122629 (Изготовление кристаллов), страница 2

В случае боя стеклянной оснастки собрать крупные осколки сухой салфеткой, а мелкие влажной и выбросить в урну.

1.9 При возникновении аварийной ситуации немедленно отключить технологический блок тумблером, расположенным на нижней панели управления, поставив его в положение ОТКЛ, затем вызвать наладчика, сообщить мастеру.

Подготовка рабочего места и организация трудового процесса.

2.1 Убедитесь по записи в журнале, что производственная гигиена рабочего места и участка соответствует 17.25101.00002.

2.2 Убедиться по журналу готовности оборудования, что установка химической обработки пластин и установка контроля проверены и подготовлены к работе наладчиком.

Без подписи наладчика к работе не приступать, сообщить мастеру.

2.3 Надеть перед началом работы вне рабочей зоны полиэтиленовые нарукавники и резиновые перчатки.

Промыть руки в перчатках деионизованной водой и осушить салфеткой.

2.4 Проводить ежедневно в начале смены протирку влажной салфеткой из мадаполама внешних поверхностей установки и решетки вытяжки слива.

На лицевой панели установки должна быть надпись, указывающая назначение операции и наименование используемого раствора.

2.5 Промыть рабочие ванны и находящиеся в них нагреватели, решетки и крышки деионизированной водой из шланга.

2.6 Слить воду из рабочих ванн, открыв вентили слива. Убедиться в том, что вода полностью удалена из ванн.

2.7 Контролировать расход вод деионизированной по ротаметру, он должен составлять (41) л/мин на одну установку.

2.8 Приготовить смесь серной кислоты перекиси водорода в двух рабочих ваннах установки.

2.8.1 Налить на дно первой ванны 25-50 мл перекиси водорода, открыв кран на передней панели установки с надписью перекись водорода на 1-2 с. Закрыть кран.

2.8.2 Налить в первую ванну 6 л серной кислоты, открыв кран на передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней отметки на стенки ванны. Закрыть кран.

2.8.3 Налить во вторую ванну 1.8 л перекиси водорода, открыв кран на передней панели установки с надписью перекись водорода, до нижней отметки на стенке ванны. Закрыть кран.

2.8.4 Налить во вторую ванну 4.2 л серной кислоты, открыв кран на передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней отметки на стенки ванны. Закрыть кран.

2.8.5 Перемешать приготовленную смесь Каро с помощью стеклянной палочки. Закрыть ванны крышками.

2.8.6 Выставить на реле времени время обработки в первой рабочей ванне (с серной кислотой) 5 минут, во второй рабочей ванне (со смесью Каро) 3 минуты.

2.9 Заполнить промежуточную ванну деионизованной водой, открыв кран.

2.10 Проверить термометром температуру горячей деионизованной воды в промежуточной ванне. Она должна быть (655)⁰С.

Если горячая вода в ванне не соответствует указанной температуре, работу остановить, сообщить неполадку.

2.11 Получить в кассете пластины, предназначенные для данной операции. Убедиться по сопроводительному листу, что полученные пластины предназначены для данной операции и что проведены предыдущие операции.

2.12 При измерении объемов жидких материалов допустимое отклонение обеспечивается имеющимися средствами измерения.

Технологический процесс.

3.1 Включить нагреватель ванн соответствующими тумблерами автомата НАГРЕВАТЕЛЬ, поставив тумблеры в верхнее положение, при этом должны загореться сигнальные лампочки.

3.2 Нагреть серную кислоту (в первой ванне) и смесь Каро (во второй ванне) до температуры (15010)⁰С.

При достижении технологической температуры загорается сигнальная лампочка регулятора температуры.

3.3 Открыть крышки ванн.

3.4 Убедиться с помощью термометра, что температура нагретой серной кислоты и смеси Каро соответствуют заданной.

В случае несоответствия температур по регулятору и термометру на величину, превышающую 10⁰С, вызвать наладчика для устранения несоответствия.

Разрешается начинать обработку пластин при температуре 120⁰С.

3.5 Опустить кассету с пластинами с помощью ручки в ванну с нагретой серной кислотой.

Погружение кассет с пластинами проводить медленно. При возникновении бурной реакции при растворении фоторезиста поднять кассету. Следить за тем, чтобы пластины в процессе погружения остались в пазах кассеты.

3.6 Включить реле времени первой рабочей ванны.

3.7 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из первой ванны при загорании красной сигнальной лампочки.

В одной порции серной кислоты обрабатывать не более 1500 пластин.

При обработке пластин в первой рабочей ванне в серной кислоте после обработки каждых 250 пластин доливать серную кислоту 150-200 мл до уровня верхней отметки на стенке ванны.

3.8 Переставить кассету с пластинами во вторую рабочую ванну со смесью Каро.

3.9 Включить реле времени второй рабочей ванны.

3.10 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из второй ванны при загорании красной сигнальной лампочки.

В одной порции смеси Каро обрабатывать не более 300 пластин.

После обработки 100 пластин осторожно доливать в ванну со смесью Каро (20050) мл перекиси водорода. Следующую доливку делать после обработки каждых 50 пластин.

3.11 Выдержать пластины в кассете в рабочем объеме в течении 1-2 минут.

3.12 Поместить кассету с пластинами в ванну с горячей деионизованной водой.

3.13 Промыть пластины в ванне с горячей деионизованной водой в течении 1-2 минут.

3.14 Перенести кассету с пластинами из промежуточной ванны в ванну каскадной промывки.

3.15 Проводить отмывку пластин в деионизованной воде в первой и во второй ваннах каскада в течении 2-3 минут в каждой ванне. В третьей ванне каскада выдержать до снижения сопротивления сливной воды 3 Момсм по прибору контроля сопротивления деионизованной воды.

3.16 Перенести кассету с пластинами на сушку пластин по ТВО 734 618 ТАК КАК по окончании отмывки пластин.

3.17 Передать обработанные пластины в кассете на следующую операцию, заполнив сопроводительный лист.

3.18 Отключить по окончании работы нагреватели ванн, поставив тумблер блока управления НАГРЕВАТЕЛЬ в нижнее положение.

3.19 Слить серную кислоту и смесь Каро из рабочих ванн, открыв кран слива и предварительно охладив их до (80-50) ⁰С.

Перед сливом серной кислоты добавить в ванну 200 мл перекиси водорода.

3.20 Промыть рабочие ванны, находящиеся в них решетки и нагреватели, деионизованной водой из шланга.

3.21 Закрыть вентили слива и закрыть рабочие ванны крышками.

3.22 Протереть стол установки, крышки ванн салфеткой из мадаполама.

3.23 Отключить технологический блок. Проводить отмывку оснастки и ванн установки не реже одного раза в неделю. Разрешается одновременно обрабатывать по две кассеты с пластинами.

КОНТРОЛЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ КРИСТАЛЛА

Оборудование

система измерительная Н2001 (“Интеграл”);

зонд измерительный ОМ6010;

Алгоритм программы разбраковки

Рис.3.

СБОРОЧНОЕ ПРОИЗВОДСТВО

ВВОДНАЯ ЧАСТЬ

Микросхема К425НК1

Микросхема интегральная К425НК1 предназначена для работы в блоке управления экономайзера автомобиля, изготавливаемого для народного хозяйства.

Рис. 4. Схема расположения выводов

Нумерация выводов показана условно.

Ключ “=>” показывает направление отсчета выводов.

масса не более 3г.

Табл. 5 . Назначение выводов.

Табл. 6. Основные электрические параметры (при температуре 2510⁰С).

МАРШРУТ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОСХЕМ К425НК1

Эти схемы изготавливаются по толстопленочной технологии.

1. Промывка чистых плат в деионизованной воде в УЗ поле с порошком.

2. Термообработка при температуре 600 — 700^ОС.

3. Нанесение первой стороны проводников с проверкой совмещения под микроскопом. Пасты — ПП3, содержащие серебро, палладий, органику.

4. Вжигание при температуре 625 — 740^ОС.

5. Нанесение второй стороны проводников. Пасты — ПП1.

6. Вжигание при той же температуре ( предварительное вжигание ).

7. Нанесение проводников с торцевой стороны на полуавтомате с целью соединения сторон.

8. Окончательное вжигание проводников при температуре 800 — 865^ОС.

9. Нанесение резистивного слоя на полуавтомате на маске. Состав пасты — окись Ag, Pd, органика.

10. Вжигание резистивной пасты при температуре 700 — 750^ОС.

11. Подгонка лазерным лучом (установки “Темп”)

12. Измерение резисторов, контроль внешнего вида.

13. Пайка в электронагревательном устройстве в воздушной среде.

Эта операция предусматривает пайку навесных элементов с помощью паяльной лампы на автоматической линии пайки. Здесь закладывается качество. От того на сколько качественно проведена пайка зависит качество и надежность схем. Паста наносится трафаретной печатью через трафарет. Нанесенные элементы ставят автоматически путем захвата их из бункера и установки на место. Температура плавления — 200-220^ОС. Здесь не допускается смещение кристаллов, неправильная ориентация кристаллов, прокрасы пасты.

14. Промывка в органическом растворителях в УЗ поле.

Операция предназначена для отмывки плат с навесными элементами от флюса. Промывка ведется в трех ваннах с предварительной замочкой в течении 3 минут с последующей обработкой в УЗ поле в течении 2 — 3 минут в каждой из трех ванн. Затем схемы высушиваются под вытяжкой. При выполнении данной операции необходимо строго выполнять требования безопасности. Не допускается соприкосновение ТХЭ с нагретыми металлическими предметами во избежании образования удушающих газов (фосген, дифосген).

15. Промывка в горячей деионизованной воде.

Операция предусматривает дополнительную промывку от остатков флюса и хлора (от ТХЭ) при температура 85^ОС (расход Н₂О — 1,2 л/мин) с последующей сушкой при температуре 80 — 120^ОС.

16. Стабилизация параметров термотренировкой.

Стабилизация проводится, чтобы не уходили параметры резистора. Проводится при температуре 85+³ОС в течении 24 часов

17. Пайка проволочных выводов газовым пламенем на автоматической линии армирования.

Газ — водород. Р=0.6^.10^-5 Па. Время пайки — 100 мсек. Для выводов используется медь луженая.

18. Загрузка схем в кассеты.