2-327-1399893592-8.-reaktivnoe-osazhdenie (782336)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

8. Схема метода реактивного осаждения тонких пленок, достоинства инедостатки.Если помимо физических процессов, происходящих во время осаждения тонкой пленки,при напуске в рабочую камеру реактивного газа, в пространстве между источником иподложкой или на поверхности подложки протекает химическая реакция, тосоответствующий метод называется реактивным.TiNTiNN•N•+ArTiРеактивный газ:N2 (O2, CnHm и др.)Ar∅ −UмРис. 24 Схема реактивного осаждения тонких пленокДостоинства:1) Универсальность, возможность нанесения покрытий из соединений различнойприроды и регулирование при этом в широких пределах стехиометриейсоединений путем изменения тока дуги, давления реакционного газа итемпературы поверхности.2) Покрытия, получаемые реактивными методами, имеют достаточно высокуютвердость, адгезию3) Высокая скорость нанесения4) Высокая технологичность процесса.

Совмещение в едином технологическомцикле стадий очистки, нагрева поверхности до рабочей температуры(200…600 0С) со стадией нанесения функционального покрытия, не используяпри этом отдельную технологическую оснастку.Недостатки1) Не высокая чистота осаждаемой пленки (из-за наличия рабочего газа)2) Сильная зависимость свойств покрытий от технологических режимов3) Относительно низкая воспроизводимость физико-механическихпокрытий.свойств.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов решённой задачи