Теоретический и экспериментальный анализ влияния условий метода маг-нетронного напыления на состав межфазных границ многослойных струк-тур на основе бериллия»

Оглавление
Введение 3
Глава 1 6
1.1Теория рентгеновских многослойных зеркал 6
1.2 Физические основы магнетронного напыления. 11
Глава 2 16
2. Техника и методика эксперимента 16
2.1 Детали эксперимента16
2.2 Описание образцов
Глава 3 Теоретическое предсказание механизмов формирования переходных областей на границах раздела тонких пленок. 20
3.1. Модель для описания синтеза многослойных структур методом магнетронного распыления 20
3.2. Формирование тонкой пленки методом магнетронного напыления 21
3.2.1. Выбивание атомов мишени ионами аргона 21
3.2.2 Движение атомов мишени в газе.24
3.2.3. Конденсация на подложке 29
3.3. Формирование пары веществ методом магнетронного напыления. 32
3.4. Влияние барьерного слоя на формирование переходной области. 34
3.4.1. Si барьерный слой. 34
3.4.2. B₄C барьерный слой. 39
3.5 Влияние свободной поверхностной энергии на формирование переходной области: 42
Глава 4. Изучение системы Mo/Be с/без барьерного слоя Si методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. 43
Заключение 47
Благодарности 48
Литература 49

Введение

Многослойные рентгеновские зеркала (МРЗ) активно используются в качестве рентгенооптических элементов для синхротронных измерений, дисперсионных элементов для задач рентгеновской спектроскопии и элементного флуоресцентного анализа, EXAFS-спектроскопии, рентгеновской диагностики плазмы. Основным требованием при разработке рентгенооптических схем на основе МРЗ является достижение высоких пиковых коэффициентов отражения и высокой селективности на рабочих длинах волн. Спецификой рентгеновских многослойных зеркал являются предельно малые периоды (в короткопериодных зеркалах - несколько нм и менее), большое число периодов (до 1000), и сильное поглощение излучения большинством материалов.
В последние годы особое внимание уделяется конструированию МРЗ, обеспечивающих работу в области коротких длин волн. Зеркала нормального падения позволяют успешно решать задачи в области длин волн λ>3 нм [1-6]. Короткопериодные зеркала с периодом d~1-2 нм представляют большой интерес для применений в качестве поляризаторов и фазовращателей рентгеновского излучения, элементов высокоразрешающих микроскопов в диапазоне “окна прозрачности воды” (λ=2.3-4.5 нм), фокусирующих и коллимирующих зеркал для жесткого рентгеновского диапазона [7]. Следует подчеркнуть, что именно уменьшение периода МРЗ “обостряет” проблему качества интерфейса в этих системах и, как следствие, проблему повышения отражательной способности МРЗ. Дело в том, что на межслоевой границе неизбежно возникают переходные слои той или иной протяженности. Формирование этих слоев обусловлено как взаимодействием материалов соседних слоев, так и шероховатостью поверхности подложки