135791 (722632), страница 13

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 13)

танные методики и позволяющий автоматизировать основные этапы

функционального и схемотехнического проектирования ВКА, использо-

вание которого в 3 - 4 раза уменьшает трудоемкость конструкторских

разработок по сравнению с нормами традиционного проектирования. На

основе полученных результатов разработана функционально-структур-

ная модель САПР ВКА, реализующая этапы синтеза, анализа и модели-

рования ВКА, использование которой позволит конструктору получать

принципиально новые технические решения.

11. На базе проведенных теоретических и экспериментальных

исследований разработаны новые перспективные конструкции ВКА, от-

личающиеся повышенными технико-экономическими показателями, в

частности, меньшими (в 2 - 4 раза) потребляемой мощностью и

массо-габаритными характеристиками, повышенными (в 1,5 - 2 раза)

ресурсом и надежностью работы.

Результаты работы внедрены на заводе "Темп" (г. Фурманов),

экономический эффект оценивается в 55 тыс.руб., в ОИЯИ (г. Дубна),

а также в НПО "Вакууммашприбор" (г. Москва) и в НИИТМ (г. Зеленог-

рад).

.

ЛИТЕРАТУРА

1. Данилин Б.С. Вакуумные технологические процессы и оборудо-

вание микроэлектроники. - М.: Машиностроение, 1987. - 71 с.

2. Sharma J.K.N. Vacuum systems for ion implantation equipment

// Solid State Technol. - V. 17, N 12, 1974.

3. Тихонов А.Н. Особенности проектирования вакуумных систем

современного микрозондового оборудования. / Межвузовский

сборник."Электронное машиностроение, робототехника, техно-

логия ЭВП". - М.: МИЭМ, 1984. - с. 123 - 128.

4. Попов В.Ф. Ионно-лучевые установки. - Л.: Энергоиздат, 1981.

- 136 с.

5. Попов В.Ф., Горин Ю.Н. Процессы и установки электронно-ион-

ной технологии. - М.: Высшая школа, 1988. - 255 с.

6. Weston G.F. Materials for ultrahigh Vakuum. // Vakuum. - V.

25, N 7, 1975.

7. Jlsey R.J. Outgassing of vakuum materials. I. // Vakuum. -

V. 25, N 7, 1975.

8. Жилнин В.С., Жилнина Л.П., Кузьмин А.А. Исследование

десорбции паров воды с поверхности нержавеющей стали

Х18Н10Т в вакууме 10 - 10 торр при различных температурах.

/ Сборник ЭТ, сер. 4 "Электровакуумные и газоразрядные при-

боры". - М.: 1974.

9. Фигнер А.И. Высоковакуумная техника. / Сборник "Электроника

и ее применение". - М.: 1978.

10. Дьяков Ю.Н., Лукичев А.В., Тимофеев Б.В. Современные требо-

вания к технологическим средам и химикатам, используемым

для микроэлектроники. // Электронная промышленность. - Вып.

155, N 7, 1986. - с. 3 - 11.

- 2 -

11. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка ма-

териалов. - М.: Радио и связь. 1986. - 232 с.

12. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной

плазмы для травления и очистки материалов. - М.: Энергоато-

миздат, 1987. - 264 с.

13. Hoh P.D. Quantative particulate contamination studies

utilirinq reduced turbulence pumping and Ventig. // J.Vac.

Sci. and Technol. - V. 2, N 2, 1984. - p. 198.

14. Jolliver D.L. Contamination control: New dimensions in VLSI

manufacturing.// Solid State Tehnol. - 1984,March. - 129 р.

15. Микролитография второй половины 80-х годов. - ЦНИИ "Элект-

роника", вып. 21, 1985. - 5 с.

16. Winkler O. Le developpement de la metallurgie sous vide et

ses perspectives. // Le Vide. - V. 31, N 181, 1976.

17. Пипко А.И. Вакуумно-термическое оборудование в производстве

изделий электронной техники.- М.:Машиностроение,1986.- 55с.

18. Bauer R. Der Vacuumofen-Grundlage wirtschaflicher Warmebe-

handlungsverfahren.// Techn. Zbl. prakt. Metallbearb. - V.

70, N 11, 1976.

19. Ковалев Л.К. Вакуумное оборудование для производства тон-

копленочных структур квантовой электроники. // Обзоры по

ЭТ, серия 11 "Лазерная техника и оптоэлектроника". - 1982,

вып. 2 (886) - 83 с.

20. Розанов Л.Н. Вакуумные машины и установки. - Л.: Машиност-

роение.(Ленингр.отд.), 1975. - 336 с.

21. Саксаганский Г.Л. Вакуумная техника и технология электрофи-

зического аппаратостроения. - М.: ИТР. - Ч. 1., 1989. - 56

с., ч. 2., 1990. - 75 с.

22. Глазков А.А., Малышев И.Ф., Саксаганский Г.Л. Вакуумные

системы электрофизических установок.- М.: Атомиздат,1975.-

- 3 -

288 с.

23. Redhead P.A. Ultrahigh Vakuum applied to physics. // J.

Vac. Sci. and Technol. - V. 13, N 1, 1976.

24. Симонов В.В., Корнилов Л.А., Шашелев А.В., Шокин Е.В. Обо-

рудование ионной имплантации. - М.: Радио и связь, 1988. -

184 с.

25. Бирюкова Н.Е., Виноградов М.И., Данилов Н.Д., Шишловский

С.К. Сверхвысоковакуумный безмасляный агрегат. // Электрон-

ная техника, сер. 7 "Технология, организация производства и

оборудование". - Вып. 1 (98), 1980. - с. 64 - 68.

26. Кузнецова Л.А., Саксаганский Г.Л. и др. Вакуумные системы

экспериментальных термоядерных установок и реакторов с маг-

нитным удержанием. // Обзор ЦНИИ Атоминфор.: ОА-66. - М.:

1984. - 70 с.

27. Грошковский Я. Техника высокого вакуума. - М.: Мир, 1975.

28. Левин А.М. Конструкционные материалы и герметики в вакуум-

ном приборостроении. - М.: Машиностроение, 1986. - 59 с.

29. Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и

расчет вакуумных систем. - М.: Энергия, 1979. - 504 с.

30. Панфилов Ю.В., Рябов В.Т., Цветков Ю.Б. Оборудование произ-

водства интегральных схем и промышленные роботы. - М.: Ра-

дио и связь, 1988. - 320 с.

31. Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового

производства. - М.: Машиностроение, 1986. - 264 с.

32. Large-area industrial vacuum coation in the 1990 s.: [Pap.]

Prog. 36 th. Nat. Symp. Amer. Vac., Boston Mass, 23 - 27

Oct. 1989. / Johansen Paul R. // J. Vac. Sci. and Technol.

A., 1990. - 8, N 3 - p. 2798 - 2801.

33. Аверина А.П., Лоскутов А.И. Вакуумные аналитические приборы

и оборудование. - М.: Машиностроение, 1986. - 75 с.

- 4 -

34. Некрасов М.И. Учет дестабилизирующего влияния внутрикамер-

ных устройств на технологический процесс напыления в вакуу-

ме. / Межвузовский сборник "Электронное машиностроение, ро-

бототехника, технология ЭВП". - 1986. - с. 43 - 50.

35. Карасев Б.Г., Саксаганский Г.Л. и др. Комплекс экспер мен-

тальных установок для исследования радиационно-вакумных и

физикомеханических характеристик конструкционных материалов

ТЯР. / Сборник "Исследование и разработка материалов для

реакторов термоядерного синтеза". - М.: Наука, 1981, - с.

134 - 137.

36. Александров В.С., Саксаганский Г.Л. и др. Ускорительный

комплекс тяжелых ионов в ОИЯИ. - Дубна: Препринт ОИЯИ:

Р9-83-613, 1983. - 196 с.

37. Vacuum. / Mizobuchi A., Chida K.. // Annu. Rept, Jan. -

Dec. 1989. / Inst. Nucl. Stady Univ. Tokyo. - Tokyo, 1990.

- p. 143 - 144.

38. Денисов А.Г., Кузнецов Н.А., Макаренко В.А. Оборудование

для молекулярно-лучевой эпитаксии. // Обзоры по ЭТ, сер. 7

"Технология, организация производства и оборудование. - N

17 (828), 1981. - 52 с.

39. Саксаганский Г.Л., Котельников Ю.Н., Малев М.Д., Смирницкая

Г.В., Юферов В.Б. Сверхвысокий вакуум в радиационно-физи-

ческом аппаратостроении. - М.: Атомиздат, 1976. - 288 с.

40. Прогресс технологии БИС. // Дэнси дзайре. - Т.23, 1984. - с.30.

41. Уэстон Д. Техника сверхвысокого вакуума. - М.: Мир, 1988. -

365 с.

42. Achievement of extreme high vacuum in the order of 10 Pa .

without baking of test chamber.: [Pap] Proc. 36 th. Nat.

Symp. Amer. Vac. Soc., Boston, Mass., 23 - 27 Oct., 1989/

Kato S., Aono M., Sato K., Baba Y. // J. Vac. Sci. and

- 5 -

Tehnol. A. - 1990. - 8, N 3. - p. 2860 - 2864.

43. Hamacher H. Berechnung des Saugvermogens in

Raumsumulations- . kammern unter Berucksichtigung des

Kaltewandeinflusses. // Vakuumtechnik. - V.25, N 2, 1976.

44. Котельников Ю.Н. Автоматизация вакуумно-технологических

процессов и оборудования.- М.:Машиностроение, 1987. - 55 с.

45. Александрова А.Т., Ермаков Е.С. Гибкие производственные

системы электронной техники. - М.: Высшая школа, 1989. -

319 с.

46. Волчкевич Л.И. Автоматизация производства электронной тех-

ники. - М.: Высшая школа, 1988. - 287 с.

47. Батраков В.Б. и др. Разработка информационного и программ-

ного обеспечений САПР вакуумного оборудования. / В кн."Раз-

работка САПР вакуумного оборудования и САПР систем автома-

тизированного управления". - НТО МИЭМ, N гос.регистрации

01890052063, Деп. ВНТИЦ. Инв. N 02900008823. - М.: 1989. -

8 - 34 с., ДСП.

48. Хруничев Ю.А. Анализ производительности оборудования для

производства электронных приборов./ Межвузовский сборник

"Электровакуумное машиностроение". - М.: Вып. 2, 1978. - с.

9 - 11.

49. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. - М.: Высшая школа, 1984. -

207 с.

50. Александрова А.Т. Математическая модель процеса изменения

концентрации газа в вакуумном объеме при газовыделении из

очага трения. / Межвузовский сборник "Электронное машиност-

роение, робототехника, технология ЭВП". - М.: 1984. - с. 12

- 17.

51. Львов Б.Г. Новые конструкции высоковакуумных прямопролетных

клапанов. - М.: Высшая школа, 1980. - 72 с.

- 6 -

52. Wheeler W.R. Recent developments in metal-sealed gate valves.

// J. Vac. Sci. and Technol. - V. 13, N 1, 1976.

53. Вакуумная техника. Справочник / Под ред. Фролова Е.С., Ми-

найчева В.Е. - М.: Машиностроение, 1985. - 351 с.

54. Львов Б.Г., Шувалов А.С. Техническое обслуживание новой

коммутационно-регулирующей аппаратуры. - М.: Высшая школа,

1987. - 72 с.

55. Рот А. Вакуумные уплотнения. - М.: Энергия, 1971. - 464 с.

56. Вакуумное оборудование. / Каталог. - М.: ЦИНТИхимнефтемаш,

1985. - 60 с., ДСП.

57. Дополнения и изменения к номенклатурному каталогу на осво-

енные и серийно выпускаемые изделия вакуумного машинострое-

ния. - М.: ЦИНТИхимнефтемаш, 1986. - 11с., 1987. - 12 с.,

1988. - 15 с. ДСП.

58. Вакуумная запорная и регулирующая арматура. Справочные ма-

териалы. - М.: ОТЭИНТИ, 1987. - 55 с.

59. Vacuum valves. Каталог фирмы VAT., 1989. - 220 р.

60. Vacuum Equipment. Каталог фирмы PERKIN ELMER, 1988. - 185 р.

61. Vacuum Components. Каталог фирмы BALZERS, 1987. - 300 р.

62. Ventile. Каталог фирмы LEYBOLD-HERAUES, 1989. - 35 р.

63. Вакуумная техника. Каталог компонентов фирмы Alcatel, 1986. -

245 с.

64. Vacuum Valves. Информационно-справочные материалы фирмы

Alcatel, 1989. - 12 р.

65. Vannes d'equeppe. Информационно-справочные материалы фирмы

Alkatel, 1987. - 4 р.

66. UHN Components. Каталог фирмы VACUUM GENERATORS, 1989. - 40 р.

67. Львов Б.Г., Шувалов А.С. Современные сверхвысоковакуумные

уплотнения. - М.: Высшая школа, 1984. - 71 с.

68. Chernatony L. Recent advances in elastomer technology vor

- 7 -

UHV application. // Vakuum. - V. 27, N 10, 1978.

69. Гойхман У.М., Антонов Б.Н. О газопроницаемости некоторых

резин. // Каучук и резина. - N 7, 1976.

70. Домрачев С.Н., Моисеев В.Я., Саксаганский Г.Л. Конструиро-

вание разъемных вакуумных соединений с металлическими уп-

лотнителями. // Электронная техника., сер. 4 "Электроваку-

умные и газоразрядные приборы". - Вып. 3,1975. - с. 67-75.

71. Романенко Н.Т. Агрегаты пневматических систем летательных

аппаратов. - М.: Машиностроение, 1976. - 98 с.

72. Бушенин Д.В., Марусев В.А. Новые виды сильфонных уплотнений

в вакуумной арматуре. - Владимир, 1982. - 88 с.

73. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. - М.: Машиностроение,

1974. - 180 с.

74. Деулин Е.А. и др. Расчет, конструирование и особенности

эксплуатации механизмов для работы в вакууме. - М.: Маши-

ностроение, 1986. - 79 с.

75. Wheeler W.R. High vacuum gate valves. Пат. США, кл.

251-204, N 3973753, 1976.

76. Дривинг Н.Я., Назаров Л.Н. Сверхвысоковакуумный затвор про-

извольной ориентации с использованием легкоплавкого уплот-

нителя. / Межвузовский сборник "Электронное машиностроение,

робототехника, технология ЭВП". - М.: 1986. - с. 96 - 101.

77. Усов В.В., Гутник Г.Н. К вопросу об унификации некоторых

вакуумных изделий в ХФТИ. / Сборник "Вопросы атомной науки

и техники". Сер. "Физика и техника высокого вакуума". -

Харьков: вып. 1, 1974.

78. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. - М.: Высшая школа, 1990. -

319 с.

79. Verfahren zum Abdichten von Hochvakuumverbindungen und

komponenten im Anlagenban.: Пат. 281229 ГДР, МКИ .

- 8 -

F16V15/08 / Appel Fritj, Akademie der Wissenshaften der

DDR. N 3272353. Заявл. 4.04.89. Опубл. 1.08.90.

80. Батраков В.Б., Львов Б.Г., Шувалов А.С. Структур-

Характеристики

Список файлов реферата