Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету ФизикаРасчет вакуумных систем технологического оборудованияРасчет вакуумных систем технологического оборудования
2022-03-062022-03-06СтудИзба
ДЗ: Расчет вакуумных систем технологического оборудования вариант 61
Описание
ДЗ физ.вак. вариант 61
Технологический процесс – Ионная имплантация
Объем рабочей камеры – 0,1 м3
Площ. непрогр. мет. дет.Fi – 0,15 м²
Площ. поверх. стекла Fj – 0,001 м²
Масса прогр. дет.(катод, испарит.) mk – 0,001 кг
Рабочий вакуум – 5.10-5 Па (безмаслянный)
Характер производства – индивид.
Файлы условия, демо
Характеристики домашнего задания
Предмет
Учебное заведение
Семестр
Вариант
Теги
Просмотров
41
Размер
2,98 Mb
Список файлов
DZ_MT11-53B_Neznaev_01_12_2021_red.docx
Uchebno-metod_posobie_FV.pdf