Книга: Эксимерные лазеры

Содержание

• Введение
• 1. Теоретические основы
• 1.1 Активная среда
• 1.1.1 Лазеры на галогенидах инертных газов
• 1.1.2 Лазеры на окислах инертных газов
• 1.1.3 Лазеры на эксимерных молекулах чистых инертных газов
• 1.1.4 Лазеры на двухатомных галогенах
• 1.1.5 Лазеры на парах металлов
• 1.1.6 Охлаждение, вентиляция и очистка рабочего газа
• 1.2 Накачка
• 1.2.1 Накачка электронным пучком
• 1.2.2 Накачка электрическим разрядом
• 1.2.2.1 Разрядные цепи
• 1.2.2.2 Накачка быстрым поперечным электрическим разрядом
• 2.2.3 Накачка электрическим разрядом с предионизацией электронным пучком
• 1.2.2.4 Накачка двойным электрическим разрядом
• 1.3 Параметры выходного излучения
• 2. Коммерческие модели эксимерных лазеров
• 2.1 Лазер LPXPro 305 фирмы LAMBDA PHYSIK (Германия)
• 2.2 Лазер eX5 ФИРМЫ gam lasers, inc (сша)
• 3. Применения
• 3.1 Фотолизное возбуждение лазерных сред
• 3.2 Генерация коротковолнового излучения
• 3.2.1 Фотолитография
• 3.2.2 Лазерная хирургия. Пример пересчета параметров лазерного излучения
• Литература