Реферат: Микроинтерферометрия для контроля и оценки трехмерных дефектов
Описание
Микроинтерферометрия для контроля и оценки трехмерных дефектов
Содержание
- Для контроля рельефа поверхности и оценки размера трёхмерных дефектов на поверхности наиболее пригодны методы интерферометрии. Основным прибором, использующим интерферометрический принцип при измерениях высоты, глубины, профиля элементов микроструктур и толщины плёнок, является широко известный микроинтерферометр Линника МИИ-4 (рис.1), принцип действия которого основан на сравнении световых волн, получаемых при отражении когерентных пучков света от контролируемой и эталонной поверхностей.
Характеристики реферата
Тип
Предмет
Просмотров
134
Качество
Идеальное компьютерное
Размер
1,39 Mb
Список файлов
TaskMen
31 июля 2016 в 23:42
Комментарии
Нет комментариев
Стань первым, кто что-нибудь напишет!
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
