Автореферат (1104348), страница 4
Текст из файла (страница 4)
2. Параметры рельефа ситалла до и после облучения, а также условия облучения.20Кроме того, атомно-силовые изображения подвергались преобразованиюФурье. Представляет интерес диапазон пространственных частот 0,1 – 10 мкм,соответствующий особенностям рельефа данных образцов. Рассчитаннаяспектральная плотность в указанном диапазоне показана на рис. 9. Во всех трехслучаях эта величина уменьшилась в 5 – 10 раз на всех частотах диапазона.Таким образом, кластерные ионы могут применяться для сглаживанияповерхностиситалласточностью,превосходящейвозможностииспользующейся в производстве химико-механической полировки.допослеРис.
9. Спектральные плотности неровностей рельефа образцов ситалла до и послеоблучения.В заключении сформулированы основные результаты, полученные вдиссертации. Полученызависимостидлительностикластерногоимпульсаотдавления рабочего газа для различных газов (N2, Ar, Xe). Показано, чтодлительностькластерногоимпульсадо10разпревосходитпродолжительность подачи рабочего газа, при этом для более тяжелыхгазов длительность выше, чем для легких. Разработанаметодикавизуализациипотокагазавусловияхформирования газовых кластеров с использованием газового разряда,позволяющая оптимизировать систему формирования кластеров.21 Получены пучки кластерных ионов с током кластеров до 2 мкА иэнергией 1-10 кэВ. С помощью методики времяпролетной массспектрометрии показано, что в рабочем режиме ускорителя в пучкахионов неона кластеры отсутствуют; при использовании в качестверабочего газа азота формируются кластеры с размерами около 100атомов на элементарный заряд; в пучках кластеров аргона и ксенонаприсутствуют частицы с размерами до 5000 атомов на элементарныйзаряд. Получены угловые распределения распыленного при бомбардировкевещества.Показано,определяетсячтохарактерупругими свойствамиугловогомишени.распределенияДлямишеней изматериала с большим модулем упругости (например, молибден),распылениевдоль нормали болеевыраженопо сравнению сматериалами, обладающими меньшим модулем упругости (например,медь, индий).
Обнаружена нестехиометричность состава распыленноговещества по углам вылета при облучении кластерными ионамимногокомпонентной мишени. При больших углах эмиссии (>70°)доминируют тяжелые атомы мишени, при малых углах (<50°) – легкиеатомы вне зависимости от соотношения энергий связи атомов мишени. Продемонстрированаполупроводниковивозможностьметалловсглаживаниякластернымидиэлектриков,ионамидоуровняшероховатости менее 0,5 нм.Список публикаций по теме диссертации.A1.A.E.
Ieshkin, Yu.A. Ermakov, V.S. Chernysh. Angular distributions ofparticles sputtered from multicomponent targets with gas cluster ions // Nucl.Instrum. Meth. B. In Press. Available online 9 December 2014.A2.V.S. Chernysh, A.E. Ieshkin, Yu. A. Ermakov. The new mechanism ofsputtering with cluster ion beams // Appl.
Surf. Sci., vol. 326, pp. 285-288,2015.22A3.A.A. Andreev, V.S. Chernysh, Yu A. Ermakov, A.E. Ieshkin. Designand investigation of gas cluster ion accelerator // Vacuum, vol. 91, pp. 47-53,2013.A4.А.А. Андреев, Ю.А. Ермаков, А.Е. Иешкин, А.С. Патракеев, В.С.Черныш. Ускоритель газовых кластерных ионов // Наукоемкиетехнологии, том 12, № 6, сc. 3-11, 2011.A5.A.E. Ieshkin, Yu A.
Ermakov, V.S. Chernysh. Angular distributions ofparticles sputtered from multicomponent targets with gas cluster ions // Bookof abstracts «26th International Conference on Atomic Collisions in Solids(ICACS 26)», Debrecen, Hungary, 2014 p. 183.A6.A.E. Ieshkin, Y.A. Ermakov, A.A. Andreev, V.S. Chernysh.
Gas ClusterIon Beam Accelerator: First Results. // Book of Abstracts «25th InternationalConference on Atomic Collisions in Solids & 8th International Symposium onSwift Heavy Ions in Matter», Kyoto, Japan, 2012, p. 145.A7.Ю.А. Ермаков, А.Е. Иешкин, Д.В. Петров, В.С. Черныш.Ускоритель газовых кластерных ионов: первые эксперименты // Сборниктрудов XXI международной конференции “Взаимодействие ионов споверхностью ВИП- 2013”, т.
1, Ярославль, 2013, с. 135.A8.А.Е. Иешкин, Ю.А. Ермаков, В.С. Черныш, А.А. Шемухин.Угловые распределения распыленных атомов при облучении металлов исплавов кластерами аргона. Сборник трудов 44 международнойТулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частицс кристаллами, Москва, 2014, с. 78.A9.Ю.А. Ермаков, А.Е. Иешкин, В.С.
Черныш Топографияповерхностей твердых тел, обработанных пучком кластерных ионов //Труды 43 международной Тулиновской конференции по физикевзаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 2013, с. 70.A10.Ю.А. Ермаков, А.Е. Иешкин, В.С. Черныш. Характеристики пучкакластерных ионов аргона в импульсном режиме подачи газа // Труды 43международной Тулиновской конференции по физике взаимодействиязаряженных частиц с кристаллами, Москва, 2013, с. 102.23.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
