных систем (МРС), а также рассмотрение принципа их действия и физических параметров.
Дело в том, что еще сравнительно недавно основным методом нанесения тонкопленочных покрытий были испарение и конденсация вещества в высоком вакууме. Методы ионного распыления материалов в следствие низких скоростей осаждения и высоких радиационных воздействий на обрабатываемые структуры использовались ограниченно. Появившиеся сравнительно недавно магнетронные распылительные системы, позволяющие наносить как тонкопленочные, так и пленочные покрытия в сотни микрон, позволили существенно расширить область применения ионного распыления материалов.
В последние годы в нашей стране и за рубежом проведены научные исследования и конструкторско-технологические разработки по созданию широкого класса МРС, а также установок и линий (в том числе непрерывного действия). Подобного рода установки нашли применение во многих областях науки и техники. А целесообразность и эффективность их использования доказана значительно возросшим интересом к разработке и внедрению все новых более совершенных систем.
В настоящей работе на основе литературных источников сделан обзор конструкций магнетронных распылительных систем, их составных частей, кратко рассмотрены основные параметры и физические принципы работы.
Содержание
1 Введение
2 Принцип действия и рабочие параметры МРС
3 Конструкции магнетронных распылительных систем
4 Заключение
5 Conclusion
Список использованных источников