Для студентов МГТУ им. Н.Э.Баумана по предмету Техника эксперимента в электронике и наноэлектроникеМоделирование технологического процесса нанесения тонких плёнокМоделирование технологического процесса нанесения тонких плёнок
2017-12-282017-12-28СтудИзба
ДЗ: Моделирование технологического процесса нанесения тонких плёнок
-25%
Описание
Цели эксперимента:
Вакуумная установка магнетронного нанесения металлических и диэлектрических нанослоёв "МАГНА ТМ-200-01".
Назначение:
Нанесение нескольких или многокомпонентных металлических и диэлектрических слоёв, в том числе для формирования наноструктурированных каталитических слоёв (Fe, Ni, Co и других).
Сравнительный анализ входных и выходных параметров
Входные контролируемые и управляемые факторы:
Выбор выходного параметра
Наиболее существенные входные факторы
- Доказать линейную зависимость толщины плёнки от времени нанесения (времени работы магнетрона).
- Определить скорость нанесения медной плёнки на ситалловую подложку (в нм/с).
Вакуумная установка магнетронного нанесения металлических и диэлектрических нанослоёв "МАГНА ТМ-200-01".
Назначение:
Нанесение нескольких или многокомпонентных металлических и диэлектрических слоёв, в том числе для формирования наноструктурированных каталитических слоёв (Fe, Ni, Co и других).
Сравнительный анализ входных и выходных параметров
Входные контролируемые и управляемые факторы:
- мощность магнетрона (варьируемый);
- содержание примесей в магнетроне (варьируемый);
- время напыления (стабилизируемый);
- шероховатость подложки (стабилизируемый);
- вакуум (стабилизируемый);
- диаметр подложки (стабилизируемый);
- количество распыляемого материала (стабилизируемый).
- температура подложки;
- температура магнетрона.
- выход из строя оборудования.
Выбор выходного параметра
- Толщина слоя меди.
Наиболее существенные входные факторы
- Мощность магнетрона.
- Время процесса (напыления).
Характеристики домашнего задания
Учебное заведение
Семестр
Просмотров
314
Покупок
1
Качество
Идеальное компьютерное
Размер
417,72 Kb
Список файлов
- Моделирование технологического процесса нанесения тонких плёнок.docx 430,87 Kb
Хочешь зарабатывать на СтудИзбе больше 10к рублей в месяц? Научу бесплатно!
Начать зарабатывать
Начать зарабатывать