Получение и исследование наноалмазных пленок (1104460), страница 4
Текст из файла (страница 4)
17. Схема процессов роста и деградации пленки, полученная с помощьючисленного моделирования.В целом, несмотря на довольно грубые предположения при построениичисленной модели, согласие расчетов с результатами экспериментов делаетее хорошим инструментом для описания процессов, происходящих приформировании текстурированных алмазных пленок. Также данная модельможет быть полезна для предсказания морфологии и структуры пленокразличного типа в зависимости от изменения ростовых параметров вшироких пределах.20ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ1.
Разработана методика получения поликристаллических алмазныхпленок методом плазмохимического осаждения углерода. Проведенокомплексное исследование зависимости размера и морфологииалмазных кристаллитов, а также фазового состава пленок от основныхмакроскопических параметров роста. Определена взаимосвязьхарактеристик алмазных пленок и входящих в их состав алмазныхкристаллитов от способа создания и параметров нуклеационныхцентров на подложках.2. Проведено систематическое исследование алмазных пленок с помощьюкомбинации методов термогравиметрического анализа и селективногоокисления. Получены новые данные о структуре и морфологиикристаллитов, составляющих поликристаллические пленки различноготипа.
Показано, что наноалмазные пленки состоят из нитевидныхкристаллитов, образующих глобулы с дендритоподобной структурой.3. Разработанычисленныемоделиростаиокисленияполикристаллических алмазных пленок на основе механизмаконкурентного роста. Показано соответствие результатов численногомоделирования экспериментально наблюдаемым закономерностямроста пленок при различных условиях.4. Разработана методика внедрения примесей азота в алмазные пленки входе их плазмохимического осаждения.
С помощью оптическойэмиссионной спектроскопии получены экспериментальные данные,подтверждающие наличие активированных азот-содержащих примесейв газоразрядной плазме в ходе роста алмазных пленок при добавлениив газовую смесь азота.5. Исследовано влияние примесей азота на формирование алмазныхпленок.
Получены экспериментальные данные, свидетельствующие оформированииазотно-вакансионныхцентроввалмазныхкристаллитах, составляющих пленки, получаемые из азот-содержащейгазовой смеси.21Список публикаций по результатам, представленным в настоящейработе1.2.3.4.P.G. Kopylov, A.N. Obraztsov, M.A. Dolganov, and S.S. Abramchuk.Formation of pyramidal shaped single crystal diamonds in chemical vapordeposition.
Protection of Metals and Physical Chemistry of Surfaces, 2009, V.43, 5, pp. 553 – 557.Kopylov P.G., Loginov B.A., Dolganov M.A., Ismagilov R.R., Savenko N.V.Single crystal diamond tips for scanning probe microscopy. Rev. of Sci.Instruments, 2010, V. 81, 1, pp. 013703 – 013703-4.Zolotukhin A.A., Ismagilov R.R., Dolganov M.A., Obraztsov A.N.Morphology and Raman Spectra Peculiarities of Chemical Vapor DepositionDiamond Films. J. of Nanoelectronics and Optoelectronics, 2012, V. 7, 1, pp.22 – 28.A.A. Zolotukhin, M.A. Dolganov, A.N. Obraztsov.
Nanodiamond films withdendrite structure formed by needle crystallites. Diamond and RelatedMaterials, 2013, V.37, pp. 64-67.22Тезисы докладов и сообщений,конференций и семинаровопубликованныхвматериалах1. A.N. Obraztsov, Yu.P. Svirko, G. M. Mikheev, D.A. Lyashenko, P.G.Kopylov, M.A. Dolganov. Optical applications of nanographite films. 3-rdRussian-Finnish Meeting "Photonics and Laser Symposium", June 14-172007, Moscow.2. Kopylov P. G., Dolganov M.A., Sorokin G.P. Structural and opticalproperties of diamond nanotips.
International Workshop on NanocarbonPhotonics and Optoelectronics, 3 – 9 August 2008, Polvijarvi, Finland.3. Долганов М.А., Копылов П.Г., Образцов А.Н. Новый метод полученияалмазных микрокристаллов пирамидальной формы. Конкурс МолодыхУченых Секции Физикохимии нано- и супрамолекулярных систем, 1112 ноября 2008, Москва.4. Dolganov M.A. Thermogravimetric analysis of nanocarbon films.International Workshop on Nanocarbon Photonics and Optoelectronics, 3 –9 August 2008, Polvijarvi, Finland.5. P.G. Kopylov, G.P.
Sorokin, M.A. Dolganov, A.L. Chuvilin, A.N.Obraztsov. Diamond Tips: Growth Mechanism and Applications. 5thBilateral Russian-French Workshop on Nanoscience and Nanotechnologies,December 2-3 2008, Moscow, Russia.6. Dolganov M.A., Obraztsov A.N. Ultrananocrystalline diamond film growthand characterization. Second International Workshop on NanocarbonPhotonics and Optoelectronics, 1 – 6 August, Koli, Finland.7. Dolganov M.A., Obraztsov A.N.
Nanodiamond CVD films. Symposium onNano and Giga Challenges in Electronics, Photonics and Renewable Energy,12 – 16 September 2011, Moscow.8. Dolganov M.A., Obraztsov A.N. Pyramidal shaped single crystal CVDdiamond tips. Symposium on Nano and Giga Challenges in Electronics,Photonics and Renewable Energy, 12 – 16 September 2011, Moscow.23.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
