ВКР: Механизмы имплантации в металлы и сплавы ионов азота с энергией 1-10 кэВ

Содержание

• ОГЛАВЛЕНИЕ
• ВВЕДЕНИЕ
• 1. Сравнительный анализ методов поверхностного модифицирования
• 2. Физические основы процесса ионной имплантации газов в металлы и сплавы
• 2.1 Основные характеристики метода ионной имплантации
• 2.2 Механизмы взаимодействия имплантируемых ионов с мишенью
• 2.3. Модель для расчета пробегов ионов в материале подложки
• 2.3.1 Ядерное торможение иона в материале
• Следовательно, окончательно имеем
• 2.3.2 Электронное торможение иона в материале
• 2.4 Распределение примеси и дефектов в материале подложки в зависимости от энергии ионов азота
• Знание распределения примеси и точечных дефектов в материале подложки после имплантации необходимо для нахождения остаточных концентрационных напряжений.
• 2.5 Остаточные концентрационные напряжения
• 3. Методики расчёта основных параметров физических процессов, происходящих при ионной имплантации
• 3.1 Методика расчета пробегов ионов методом Монте-Карло
• 3.2 Методика расчета распределения концентрации внедренных ионов по глубине материала
• 3.3 Методика расчёта остаточных концентрационных напряжений
• 4. Результаты расчёта параметров процессов взаимодействия имплантируемых ионов с материалом подложки
• 5. Экспериментальное оборудование
• 5.1 Установка для ионной имплантации азота в инструментальные материалы
• 5.2 Устройство системы электропитания имплантационной установки
• 5.3 Устройство датчика ионного тока
• Заключение
• Список Литературы
• ПРИЛОЖЕНИЯ
• ПРИЛОЖЕНИЕ А
• ПРИЛОЖЕНИЕ Б