Влияние емкостной составляющей на энерговклад в индуктивный ВЧ разряд низкого давления (1102541), страница 5
Текст из файла (страница 5)
Kerimova, S.K. Kondranin, E.A.Kralkina, V.B. Pavlov, V.J. Plaksin,A.A. Rukhadze, K.V. Vavilin. An Absorption of RF Power by Inductive Discharge Plasma Placed inExternalMagneticFieldExperimentalStudy.Proceedingsofthe30-thInternational(Zvenigorod)Conference of Plasma Physics and Controlled Fusion. Zvenigorod, Russia, February 24-28,2003. Contributed papers, T4.3.
A.F.Alexandrov, G.E.Bougrov ,I.K. Kerimova, S.K. Kondranin, E.A.Kralkina, V.B. Pavlov, V.J. Plaksin,A.A. Rukhadze, K.V. Vavilin. Self-consistent model of RF inductive plasma source located in the externalmagnetic field. Lomonosov Readings, MSU, Physical Faculty, April 18–25, 2003, Annotation, pp.
90–92.4. A.F.Alexandrov, G.E.Bougrov ,I.K. Kerimova, S.K. Kondranin, E.A.Kralkina, V.B. Pavlov, V.J. Plaksin,A.A. Rukhadze, K.V. Vavilin. RF discharge at medium and high pressure and its possibilities for materialsurface modification. III International Symposium Thermo Chemical Processes in Plasma Aerodynamics.St. Petersburg, Russia, July 2003.5.
А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин И.К. Керимова, С.Г. Кондранин,Е.А. Кралькина, В.Б.Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. The Self-Consistent Model of “Helicon” Plasma Source. IVInternational Conference Plasma Physics and Plasma Technology. Minsk, Belarus, September 15-19,2003. Contributed papers 1.33.6. А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин И.К.
Керимова, С.Г. Кондранин,Е.А. Кралькина, В.Б.Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. Comparative Analysis of Different Surface ModificationsMethods. IV International Conference Plasma Physics and Plasma Technology Minsk, Belarus, September15-19, 2003. Contributed papers 4.24.7. А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин И.К. Керимова, С.Г. Кондранин,Е.А. Кралькина, В.Б.Павлов, В.Ю.
Плаксин, А.А. Рухадзе. The efficiency of RF power lead in low pressure discharge.Russian conference of Physical Electronics Mahachkala, Russia, September 23-26, 2003. Contributedpapers, 95-98.8. A.F.Aleksandrov,G.E.Bugrov,I.F.Kerimova,S.G.Kondranin,V.B.Pavlov,V.Yu. Plaksin, A.A.Rukhadze, K.V.Vavilin. Self-consistent model of RF inductive plasma/ion sourcelocated in the external magnetic field. Journal of Russian Laser Research, 2003, v.24, No 4, pp. 301-321.9. А.Ф.Александров, Г.Э.Бугров, К.В.Вавилин И.К.Керимова, С.Г.Кондранин, Е.А.
Кралькина,В.Б.Павлов, В.Ю.Плаксин, А.А.Рухадзе. Самосогласованная модель ВЧ индуктивного источникаплазмы, помещенного во внешнее магнитное поле. Физика плазмы, 2004, том 30, №5, стр 434-449.10. А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин, И.Ф. Керимова, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.Ю.Плаксин, А.А. Рухадзе. Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. I.Особенности, наблюдавшиеся при экспериментальном исследовании индуктивного ВЧ разряда,помещенного во внешнее магнитное поле. Прикладная физика, 2005, №4, стр.
70 – 74.11. А.Ф. Александров, Г.Э. Бугров, К.В. Вавилин, И.Ф. Керимова, Е.А. Кралькина, В.Б. Павлов, В.Ю.Плаксин, А.А. Рухадзе. Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы.II. Исследование параметров плазмы и эффективности поглощения ВЧ мощности плазмойиндуктивного ВЧ разряда низкого давления. Прикладная физика, 2005, № 5, стр. 72 – 78.12. А.Ф.Александров,В.Ю.Плаксин,Г.Э.Бугров,А.А.Рухадзе,К.В.Вавилин,В.П.Савинов.И.Ф.Керимова,ИсследованиеЕ.А.Кралькина,индуктивногоВЧВ.Б.Павлов,разряда,каксамосогласованной системы. III. Исследование влияния емкостной составляющей на параметрыплазмы индуктивного ВЧ разряда низкого давления.
Прикладная физика, 2006, № 1 стр. 36 – 42.13. А.Ф.Александров,Г.Э.Бугров,К.В.Вавилин,И.Ф.Керимова,Е.А.Кралькина,В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе. Исследование индуктивного ВЧ разряда, каксамосогласованной системы. IV. Результаты исследования эквивалентного сопротивленияиндуктивного ВЧ разряда низкого давления без магнитного поля. Прикладная физика, 2006, № 2стр. 41 – 46.14. А.Ф.Александров,Г.Э.Бугров,К.В.Вавилин,И.Ф.Керимова,Е.А.Кралькина,В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А.
Рухадзе. Исследование индуктивного ВЧ разряда, каксамосогласованной системы. V. Результаты исследования эквивалентного сопротивленияиндуктивного ВЧ разряда низкого давления при наличии внешнего магнитного поля. Прикладнаяфизика, 2006, № 4 стр. 54 – 59.15. А.Ф.Александров,Г.Э.Бугров,К.В.Вавилин,И.Ф.Керимова,Е.А.Кралькина,В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А.
Рухадзе. Исследование индуктивного ВЧ разряда, каксамосогласованной системы. VI. Математическое моделирование индуктивного ВЧ разряда(самосгласованная модель). Прикладная физика, 2006, № 5 стр. 33 – 38.16. А.Ф.Александров,Г.Э.Бугров,К.В.Вавилин,И.Ф.Керимова,Е.А.Кралькина,В.Б. Павлов, В.Ю. Плаксин, А.А. Рухадзе, В.П. Савинов. Исследование индуктивного ВЧ разряда,как самосогласованной системы. VII. Математическое моделирование индуктивного ВЧ разряда семкостной компонентой (самосогласованная модель).
Прикладная физика, 2006, № 5 стр. 39 – 46.17. A.F.Aleksandrov,I.F.Kerimova,E.A.Kralkina,V.B.Pavlov,A.A.Rukhadze,and V.P. Savinov. Influence of the capacitive component on the parameters of the low pressure RFinductive discarge. V International Conference Plasma Physics and Plasma Technology. Minsk, Belarus,September 18-22, 2006. Contributed papers v.1 pp.7 – 1018. A.F.Aleksandrov,I.F.Kerimova,E.A.Kralkina,V.B.Pavlov,A.A.Rukhadze,and V.P. Savinov. Study of the histeresis of the RF inductive discharge plasma density dependence on theRF generator power. V International Conference Plasma Physics and Plasma Technology.
Minsk, Belarus,September 18-22, 2006. Contributed papers v.1 pp.70 – 73.19. A.F.Alexandrov,K.V.Vavilin,I.F.Kerimova,E.A.Kralkina,V.B.Pavlov,A.A. Rukhadze, V.P. Savinov. The role of the capacitive component in the low pressure RF inductivedischarge. XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases July 15 - 20 2007, Prague,Czech Republic, 5P09-10.20. A.F.Alexandrov,K.V.Vavilin,I.F.Kerimova,E.A.Kralkina,V.B.Pavlov,A.A. Rukhadze, V.P.
Savinov. One more mechanism leading to the hysteresis of the RF inductivedischarge transition from low to high density mode. XXVIII International Conference on Phenomena inIonized Gases July 15 - 20 2007, Prague, Czech Republic, 5P09-11.21. А.Ф.Александров, К.В.Вавилин, И.Ф.Керимова, Е.А.Кралькина, В.Б.Павлов, Н.Н.Плахотный,А.А.Рухадзе, В.П.Савинов. Влияние сопротивления антенны на переход индуктивного ВЧ разрядаиз моды с низкой концентрацией электронов в моду с высокой концентрацией. Тезисы докладовХХХY Международной (Звенигородской) конференции по физике плазмы и УТС, с.331, 2008..
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
