Розанов Вакуумная техника 1990 (1248470), страница 39
Текст из файла (страница 39)
9.18) имеет два вакуумных насоса. Насос? обеспечива- 207 Таблица 9.8 ет получение среднего вакуума, а насос 1 создает предварительное разрежение, В качестве насоса для получения среднего вакуума могут применяться двух- роторные, пароэжекторные и адсорбционные насосы (табл. 9.8). Насос ! должен обеспечивать получение низкого вакуума. Быстрота действия и предельное давление насоса предварительного разрежения должны быть согласованы с характеристиками насоса для получения среднего Основные хйрйктеристнки нйсосон для получении среднего вакуума Быстрота дейст. вие млс Обозна- чение Предельное дев- тение, Па Типы насосов 5. 1О-з 5 0,45 ... 15 10-'...5 510 ' 5.10 ' 10а 10-з ДВН БН АН Двухроторный Бустерные пвроструйные Крноздсорбцнонные уй го ггу Таблица 9.9 гг 22 гз гр Быстрота дей.
степа, мдс Обозна- чение Пределызое дав- ление, Па Типы насосов Ли 5.10-з 40 1 1 0 ' ... 5 0,45 ... 4,5 10 ' ... 1О-' 10-», 10-7 510 ' Н ТМН ГИН Пвроструйные Турбомолекулярные Гетероионные ду ' Хге УРВ Мз М"' З маус 208 Рис, 9.19, Оптимальные ко- Рис. 9.20. Вакуумная системз для получения эффициенты использования низкого, среднего и высокого вакуума 110а... днухроторных насосов в звии- 1О-' Пв); симости от эффективной бы- 1 — насос для получения низкого вакууме; г, В, ы, страты действия 5,е и числа пб 11, гг. гр, гт ге, гт — клапаны; В В гб-ловущ.
элементов на участке от несо- ": 4 — 47орвакуумный балл: В. 11 '1В, гг, гг, и- манометры; 1 — ни»ос лля получения высокого вакусз до откзчиевемого объекта и ума; р — ваап лннмення7 и — »лектрическнй ввод; 11 — откачиваемый объект; 14 — газоан»лизатор, 1В— гнгроскапатор; гб — насос лля получения среднего вакууме вакуума. Оптимальные значения коэффициентов использования двухроторных насосов в зависимости от эффективной быстроты откачки и числа последовательно соединенных элементов приведены иа рис. 9,19.
При остановке насоса 1 (рис. 9.18), закрывая клапан 2 и открывая клапан 3, можно выравнять давление на его входном и выходном патрубках, Манометр 4 необходим для проверки работоспособности насоса 1. Отражатель 5 предотвращает проникновение паров рабочей жидкости насоса 1 в насос 7 и вакуумную камеру 11. Клапаны 6, 18, 19 позволяют работать в режимах «прямой» и «обходной» откачки, соответствующих прохождению Основные характеристики нысоковйкуумных насосов откачиваемого газа через оба насоса или через один насос предварительного разрежения. В последнем случае в откачнваемом объекте обеспечивается получение низкого вакуума.
Манометр 20 позволяет определить эффективность работы отражателя 5, а манометр 8 при закрытом клапане 18 контролирует предельное давление насоса 7. Вакуумная камера снабжена электрическими 9 и механическими 10 вводами, манометром 12, газоанализатором 13, клапаном 14 для подключения течеискателя и клапанов 15, 17 с гигроскопатором 15 для напуска воздуха в вакуумную камеру. Гигроскопатор 15 предотвращает попадание в вакуумную камеру паров воды, содержащихся в атмосферном воздухе, что существенно сокращает время откачки вакуумной камеры до рабочего давления. Вакуумная система для получения низкого, среднего и высокого вакуума (рис. 9.20) содержит все элементы предыдущей схемы и дополнительный высоковакуумный насос 7 (табл. 9.9).
В качестве высоковакуумного насоса могут применяться пароструйные, турбомолекулярные и гетероионные. Состав остаточных газов пароструйного и турбомолекулярного насосов показан на рис, 9,21, Ловушка 8 (рис. 9.20) предотвращает проникновение паров рабочей жидкости пароструйных насосов в вакуумную камеру, Для турбомолекулярных и гетероионных насосов ловушка 8 не устанавливается. Клапан 21 коммутнрует насос с вакуумной камерой, Манометр 22 позволяет контролировать эффективность работы насоса 7 и ловушки 8 при закрытом клапане 21. Манометры 12 и 13 измеряют давление в вакуумной камере соответ- 209 уо' йз 7 р,йа ственно в области среднего и 5 7 высокого вакуума. Для обеспе- чения в вакуумной камере вы- СО сеял с и сокого вакуума все насосы ба уб' включаются последовательно.
с нф Если в камере необходимо по- ' сн, лучить средний вакуум, то на- 57 5 ий с,и сос 26 подключается через клапан 19 к откачиваемому объекту. При этом клапан 24 а! может быть закрыт. Аналор,йа гично, через клапаны 20 и б низковакуумный насос непо- 70.5 средственно подключается к откачиваемому объекту или к И,О насосу 26.
При работе систен мы в режиме высоконакуум- ган„ ной откачки газовые потоки м' очень малы. Это позволяет от- сеял ключить насос ! на длительур' ное время н работать на форб! "У!9 вакуумный баллон 4, Схему можно упростить за счет сор не. 921. Состав остаточных газов вз. кращения коммутационной куумных систем с различными средст- 5, 19, 20, 21, 24, вами откачки: паратуры...,, оде — нароструаные; б — турбомоленуларчые НаКО Этс ЗиаЧИтЕЛЬНО СНИЗИТ производительность работы системы в нестацнонарных режимах. Если система предназначена для работы только в области высокого вакуума, то насос 26 с манометром 23 и клапанами 19 и 24 из схемы можно исключить.
В этом случае увеличится время откачки вакуумной камеры до рабочего давления. Рекомендации по выбору оптимальных коэффициентов использования высоковакуумных насосов приведены на рис. 9.22. Вакуумная система для получения сверхвысокого вакуума (рис. 9.23) содержит прогреваемый вакуумный блок 7. Прогрев до 400'С уменьшает газовыделение всех элементов вакуумной системы, непосредственно подключаемых к сорбционному насосу 4.
Состав остаточных газов сверхвысоковакуумных систем показан на рис. 9.24. Основные характеристики сверхвысоковакуумных насосов приведены в табл. 9.!О. Камера снабжена несколькими манометрами 9, 10, П, обеспечивающими измерение давления от атмосферного до сверхвысокого вакуума. Манометр б контролирует работоспособность насоса 4.
Высоковакуумиая часть системы собирается на двух насосах: 18 и 1. В качестве высоковакуумного насоса 18 можно использовать пароструйный насос с ловушкой 17 или турбомолеку- 210 Р н с. 9 22. Оптнмальные коэффициенты нспользоввннв вакуумных нарбструйных насосов в зависимости от эффективной быстроты действнн Яаф н числа элементов между насосом н отквчнваемым объектом и Таблвцв910 Основные характеристики сверхвысбковвкуумнык насосов Быстрота лем стана, мяс Обозна- ченне Предельное даа.
ленке, Па Тины насосоа Пвроструйные с ловуш. камв Мнгнпторазрвдные Орбнтронные Крнокондепсацнонные ПН НМД ВНО КН 5 10 '...05 6.10-' ... 1,2 О,1 ...0,5 0,5 ...40 10 ' 5 1О-' 10 ' 1Оэ Ы Централизованными системами откачки называют вакуумные системы, в которых выпускное давление для нескольких включенных параллельно высоковакуумных насосов обеспечивается работой одного насоса предварительного разрежения. Они применяются в помещениях с большим количеством однородного вакуумного оборудования, в автоматах откачки и т. д, Трехтрубопроводная централизованная система откачки показана на рис, 9.2б.
Вакуумные камеры )ут, ..., )у„откачиваются высоковакуумными насосами П„..., П„через автоматические клапаны Кь ...,К„. Присоединение высоковакуумных насосов к трубопроводу П1 предварительного разрежения производится автоматическими клапанами ВП...,В,. Трубопроводы 1 и П служат для предварительной откачки воздуха из вакуумных установок.
211 лярный насос без ловушки, Клапан 18 б, к у служит для подключения течеискателя к вакуумной системе, а манометры 14 и 18 — для измерения давления в области Ду 7 среднего и высокого вакуума. В качестве низковакуумного насоса ! чаще всего б7 используется вращательный насос. Схе- ф ма высоковакуумной откачки максималь- ау но упрощена, так как используется толь- б ко в нестационарном режиме при запуске установки. тф В тех случаях, когда требуется повышенная надежность системы по предотвращению попадания паров рабочей жидкости в вакуумную камеру, в качестве предварительной системы откачки используются агрегаты с криоадсорбционными насосами. Оптимальные значения коэффициентов использования сверхвысоковакуумных насосов в зависимости от их быстроты действия в откачиваемом объекте и числа элементов в схеме между насосом и откачиваемым объектом приведены на рис.
9.25. подключает к установке паромасляный /г„ насос Пг, при этом затворы Вг и С~ закрываются, затворы Е/ и К/ откры- Ду ва ются; 4) после того как в объеме получено рабочее давление, паромасляные насосы в помощью манометра Мгг пе- аб б реключаются на трубопровод 111, прн этом затвор Е1 закрывается, а Вг оте б крывается. Для бесперебойной работы централизованной вакуумной системы при аварии могут применяться две защиты: 1) централизованного трубопровода от вакуумных установок; 2) вакуумных установок от централизованного т убопровода.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
