Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Физико-химические основы нанотехнологий (ФХОНТ)Островковые тонкие пленки и наноструктурыОстровковые тонкие пленки и наноструктуры
2024-10-222024-10-23СтудИзба
Рабочая тетрадь: Островковые тонкие пленки и наноструктуры вариант 1
Описание
Цель практического занятия – ознакомиться с понятием «островковые тонкие пленки» и изучить методы их получения, а также испытать
программу- симулятор построения зависимостей размера островковой структуры от параметров процесса.
Рецепт 1 | Рецепт 2 | | | ||
| Расстояние | | Расстояние | Определить режимы | |
Температура | Температура | источник– | формирования для | | |
источник– | | ||||
подложки, К | подложки, К | подложка, | размера D структуры, нм | | |
подложка, мм | | ||||
| | мм | | | |
| | | | | |
350 | 30 | 300 | 55 | 100 | |
| | | | | |
Характеристики рабочей тетради
Учебное заведение
Семестр
Вариант
Программы
Просмотров
18
Размер
418 Kb
Преподаватели
Список файлов
Baygaltinov_B_Rab_t_Mt11-41.doc