Вопросы/задания к контрольной работе: Ионы

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ. 4

1 Взаимодействие ионов с поверхностью.. 5

1.1 Распыление ионным пучком. 6

1.2 Ионное имплантирование. 12

1.3 Облучение поверхности ионными пучками. 13

2 Ионный источник IQE 12/38. 18

ЗАКЛЮЧЕНИЕ. 24

СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ.. 25

ВВЕДЕНИЕ

Изучение взаимодействия ионов с поверхностью открывает ряд возможностей создания новых материалов, модернизации уже существующих. Помимо этого, необходимо изучать процессы при взаимодействии конкретных ионов с конкретной поверхностью. В этом плане ионные источники достаточно функциональны, так как можно ионизовать множество материалов.

Ионный источник – устройство для создания ионных пучков. Он позволяет получить пространственно сформированные потоки ионов, со скоростями много больше тепловых. Поток ионов в ионном источнике может быть получен различными методами: ионная эмиссия из плазмы, термоионная эмиссия, ионно-ионная и электронно-ионная эмиссии, фотодесорбция. Применение ионных источников также многообразно: ускорители, ионная имплантация, масс-спектрометрия, ионное распыление, напыление плёнок, ионное травление, микро-нано обработка…

Источник ионов IQE 12/38 был разработан для общей очистки проб и профилирования по глубине, а также в качестве основного источника ионов для масс-спектрометрии вторичных ионов, масс-спектрометрии вторичных нейтралов и спектроскопии рассеяния ионов. Положительные ионы всех инертных газов, таких как He, Ar, Ne, Xe, Kr, N₂, могут генерироваться, а также реактивные ионы при использовании O₂ или H₂. Энергия пучка может варьироваться от 200 эВ до 5 кэВ, а типичные токи пучка находятся в диапазоне от менее 1 пА до 10 мкА. IQE 12/38 можно запускать при температуре до 250 °C.